电子工程的建设是要为电子产品的生产提供可靠的环境条件,生产环境与电子产品生产有着密切的关系,合适的生产环境,可以提高产品的性能、成品率及可靠性,否则会对产品生产造成较大的影响。LED/液晶/线路板制造是一种高度精密化的工业,一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制造成品的质量,因此制造过程均要求在严格控制下的洁净室中操作。洁净室是一个采用层层过滤以去除空气中微粒存在,并控制室内温度与湿度于恒定状态的密闭空间。LED/液晶/线路板芯片制备到器件封装,对生产环境空气品质都有较高的要求,空气品质关系着成品率和产品品质;在众多的工艺环节中,哪个工艺过程是防止污染的关键?洁净度已经达标,为什么产品上仍有污染?相同的工艺和环境参数,为什么我们的能耗比别人高?怎样的洁净室规划设计方案是最节能的、最符合工艺要求的,投资省、运行费用低、生产效率高?下面,谈一谈电子厂洁净间的一些基本要求与特点:一、电子厂洁净间层流洁净室空气活动的特征它有以下特征:室内悉数悬浮粒子都保持在层流层中运动.1、空气呈层流方式运动,使得室内一切悬浮粒子均在层流层中运动,则可避免悬浮粒子聚结成大粒子.2、空气流速相对进步,使粒子在空气中起浮,而不会积累沉降下来,一起室内空气也不会出现阻滞状况,可防止药物粉末交叉污染;进入室内的层流空气现已过高效过滤器滤过,到达无菌需要;室内新产生的污染物能很快被层流空气带走,排到室外。 二、电...
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一、暖通空调系统节能设计的必要性洁净厂房暖通系统的冷负荷与一般厂房或办公楼空调系统的冷负荷大不相同。一般办公建筑空调系统的冷却负荷约为335-502 kJ/( m².h),而洁净设施的暖通系统的冷负荷约为1300-2600kJ( m².h),空调通风频率是办公建筑的好几倍。另有研究显示,大型洁净工厂的暖通系统及相关制冷设备在运行期间消耗了工厂总能耗的60%左右,其正常运行需要极高的运营成本,这给企业营业成本带来了压力。在洁净工厂建造空调系统时,往往关注点在安装和建造空调净化系统的成本和生产环境温度、湿度、洁净度的达标问题,忽视了洁净空调系统在运行期间的能耗统计分析,从而导致实际运行时的成本压力。因此,在未来洁净产房空调系统的设计和建造必须以节能降耗为基础,综合考虑到设备运行期间的能源消耗,采用节能产品或使用更多的节能元件、设备来降低整个系统的能耗系数。二、暖通节能设计要点1、根据厂房的实际情况,合理的进行负荷计算厂房不同于民用建筑,计算厂房的冷负荷和热负荷很复杂。我们应该根据相关的供暖和通风设计标准确定设计温度范围。有些工厂暖通系统的设计温度必须在12 ℃到15 ℃之间,而有的工厂的空调温度可以设计在26 ℃到27 ℃之间。由此,我们可以看出不同工艺要求,所需求的环境设计温度差异巨大。实际上,各个工厂或车间的载荷构成或大小可能也有所不同。在一些工厂,新鲜空气负荷...
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氟材料是指分子结构中含有氟原子的一类高分子合成材料,以其卓越的耐化学性、耐高低温性、低介电常数、低摩擦系数和憎水憎油性而闻名。今天给大家简答介绍一下氟材料的分类、氟材料在半导体行业中的应用以及相关企业一、氟材料的分类主要可以分为以下几大类:1、氟树脂(塑料)这是应用最广泛的一类氟材料,通常为半结晶性聚合物。聚四氟乙烯 (PTFE):俗称“塑料王”。具有最优异的化学惰性、宽广的使用温度(-190°C 260°C)、极低的摩擦系数和介电常数。但其缺点是难以加工(通常采用烧结成型)且机械性能较差。全氟(乙烯-丙烯)共聚物 (FEP):可以看作是PTFE的改性版本,引入了丙烯单元。它保留了PTFE的大部分优良特性,但熔点更低,可以采用熔融挤出等热塑性塑料的加工方式,使其在管线衬里和线缆绝缘方面应用广泛。可熔性聚四氟乙烯 (PFA):同样是为了改善PTFE的加工性能而开发。它的性能与PTFE非常接近,耐温性优于FEP,同时也能进行熔融加工,常用于制造要求极高的半导体级管道、阀门和容器。聚偏氟乙烯 (PVDF):机械强度高、耐辐射性好,并且具有压电性和热电性。其化学耐性略低于PTFE/FEP/PFA,但对卤素和氧化剂仍有很好的抵抗能力。常用于制造泵、管道和洁净室建材。乙烯-四氟乙烯共聚物 (ETFE):具有优异的抗冲击强度、耐磨性和抗撕裂性,机械性能是氟树脂中最好的之一。...
