芯片有着很强动力和潜力,随着国内的半导体产业的发展,对芯片需求不断增多,从LED/半导体/线路板芯片制备到器件封装,对生产环境空气品质都有较高的要求,空气品质关系着成品率和产品品质。很多半导体工业都需要用到无洁净室。今天小编就来详细介绍一下半导体集成电路洁净室的原理还有标准是什么?以及日常维护事项,一起往下看吧!【洁净室】又称为【无尘室】,是将一定空间范围内之空气的微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除于外,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在一定需求范围内,而给予特别设计之房间。也就是说这个受控的房间内之微尘粒子相当稀少。根据国标GB50073—2013,洁净室的空气洁净度等级为1~9级。在具体实践中,常参考美国标准FS 209E,其中的空气洁净度等级有1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级等,如表1-1所示。洁净室应该具备哪些要素?基本上洁净室应该要具备以下的功能:1、能去除空气中漂浮之微尘粒子。2、能防止微尘粒子之产生。3、能控制温度及湿度。这是因为密闭的环境需要温度及湿度控制以符合人体舒适度,另一方面温度及湿度也可以控制微生物的生长。其次,湿度过大也会影响到电子产品的品质。4、能调节压力。这是为了要控制无尘室内为正压或负压。5、能调节温度。6、能防止静电。这是一定要的,电子产品怕静电了,尤其是还未封装的晶圆...
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2023
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1微电子厂房洁净是暖通空调设计原因及方法分析1. 1 气流组织方式垂直单向流为洁净室内气流流型,风机过滤单元机组在高效过滤器的作用下可以对空气进行预处理,确保空气达标后再送入室内。微电子厂洁净厂房和生产工艺并不全都适合风机过滤单元机组送风模式,但是此种送风模式因其具备一定的优势被越来越多的微电子厂房洁净室所使用。因为风机过滤单元机组送风模式下洁净室内压力远远高于静压箱内压力,尘粒从静压箱向室内渗透的情况较为少见。但是其他送风模式下则需要采取更为复杂的方法,如接触填料密封等方法来确保洁净室顶棚的密封性,因此达不到负压密封的要求。这是导致越来越多的微电子厂洁净室采用风机过滤单元机组送风模式的主要原因。此外,微电子厂洁净室工艺的更新速度和调整速度均较快,工作人员可以对风机过滤单元机组进行增减,在控制其数量的基础上确保洁净室洁净度满足生产工艺的需求。由此可见,风机过滤单元机组送风模式灵活性较高,与其他送风模式相比更具优势。但是风机过滤单元机组送风模式也有一定的不足,该送风模式下设备需要在吊顶上安装,因此会产生较大的噪音和振动,期间设备安装成本较高,这也是微电子厂洁净室暖通空调设计需要考虑的问题。1. 2 空调负荷计算估算是洁净室内冷负荷计算的主要方式,其中估算指标包括生产工艺、操作人员数量以及围护结构等。估算出来的洁净室主生产区和光刻区冷负荷指标分别为 450...
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每个洁净室必须有各自文件形式的规定及工作步骤。下面提到的一般性规定,适用于所有的洁净室,而不专门考虑在某一特定洁净室内进行的特定工作步骤的具体特点,也没有考虑洁净设备和洁净服装的状况。 1、洁净室内只能有必要人员,室内人员越多,污染水平越高。 2、只允许经过培训的人员在洁净室工作,只有那些具备特定工作所需技能的人员,才允许进入洁净室。 3、不允许工作人员将任何可能产生污染的东西带入洁净室。只有洁净室内工作所必须的物品,才允许带入并且准备这些 时,要采取防污染措施。洁净室内不允许有下述物品: 食品、饮料、糖果、口香糖 、瓶瓶罐罐(非用品) 、香烟、烟斗、鼻烟 、收音机、唱片机、袖珍录音机 、用木材、橡胶、纸、皮革、棉花及其他天然材料制成的物品 、非洁净室专用纸、包括报纸、杂志、书籍、纸巾 、含铅铅笔和橡皮可释放粒子的书写用品,比如纤维笔 。4、须随手关门。开门会使室内压力降低,这会造成洁净室气流的不良运动。 5、开关门的动作都要慢。快速关门会增加从洁净程度较低区域流入洁净室的空气量。为控制开关门的速度,可以在门上安装闭门器或弹簧。 6、通过气闸的两扇门时,只有在第一道门完全关闭后,再打开第二道门。所谓的联锁装置就是使两道门不能同时打开。 ...
