集成电路洁净厂房是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该洁净室对环境洁净度、温湿度、振动、ESD (静电控制)、AMC(气态分子级污染物)控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造洁净室有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。一、FFU系统已成主流方案根据洁净室空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU(风机过滤单元)循环系统。第一种形式在小规模低等级要求的洁净室设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。第二种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的洁净设计方案。FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。二、AM...
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IC 生产由于其工艺加工线宽极小，所以对温湿度的精度要求很高，通常温度精度为土0.3~±0.5℃，相对湿度精度为±2%~±3%。该类厂房洁净室一般采用新风集中处理加FFU系统，在下夹层或.上静压箱内设干表冷器。洁净室内的相对湿度由新风机组保证，温度由干表冷器保证。一、新风处理及相对湿度保证新风处理机组中设置初、中、高效三级过滤，以去除室外空气中的灰尘粒子，设高效过滤器很有必要，可以延长洁净室顶部FFU内ULPA过滤器的使用寿命；设置化学过滤器主要是去除室外空气中对IC生产有影响的杂质气体，根据工厂所在地的室外空气品质设置相应的化学过滤器，化学过滤器后通常需设中效过滤器以去除化学过滤器本身的产尘；通过设在新风处理机组内的两级表冷、两级加热以及洁净蒸汽加湿器保证新风处理机组出口的干球温度及露点温度全年基本恒定，而机组出口的露点温度还应根据其对应送风区域内的相对湿度进行连续的重新整定，以保证室内的相对湿度。这里不以房间内的相对湿度直接控制加湿器或表冷器，而以房间内的相对湿度连续的重新整定机组出口的露点温度，再由该露点温度控制加湿器或表冷器是为了得到更及时的湿度控制。由于外网蒸汽中含有对IC生产有影响的杂质，新风处理机组的加湿应采用洁净蒸汽。洁净蒸汽加湿器通常设在表冷器前，这样可以使新风处理机组有提高相对湿度控制精度的潜能。有些工程中是以喷淋初级纯水(一级RO...
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一、安全保证措施1.在项目经理领导下，以施工现场专职安全员为首，组织各施工队、组，各工种的兼职安全员，成立现场安全管理小组，负责全工地的安全生产的教育、指导、监督和管理2.加强对职工的安全思想教育，提高职工“安全第一、预防为主”的方针的认识，让每个职工懂得安全生产“人人有责”。组织现场职工学习，贯彻建筑安装安全技术操作规程，对不同工种分别学习有关安全规程，坚决贯彻执行3.严格贯彻中华人民共和国建筑法第四十六条的规定“未经安全生产教育培训的人员，不得上岗作业”。与每个职工签订安全责任协议，实行奖罚制度，约束职工自觉遵守各项规章制度4.由专职安全员对工地现场的安全生产进行经常性的巡回检查外，每星期组织一次现场安全管理小组对工地现场进行一次安全生产检查，促进现场安全生产更上一台阶，消除一切安全隐患，到达安全生产预防为主的目的5.施工用电由专人负责，接线正确，不得乱拖乱拉，机电设备应一律设安全防护罩和接地、接零。机具操作由专人负责，并安装触保器，做到一机一闸一触保器，同时配有一箱一锁。特殊工种操作者必须持证上岗，确保安全生产。夜间施工应有足够的照明，并有电工跟班6.切实做好现场施工管理工作，道路要平整、畅通，材料、构件堆放有序且平稳整齐。施工现场及职工生活区设置消防器材，在严禁明火的场所严禁吸烟，宿舍内吸烟应备有烟灰缸，不准随便乱丢烟头。现场设有醒目安全标志及安全宣传图牌，增强职工安全意识...
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一、相关设计及规范要求(1)进入施工现场的所有设备、主要材料及配件都应有产品合格证或质保书，设备应有铭牌，不合格的严禁进场使用(2)各类吊、支托架、管道、风管法兰等需防腐处理的金属件在安装前应严格除锈并刷防锈漆(埋地应刷两度防锈漆)，竣工前应刷面漆，各类管道的色标应按设计或规范要求执行，并在主干管上标有流向标记(3)室内给水支管(管径20及以下)的安装，管道在转角、水表水龙头或角阀及管道终端100mm处应设管卡，管卡必须安装牢固，水管管径在40及以上的，应采用U型钢、U字螺栓或吊架固定，必要时按要求设置固定支架(4)消防箱消防栓口应朝外，栓口中心距地面高度应符合规范，允许偏差不大于20mm (5)管道焊接连接时应根据钢管的壁厚在对口处留有一定的间隙1至3mm，并按规范规定坡口，焊缝应平整、饱满。焊波均匀一致，宽度和高度应符合规范规定，焊瘤、飞溅、药渣等应及时清除(6)卫生器具安装完毕应进行24小时盛水试验。卫生器具固定必须牢固无松动，不得使用木螺丝。便器固定螺栓应使用镀锌件，并用软垫片和平垫片压紧，不得使用弹簧垫片。严禁在多孔砖或轻型隔墙中使用膨胀螺栓固定卫生器具二、设备安装1)设备吊装冷却塔设置在厂房屋顶，因此在设备进场并验收合格后，将组织力量进行吊装作业。吊装前，必须组织相关单位、人员对现场进行勘测，一致确认满足吊装要求，建立吊装应急机制。吊装时，必须请专业吊装公司进行吊装，并...
