一、气流流型的检测
（1）气流流型的检测应包括气流目测和气流流向的测试。气流目测可采用示踪线法、发烟(雾)法和采用图像处理技术等方法。气流流向的测试宜采用示踪线法、发烟(雾)法和三维法测量气流速度等方法。
（2）采用示踪线法时可采用尼龙单丝线、棉线、薄膜带等轻质纤维，并应放置在测试杆的末端，或装在气流中细丝格栅上，应直接观察出气流的方向和因干扰引起的波动。
（3）采用发烟(雾)法时，可采用去离子水，并应用固态二氧化碳(干冰)或超声波雾化器等生成直径为0.5μm~50μm的水雾，采用四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子时，应确保洁净室、室内设备以及操作人员不受四氯化钛产生的酸伤害。
（4）应用图像处理技术进行气流目测时，应采用第（2）条得到的在摄像机或膜上的粒子图像数据，并应利用二维空气流速度矢量确认量化的气流特性。
（5）采用三维法测量气流速度时，检测点应选择在关键工作区及其工作面高度。根据建设方要求需进行洁净室(区)的气流方向的均匀分布测试时，应进行多点测试。
二、温度的检测
（1）温度测试应确认空气处理设施的温度控制能力。洁净室(区)的温度测试可分为一般温度测试和功能温度测试。一般温度测试应用于“空态”时的洁净室(区)温度测试，功能温度测试应用于洁净室(区)需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时。
（2）温度测试可采用玻璃温度计、电阻温度检测装置、数字式温度计等。
（3）温度测试应在洁净室(区)气流均匀性测试完成后进行，并应在净化空调系统连续运行24h以上。
（4）一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间应至少设1个测点，测试点高度宜为工作面高度。测量时间应至少1.0h，并应至少每6min测量一次，读数稳定后应做好记录。
（5）功能温度测试，应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格的面积不应超过100m2或与建设方协商确定，每格测点应为1个以上，每个房间测点应至少2个。
测试高度应为工作面高度，距洁净室(区)的吊顶、墙面和地面不应小于300mm，并应计及热源等的影响。测量时间应至少1.0h，并应至少每6min测量一次，读数稳定后应做好记录。
三、相对湿度的检测
（1）相对湿度测试应确认空气处理设施的湿度控制能力。湿度测试时洁净室(区)状态应符合本文第二（3）条的要求。
（2）相对湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度计、毛发式湿度仪器。
（3）相对湿度测试的测点，测试时间、频度与温度检测的技术要求相同时，宜一同测试。
四、密闭性测试
（1）本节适用确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏人洁净室(区)。适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试。可采用光度计法和粒子计数器法进行测试。
（2）采用粒子计数器法时，测量被评价表面的洁净室(区)外部的空气中悬浮粒子浓度，应大于洁净室(区)内的浓度104的倍数，并应至少大于或等于3.5×106 /m3；其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时，应添加气溶胶提高浓度。
粒子计数器扫描时，仪器应距离洁净室(区)内待测试的接缝密封处或啮合面5cm~10cm；扫描速度应为5cm/s。对敞开的门廊处的测试，应在距离洁净室(区)内敞开的门0.3m~3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。
（3）采用光度计法，测量洁净室(区)内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度，在光度计0.1%档的设定值时，光度计的读数超过0.01%即确认存在渗漏，并应做记录。
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