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特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接,同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序,对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。最后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为:施工图纸会审→施工组织编写→预制间的搭设→施工机具的准备→施工人员的培训→预制图纸的编写→管道的预制→管道的现场安装→系统检测→系统验收。一、预制间的选择特种气体管道的施工对环境的要求比较高,管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准,预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行,作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于大宗特气项目,一般都建有一个标准的预制间。但我们在实际的施工中,大宗特气项目很少,一般都是简单系统和常规系统,为了节约成本和资金,在要求不是很高的情况下、一般采用在施工现场找一块相对洁净的房间采取一定的防尘措施就地施工,除作业人员和检察人员外,应禁止无关人员出入。如果业主要求比较严格,也采用彩钢板搭设一个简单的预制件,房间内铺上地板革,在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩,做一个简单的净化空间,进行管道的预制工作。二、主要的施工机具特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机(GF锯)、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊...
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一、概念 特气输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是:气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。二、分类 特种气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。三、供气系统的选择 1、简单供气系统 简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。由于气体流量小,不经常使用,特种气体气源多采用普通钢瓶(50L)。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板;配置继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空,有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统,有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房,甚至没有气体房,特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道,或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。2、常规供气系统 常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻,系统配备在满足安全的前提下尽量简单,节省投资。特种气...
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挥发性有机化合物(VOC)是石油化工、有机化工、表面涂装、包装印刷等需要化学反应或使用有机溶剂的行业在生产过程中排放的污染物。根据世界卫生组织(WHO)的定义,VOC为熔点低于室温而沸点在50~260℃之间的挥发性有机化合物的总称。VOC的主要成分为烷烃、烯炔烃、芳香烃、羰基化合物、卤代烃等,特点是沸点较低、分子量小、常温下易挥发,VOC多具有刺激性气味和毒性,且易燃易爆。由于VOC的危险性与危害性,我国针对各行业制定了废气排放要求。例如《合成树脂工业污染物排放标准》(GB31572-2015)中规定,执行大气污染物特别排放限制的地域,合成树脂非甲烷总烃排放限值为60mg·m-3,合成树脂颗粒物排放限值为20mg·m-3。随着我国环保意识的提升和工业升级的需要,废气排放的要求越来越严格,对于VOC处理的需求增长迅速。一、VOC处理技术简介VOC处理技术从基础原理上可以分为回收法和分解法两大类。回收法是通过吸附、吸收、冷凝和膜分离等方法对VOC进行处理。吸附法是通过活性炭、沸石和硅石等具有多孔结构的物质对VOC进行物理吸附和捕捉,然后通过升温、减压、提高湿度等方法对吸附的VOC进行解吸。吸收法分为物理吸收和化学吸收,物理吸收是根据有机物相似相溶的原理,选用弱极性、高沸点、低挥发、化学性质稳定的有机溶剂对VOC进行吸收,再通过VOC与有机溶剂物理性质的差异进行分离;...
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普通传递窗是防止污染最有效的设备,其特点是双门互锁,主要用于洁净室和非洁净区之间或不同等级不同压力的洁净室之间小物体的传递,它能有效的减少工作人员因运送物品进行净化房的次数,防止外部空气污染净化房,本设备广泛用于制药行业,生物实验室,电子行业,食品加工业等一切需空气净化的场所。一、双面互锁机制互锁机制是传递窗最基础也最核心的安全设计。当工作人员打开一侧门放入物料后,系统会自动锁定另一侧门,确保两扇门绝对不会同时开启。这种“单向通行”规则,从物理上切断了洁净区与非洁净区的空气流通通道,避免了空气交叉污染的可能。1、机械互锁的运行机制结构可靠的“基础款” 这种互锁方式依靠机械连杆、锁舌等物理结构实现联动控制。当一侧门被打开时,门体带动连杆推动另一侧门的锁舌卡入锁孔,从机械结构上限制另一侧门的开启;只有当打开的门完全关闭并复位后,连杆才会带动锁舌收回,释放对另一侧门的限制。机械互锁其优势在于无需外接电源,即使突发断电也能稳定工作,故障率极低,适合用于对可靠性要求极高、且无需远程控制的基础医药场景,如小型药店的药品传递或基层医院的简易无菌区。2、电子互锁的运行机制智能可控的“进阶款” 以电磁锁、传感器和控制器为核心,是目前传递窗的主流配置。当工作人员打开A侧门时,门体触发位置传感器,传感器将信号传输至控制器,控制器立即给B侧门的电磁锁通电,使其牢牢吸合锁闭;同时,控制器会联动指示灯,用“红...