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一、支、吊架制作安装管道的支、吊架制作时应根据图纸设计的要求进行。管道活动支、吊架的具体形式和设置位置根据现场实际情况确定。安装前，先定位放线，根据设计要求及规范选用支、吊架材料。管道支、吊架设置于保温层外部，在穿过支、吊架处应镶以垫木。支吊架制作、组对时先点焊，检查合格后方可正式焊接，使支、吊架的型式、材质、加工尺寸及焊接符合规范要求，制作完成后及时进行防锈处理。安装时应根据设计要求进行放线并合理布置支架的安装和受力部件必须符合有关标准的规定。支吊架应牢固紧密的固定在墙、柱或其他锚固预埋件或结构物上。若管道过长时，应按要求加设固定支架。二、、管道的制作、安装管道的制作、安装是工程的重点内容，对于不同材质的管材，采用不同的施工方法：1)、无缝钢管(1)无缝钢管使用前应除锈、刷漆(2)在正确测量的基础上，按实测尺寸下料，可采用手工、机械切割，切割的管口应平整，内壁毛刺及时清除干净。对焊的管口必须根据工艺要求进行倒坡(3)焊条、焊剂使用前应根据出厂说明书的规定进行烘干，并在使用过程中保持干燥。焊条药皮应无脱落和显著裂纹。焊缝要饱满，无咬口，焊接后焊渣要清理干净(4)管段与管段连接采用法兰盘连接或管道与法兰阀门连接者，须按设计要求和工作压力选用标准法兰盘。法兰盘的连接螺栓直径、长度及法兰盘连接衬垫应符合设计及规范要求。管材与法兰盘焊接时先点焊2~3点后再找平找正后两面焊接(5)各级焊缝质...
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施工工序：通风技术、物资准备→图纸交底→洞、孔预埋→风管制作→管道安装→设备安装→设备调试→风量平衡测试→系统调试交验一、相关设计及规范要求(1)空调通风管道的镀锌钢板厚度按照现行规范执行。风管的弯曲半径为0.5A(A为转弯边边长)；(2)风管的三通或四通可采用三、四通管式或马鞍管式，具体情况视现场实际情况而定；(3)空调风管法兰制作采用热轧等边角钢。角钢法兰制作时，应在平台设置卡具，使成型法兰表面平整度误差≯2mm，对角线误差≯2mm。圆形法兰任意正交两直径之差≯2mm；(4)角钢法兰钻孔时，应采用无误差标准法兰配对钻孔，同一批量加工的相同规格法兰的螺孔排列应一致， 并具有互换性；(5)空调系统风管螺孔间距≯100mm，铆钉孔间距≯100mm； 机械排风系统风管螺孔铆钉间距≯120mm；法兰应四角设螺栓；螺栓、螺母、铆钉、垫圈等均应为镀锌件； (6)法兰间垫料采用闭孔海绵橡胶垫，厚度为6mm，垫料接缝处应采用梯形或企口接口，不得对接。安装时两面涂胶粘牢，垫料内侧应与风管内部齐平。风管软接头采用高强度光面合成革，安装时光面向内，接缝处应严密； (7)风阀、风口等部件在组对时，必须清除内、外表面油脂、污垢、积尘；(8)室内风管支吊架制作按规范制作，吊杆采用φ8~φ10圆钢制作。吊点应垂直于地面，吊点间距3m左右。吊点不应设置于风阀、风口部位。防火阀等较重部件应单独设置吊点。风管横担角...
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施工工序：电气技术、物资准备→图纸交底→管路预埋→配电柜(箱)安装→桥架、保护管敷设→电线电缆、母线敷设→灯具、器具安装→设备、器具安装→送电、单体调试→系统调试交验一、防雷接地系统该工程利用基础钢筋作接地体，基础内不少于2根主筋焊接连通形成环网，并与桩内钢筋连接。屋面防雷装置通过引下线(柱内主筋)与基础接地网连通。配电间设总等电位端子箱MEB，由—25*4镀锌扁钢从接地网引至。(1)接地体(线)的连接应采用搭焊接，其长度必须满足：扁铁宽度为2倍(至少三个棱边焊接)；圆钢直径的6倍；圆钢与扁铁连接时，其长度为圆钢的6倍；扁铁与钢管(或角铁)焊接时，为了焊接可靠，除应在其接触部位两侧进行焊接外，还需用钢带弯成的弧形(或直角形)卡子，或直接用钢带本身弯成弧形(或直角型)与钢管(或角铁)焊接；(2)所有引入建筑物的金属管道、电缆金属外皮等均应与接地装置作等电位连接，做法按国标图集《等电位联结安装》；(3)电气设备每个接地部分应以单独的接地干线相连接,不得在一个接地线中串接几个需要接地部分；(4)接地线跨越建筑伸缩缝，沉降缝时，应加设补偿器，所用扁铁弯成s2型状代替；(5)设置接地电阻检测点，测试值应满足设计要求。二、盘、柜及桥架安装(1)配电柜(箱)在搬运和安装时，应有防震、防潮、防止柜架变形和漆面受损措施； (2)基础槽钢安装，垂直度、水平度的允许偏差应符合规定。型钢应固定牢固，接地良...
