一、高纯气体 、特种气体管道及其阀门附件等的材质应符合工程设计文件的要求。采用低碳不锈钢管时，其安装施工应符合规范的规定。
二、管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏性试验和纯度测试。
三、高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求，检查设备及填充的纯化材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做检查记录。
检查数量：按气体品种、分系统全数检查。
检验方法：观察检查、尺量。
四、纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定：
1搬入洁净室(区)前应进行清洁，符合要求后应从规定的设备搬入口运入；
2整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并应可靠固定；
3设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，做好接管、接线定位；
4就位后，水、电接口应按工程设计文件要求连接；
5气体管道接口应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后再连接。
检查数量：按气体品种、分系统全数检查。
检验方法：观察检查、尺量。
五、高纯气体、特种气体系统的阀门箱、吹扫盘的安装应符合下列规定：
1应检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书等，并应做好记录；
2安装位置应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线方位的正确性；
3气体管道接口应在所在系统试运转合格后再连接。
检查数量：按气体品种、分系统全数检查。
检验方法：观察检查、尺量。
六、高纯气体、特种气体设施施工安装试运转的纯度测试应符合下列规定：
1纯度测试介质，宜采用工作气体进行。
2测试气体的压力，宜与输送介质的设计压力相同。
3测试气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处。
4纯度测试过程，取样时间的间隔宜为4h；气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析。
5当测试气体进、出口的纯度及其氧痕量、水痕量等杂质含量达到一致时，应认为纯度测试合格。
检查数量：按系统全数检查。
检验方法：仪器检查。
七、管路系统的试验应符合下列规定：
1高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力均应按工程设计文件要求执行。
2试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮气或纯氦气；试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后，应保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝，应以不漏为合格。
3气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系统应以设计压力保持24h， 检查泄漏率不超过0. 5%为合格。采用氦气为试验气体时，系统应以设计压力保持1h，检查泄漏率不应超过0.5%为合格。不合格时，应检查原因并进行完善后，再进行泄漏量试验，直至合格为止。
4管路系统的试验，不应包含纯化设备、特气柜和阀门箱等。
检查数量：按系统全数检查。
检验方法：观察检查、仪表检查。
八、管路吹扫应符合 下列规定；
1应按气体品种、工作参数分系统分别进行吹扫。
2管路系统应采用0.3MPa~0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.3μm的气体过滤器去除微粒；对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫。
3在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，应以靶上未见微粒为合格；对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1%为合格。
检查数量：按系统全数检查。
检验方法：观察检查、仪表检查。
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