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2022
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一、概述临床基因扩增实验又称 PCR实验,是专门用来检验艾滋病、乙型肝炎、禽疫病等病毒感染性疾病的一种检测手段。它可以通过将病毒体内所含的基因进行扩增的方法,测出一些病毒含量不高的感染者体内是否含有特定的病毒。由于该检测方法可以测出普通检验难以检测出的病毒并具有灵敏度高、特异性高、快捷、对样品要求低等优点,因此被临床医生广为认可,已广泛应用于医院的临床诊断和各防疫检测部门的禽疫病诊断。但是,这种实验需要有能保证绝对安全、配置合理的实验室和非常规范的操作为前提。近年来对临床基因扩增检验实验室的建设越来越得到重视,因为它对检测结果的可靠性、准确性和安全性起到至关重要的作用。本文主要从临床基因扩增检验实验室的平面布局,空调通风系统设计、气流控制和污染的防制几个方面对实验室设计中的主要特点进行了阐述。临床基因扩增检验实验室设计的核心问题是如何避免污染。因此,实验室的平面布局、空调通风 系统设计、气流控制等都是围绕这个核心问题进行的。下面就对这几个方面分别进说明。二、 PCR实验室平面布局临床基因扩增检验实验室原则上分为四个单独的工作区域:试剂贮存和准备区、标本制备区、扩增反应混合物配制和扩增区、扩增产物分析区。为避免交叉污染,进入各个工作区域必须严格遵循单一方向进行,即只能从试剂贮存和准备区→标本制备区→扩增反应混合物配制和扩增区→扩增产物分析区。各实验区之间...
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在药学意义上,洁净室是指符合GMP无菌规范的房间。由于制造业技术升级对生产环境的严苛要求,洁净实验室也被称为“高端制造业的守护神”。 什么是洁净室? 典型的洁净室 洁净室又可称作无尘室(Cleanroom),通常用作专业工业生产或科学研究的一部分,包括制造药品,集成电路,CRT,LCD,OLED和microLED显示器等。洁净室的设计是为了保持极低水平的微粒,如灰尘,空气中的生物体,或汽化的微粒。确切地说,洁净室有一个受控的污染水平,该水平由在指定的颗粒尺寸下每立方米的颗粒数来规定。洁净室也可指任何给定的容纳空间,在该空间中设置了减少微粒污染和控制其他环境参数,如温度,湿度和压力。 在药学意义上,洁净室是指符合GMP无菌规范(即EU和PIC/S GMP指南附件1以及当地卫生当局要求的其他标准和指南)中定义的GMP规范要求的房间,是将普通房间转换为洁净室所需的工程设计、制造、完成和操作控制(控制策略)的组合。很多行业会使用无尘室,只要是小颗粒会对生产过程产生不利影响的地方都会有洁净室的身影。它们的尺寸和复杂度各不相同,广泛应用于半导体制造,制药,生物技术,医疗设备和生命科学等行业,以及航空航天,光学,军事和能源部中常见的关键工艺制造。 洁净室的发展历程 现代无尘室是由美国物理学家威利斯·惠特菲尔德发明的。惠特菲尔...
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工业洁净室与医药生物洁净室的最核心最主要的区别:1.工业洁净室只对洁净度进行监测,不需要监测 生命微粒,医药生物洁净室不紧要对洁净度进行监测,还需要监测 生命微粒。2.工业洁净室的人员更衣流程只需要换鞋-更衣-风淋室就可以进入洁净室,医药生物洁净室的人员更衣流程需要换鞋-一次更衣-洗手-二次更衣-手消毒-气闸室/风淋室才可以进入洁净室,比工业洁净室多了一次更衣和洗手消毒。1 、工业洁净室• 净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业。• 目前级别最高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。• 根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。• 目前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用。• 工业 类洁净室操作人员进入洁净区的更衣流程是: 换鞋-- 更衣-- 风淋 。工业洁净室的具体行业:• 二极管,三极管;• LED发光材料及芯片;• 半导体(IC芯片,处理器等);• 线路板;• 手机玻璃;• OLED,LCD屏幕;• 高精密机械,仪器的研发及生产(激光,光学,高精度探测等设备仪器);• 电池工业(锂电池,太阳能电池等);• 印刷喷涂工业(高精度的无尘印刷喷涂,食品医药用的洁净包装材料印刷等等);2 、医药生物洁...
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洁净设施是保证药品、医疗器械及直接接触药品的包装材料生产企业产品质量和医院制剂室药品配制质量,防止生产(配制)环境对产品污染的基本条件,生产(配制)区域必须满足规定的环境参数标准。为保证生产企业和制剂室的洁净室(区)性能能持续的符合洁净室的相关要求,新建洁净室应进行工程验收,工程验收应分竣工验收和综合性能全面评定两个阶段进行,竣工验收的检验和调整应在空态或静态下进行,综合性能全面评定的检测状态由建设、设计和施工单位三方协商确定,然后由有资质的第三方进行检测。投入使用的洁净室还应定期对洁净室(区)开展性能检测工作。对一些新建和改建的洁净室进行测试,分析讨论洁净室在运行及系统设计中存在的一些问题。1、洁净室的设计、施工超标准(1)对有万级到30万级要求的由多间洁净室组成的企业,设计、承建方统一按万级要求去做,这样设计、施工就容易多了,系统调试也变得相对容易。(2)提高洁净室的洁净级别,如按《药品生产质量管理规范》(1998年修订)的要求,口服固体制剂的生产车间达到30万级即可,但生产企业却按10万进行设计、施工、验收;洁净室的面积过大,房间高度过高。企业为了今后的发展可以预留一些房间,但平时可不开空气净化系统。(3)除对工艺有特殊要求的洁净室,如提取间、烘干间等,洁净室高度一般在2.6米到3.0米即可,但有的企业不知何种原因整个车间统一建成4.0米高。应根据不同生产工艺、不同生产工序对...