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随着电子技术的发展，电子产品越来越多地应用于各类生产生活领域。与之相适应，电子生产厂房的修建也与日俱增。其中的接地技术较常规的建筑接地种类繁多，涉及面广。接地系统根据用途具体可分为电源系统接地、电气保护接地、防静电接地、信息系统的接地、电子设备接地、防雷接地几个种类。1、电源系统接地在某电子厂房设计中使用TN-S系统。变压器中性点接地，系统的保护线与中性线完全分开，这种方式对供电、保护、经济合理性等均十分有利，其选择原则与常规建筑一致。对于传达室等距离主体建筑较远的零星建筑单体，采用带PE线的五芯电力电缆予以供电，距离超过50米以上的建筑须按规范要求重复接地。2、电气保护接地采用TN-S系统时，电气设备不带电的金属外露部分与电力网的接地点采用直接电气连接。当带电相线因绝缘损坏碰设备外壳时，通过设备外壳构成该故障相对地线的单相短路。利用很大的短路电流，使线路上的保护装置(如熔断器、低压断路器等)迅速动作，切断电路，从而消除人身触电危险。在电子生产厂房中，生产流水线上设备密集，且多为金属外壳的用电设备。若保护接地不到位或不符合要求，在发生接地故障时，很容易引起工作人员触电危险。因此，保护接地问题不容忽视，无论在设计过程还是施工过程中，都应切实地把保护接地落实到位。应进行保护接地的物体主要包括：变压器、高压开关柜、配电柜、控制屏等的金属框架或外壳；固定式、携带式及移动式用电器具的金属外壳...
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一、微电子厂房特点随着科技技术的发展，电子产品生产日新月异，以微电子产品为代表的各种电子产品生产技术发展迅速。现代电子产品要求微型化、精密化高纯度、高质量和高可靠性，以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例，它所使用的集成电路电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作。根据生产要求对室内空气的洁净度、温度、相对湿度以及压力、噪声、振动、静电等参数进行控制的生产厂房。微电子厂房与其他工业厂房相比，空气洁净度等级高气流方式大部分为单向流、送风量大、室内温湿度要求高、噪声振动要求高、大开间的开放式生产布置。二、微电子厂房净化空调系统目前微电子厂房的送风方式主要有集中送风、隧道送风和风机过滤机组三种形式。(1)集中送风系统。室外新风经新风空调机组( MAU)处理装置后，送至下技术夹层，室内送风经过高架地板至下技术夹层，新风和回风在下技术夹层混合后经表冷器(DCC干盘管)降温，再经轴流风机增压后的至送风静压箱内，再通过高效过滤器送至洁净生产层。集中送风特点：单向流气流方式的平均风速为0.2~0.4m/s，换算成换气次数可达到250~600次换气次数，整个环境送风量大，轴流风机将混合后的新风和回风通过风管送至送风静压箱内，则需要的轴流风机风量大、数量多。轴流风机布置在回风墙内不易安装检修。通过风管输送流速高，所占用的回风墙面积小。(2)隧道送风。洁净区的回风经回风墙与新风处理后的新风...
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一、净化空调设备安装施工质量验收的通用要求。1齐全的随机文件，既代表了产品的内涵质量，又是安装、运行的依据，相关各方均应十分重视。2设备的开箱检查、验收是设备交接、安装的重要环节，应根据具体工程情况确定由建设方和有关方共同进行，并认真做好开箱、验收记录。3设备的搬运、吊装、就位是设备安装中十分重要的环节,特别是大型、特殊结构的净化空调设备，规范规定中强调：①应符合产品说明书要求，做好相关保护工作，防止设备损坏，这是确保设备安全搬运、吊装、就位和在此过程人身安全的基本要求；②应符合相关标准规范中的有关规定，也是确保净化空调设备安装质量的重要依据，应该认真执行。二、规范规定了高效空气过滤器安装前应具备的条件和安装验收的主控项目的内容。洁净厂房的高效空气过滤器的安装(包括安装前、后的准备和检漏)质量对空气洁净度的实现均至关重要，必须认真、实实在在地按规定实施。三、风机过滤器机组(FFU)的安装和安装前后的要求与高效空气过滤器是相似的，但由于安装FFU的吊顶上方的送风静压箱相对于洁净室(区)是“负压”，所以FFU与吊顶板的密封方式一般均为机械密封。FFU的检漏要求与高效空气过滤器是相同的。四、洁净层流罩一般用于空气洁净度等级为6级~7级的洁净室(区)内局部要求提供5级的独立空气净化设备，它是确保产品生产所需较高的空气洁净度等级要求的重要手段，本条提出的洁净层流罩安装的主控项目内容，应认真执...
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