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洁净工作台是一种提供局部洁净、无尘工作环境的空气净化设备,广泛应用于生物制药、微生物实验、电子制造、精密仪器装配等领域,核心作用是通过空气过滤和气流组织,保护操作样品、实验材料或精密元件免受环境污染物的污染,部分类型也可保护操作人员。一、核心工作原理空气净化+定向气流 洁净工作台的核心是空气净化+定向气流组织,具体流程如下:预过滤:环境空气首先进入初效过滤器,过滤掉空气中的大颗粒粉尘(粒径≥5μm),保护后续的高效过滤器。高效过滤:经过初滤的空气,被风机送入高效空气过滤器(HEPA),这是核心过滤部件,可过滤掉粒径≥0.3μm的微粒,过滤效率高达99.97%以上,最终输出洁净空气。气流组织:洁净空气被输送到工作台操作区,通过特定的气流方向形成“洁净气幕”,阻止外界未净化空气进入操作区,同时带走操作过程中产生的污染物。二、主要分类1、垂直流洁净工作台气流方向:洁净空气从顶部垂直向下吹,经操作区后从底部排出或回流保护对象:主要保护操作样品/材料适用场景:微生物实验、细胞培养、药品分装、电子元件装配2、水平流洁净工作台气流方向:洁净空气从后侧水平向前吹,直接覆盖操作区保护对象:主要保护操作样品/材料(气流不经过操作人员)适用场景:对操作人员无危害的样品操作,如电子芯片、精密光学元件处理3、生物安全洁净工作台气流方向:气流分为两部分:一部分垂直向下保护样品;一部分向内回流保护操作人员...
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一、洁净厂房的控制要求各行各业的洁净厂房因产品生产工艺要求不同,随着科学技术的发展和设备仪器现代技术的不断提高,在产品生产过程所需的生产环境控制、工艺介质品种、纯净度、使用参数日益严格、繁多,所以洁净厂房内对空气洁净度等级、温湿度、压力差以及净化空调所需冷源、热源的供应系统等实现显示、调节、联锁、联动、记录、报警功能,有的洁净厂房还有各种高纯介质和高纯气体、高纯水等的供应系统,微电子产品生产过程常常需使用数十种特种气体、化学品,这些物质不少具有易燃易爆、毒性甚至自燃的特性,所以安全、报警、流量等技术参数的显示、控制、联锁、联动均十分重要。因此洁净厂房的自动控制系统应正确设置及设备、仪器应正确选用,为此应了解保证洁净厂房正常、稳定运行的基本控制要求及技术参数。这里需要特别说明的是:现代高科技洁净厂房内的各种产品生产工艺设备或公用动力系统/装置或工艺介质供应系统/装置等,都依据自身的工艺过程、操作特点和要求设有控制装置如PLC装置等,只是用整个产品生产线和洁净厂房整体环境控制、生产管理、安全管理的要求,应在全厂或洁净厂房的控制系统/监控系统显示、监控某些数据、指标或获取指令等。二、自控系统随着科学技术的发展和装备制造科研成果的应用,洁净厂房中产品生产工艺过程及管理的控制数据、实时监测和洁净生产环境控制数据、实时显示、调节、检测执行等,依靠传统的人工巡察、记录或仪表传输的监控方式,已被许...
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一、日常注意事项保证干净。保证物料净化(包括进入洁净室的物料准入制度,物料的清理和清扫规定、物净程序管理、废弃物管理制度)。保证进入洁净室的的空气含尘量低于洁净度规定的含尘量值。保证净化空调系统的送风量。保证洁净室内的正(负)静压值。尽量减少洁净室的产尘量。 二、洁净室内的注意事项洁净室内禁止跑动,走路时禁止脱防静电鞋。禁止闲聊、吵闹,大声喧哗。个人用品(手机,手表等)及食物禁止搬入洁净室内。搬入资材及易耗品等生产物品时必须通过风淋合格箱进行洗洁作业后再搬入。化妆或涂指甲油的人禁止出入。防静电帽,防静电服外露出头发、眼眉,一般服装不正确时立即到更衣室检查着装之后再次通过风淋室后入室。防静电手套及手指套被破损或受污染时立即更换新的使用。作业时Clean Room帽(防静电帽),防静电服及防静电鞋破损或受污染时通知组长交换新的使用。开始实验时、终了时,休息时间过后要用滚筒架清扫作业台及周边。作业台上禁止放置不必要的物品。禁止坐着转动椅子或向后摆动。禁止靠在装备、墙、作业台等。禁止坐在地板上。禁止用手套触摸皮肤。交换器及电源等电装置要注意触电。完成作业之后整理、整顿作业台、工具等。 三、进出洁净室人员的规定凡需进入洁净间的实验人员,参观人员皆需经洁净室培训、考核,考核合格后方可进入洁净间。实验人员必须保持良好的个人卫生,不得留长指甲和涂指甲油,佩戴首饰,勤(理)洗发、勤洗澡、勤换衣。进车...
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