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什么是洁净室?典型的洁净室洁净室又可称作无尘室(Cleanroom),通常用作专业工业生产或科学研究的一部分,包括制造药品,集成电路,CRT,LCD,OLED和microLED显示器等。洁净室的设计是为了保持极低水平的微粒,如灰尘,空气中的生物体,或汽化的微粒。确切地说,洁净室有一个受控的污染水平,该水平由在指定的颗粒尺寸下每立方米的颗粒数来规定。洁净室也可指任何给定容纳空间,在该空间中设置了减少微粒污染和控制其他环境参数,如温度、湿度和压力。在药学意义上,洁净室是指符合GMP无菌规范(即EU和PIC/S GMP指南附件1以及当地卫生当局要求的其他标准和指南)中定义的GMP规范要求的房间,是将普通房间转换为洁净室所需的工程设计、制造、完成和操作控制(控制策略)的组合。很多行业会使用无尘室,只要是小颗粒会对生产过程产生不利影响的地方都会有洁净室的身影。它们的尺寸和复杂度各不相同,广泛应用于半导体制造,制药,生物技术,医疗设备和生命科学等行业,以及航空航天,光学,军事和能源部中常见的关键工艺制造。洁净室的发展历程现代无尘室是由美国物理学家威利斯·惠特菲尔德发明的。惠特菲尔德作为桑迪亚国家实验室的雇员,于1966年为无尘室设计了最初的设计方案。在惠特菲尔德发明之前,早期的无尘室经常遇到颗粒和不可预测的气流的问题。Whitfield设计的无尘室具有恒定的且经过严格过滤的气流来保持...
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生物安全,是指国家有效应对生物因子及相关因素威胁,在生物领域能够保持稳定健康发展,相对处于没有危险和不受威胁的状态,具备保障持续发展和持续安全的能力。实验室生物安全,是指生物安全条件和状态不低于容许水平,可避免实验室人员、来访人员、社区及环境受到不可接受的损害,符合相关法规、标准等对实验室生物安全责任的要求(参见现行国家标准《实验室生物安全通用要求》GB19489第2.13条)。二级生物安全实验室的结构设计的重点工作之一是抗震设计,抗震设计的目标是'小震不坏、中震可修和大震不倒'。生物安全涉及的活动包括∶防控重大新发突发传染病、动植物疫情,研究、开发、应用生物技术,实验室生物安全,人类遗传资源与生物资源安全,防范外来物种入侵与保护生物多样性,应对微生物耐药,防范生物恐怖袭击与防御生物武器威胁,其他与生物安全相关的活动。01二级生物安全实验室的抗震设防类别和设防标准结构设计的重点工作之一是抗震设计,抗震设计的目标是'小震不坏、中震可修和大震不倒'。由于地震的不确定性,使用功能重要和灾害后果严重的建筑需提高其防震减灾能力。现行国家标准《建筑工程抗震设防分类标准》GB50223的第3.0.2条、第3.0.3条对建筑进行分类,明确哪些建筑需要提高及如何提高。所谓严重次生灾害,指地震破坏引发放射性污染、洪灾、火灾、爆炸、剧毒或强腐蚀性物质大量泄漏、高危险传染病...
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GMP是药品生产质量管理规范的缩写,其标准是一套适用于制药、食品等行业的强制性标准,要求企业从原料、人员、设施设备、生产过程、包装运输、质量控制等方面按国家有关法规达到卫生质量要求,形成一套可操作的作业规范帮助企业改善企业卫生环境,及时发现生产过程中存在的问题,加以改善。GMP标准是药品加工企业必须达到的最基本的条件。GMP的基本要求和实施1GMP的实施①药品生产企业必须按照国家药品监督管理部门制定的《药品生产质量管理规范》(2010年修订)组织生产;②《2010年版GMP附录》包括:无菌药品、原料药、生物制品、血液制品及中药制剂等5种剂型生产中的具体规定,它们具有与GMP有同等效力。2基本要求①制定生产工艺,系统地回顾并证明其可持续稳定地生产出符合要求的产品;②生产工艺及其重大变更均经过验证;③配备所需的资源,至少包括:a.具有适当的资质并经培训合格的人员;b.足够的厂房和空间;c.适用的设备和维修保障;d.正确的原辅料、包装材料和标签;e.经批准的工艺规程和操作规程;f.适当的贮运条件。④应当使用准确、易懂的语言制定操作规程;⑤操作人员经过培训,能够按照操作规程正确操作;⑥生产全过程应当有记录,偏差均经过调查并记录;⑦批记录和发运记录应当能够追溯批产品的完整历史,并妥善保存、便于查阅;⑧降低药品发运过程中的质量风险;⑨建立药品召回系统,确保能够召回任何一批已发运销售的产品;⑩调...
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