一、概念 特气输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是:气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。二、分类 特种气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。三、供气系统的选择 1、简单供气系统 简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。由于气体流量小,不经常使用,特种气体气源多采用普通钢瓶(50L)。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板;配置继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空,有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统,有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房,甚至没有气体房,特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道,或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。2、常规供气系统 常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻,系统配备在满足安全的前提下尽量简单,节省投资。特种气...
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2026
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挥发性有机化合物(VOC)是石油化工、有机化工、表面涂装、包装印刷等需要化学反应或使用有机溶剂的行业在生产过程中排放的污染物。根据世界卫生组织(WHO)的定义,VOC为熔点低于室温而沸点在50~260℃之间的挥发性有机化合物的总称。VOC的主要成分为烷烃、烯炔烃、芳香烃、羰基化合物、卤代烃等,特点是沸点较低、分子量小、常温下易挥发,VOC多具有刺激性气味和毒性,且易燃易爆。由于VOC的危险性与危害性,我国针对各行业制定了废气排放要求。例如《合成树脂工业污染物排放标准》(GB31572-2015)中规定,执行大气污染物特别排放限制的地域,合成树脂非甲烷总烃排放限值为60mg·m-3,合成树脂颗粒物排放限值为20mg·m-3。随着我国环保意识的提升和工业升级的需要,废气排放的要求越来越严格,对于VOC处理的需求增长迅速。一、VOC处理技术简介VOC处理技术从基础原理上可以分为回收法和分解法两大类。回收法是通过吸附、吸收、冷凝和膜分离等方法对VOC进行处理。吸附法是通过活性炭、沸石和硅石等具有多孔结构的物质对VOC进行物理吸附和捕捉,然后通过升温、减压、提高湿度等方法对吸附的VOC进行解吸。吸收法分为物理吸收和化学吸收,物理吸收是根据有机物相似相溶的原理,选用弱极性、高沸点、低挥发、化学性质稳定的有机溶剂对VOC进行吸收,再通过VOC与有机溶剂物理性质的差异进行分离;...
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普通传递窗是防止污染最有效的设备,其特点是双门互锁,主要用于洁净室和非洁净区之间或不同等级不同压力的洁净室之间小物体的传递,它能有效的减少工作人员因运送物品进行净化房的次数,防止外部空气污染净化房,本设备广泛用于制药行业,生物实验室,电子行业,食品加工业等一切需空气净化的场所。一、双面互锁机制互锁机制是传递窗最基础也最核心的安全设计。当工作人员打开一侧门放入物料后,系统会自动锁定另一侧门,确保两扇门绝对不会同时开启。这种“单向通行”规则,从物理上切断了洁净区与非洁净区的空气流通通道,避免了空气交叉污染的可能。1、机械互锁的运行机制结构可靠的“基础款” 这种互锁方式依靠机械连杆、锁舌等物理结构实现联动控制。当一侧门被打开时,门体带动连杆推动另一侧门的锁舌卡入锁孔,从机械结构上限制另一侧门的开启;只有当打开的门完全关闭并复位后,连杆才会带动锁舌收回,释放对另一侧门的限制。机械互锁其优势在于无需外接电源,即使突发断电也能稳定工作,故障率极低,适合用于对可靠性要求极高、且无需远程控制的基础医药场景,如小型药店的药品传递或基层医院的简易无菌区。2、电子互锁的运行机制智能可控的“进阶款” 以电磁锁、传感器和控制器为核心,是目前传递窗的主流配置。当工作人员打开A侧门时,门体触发位置传感器,传感器将信号传输至控制器,控制器立即给B侧门的电磁锁通电,使其牢牢吸合锁闭;同时,控制器会联动指示灯,用“红...
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洁净工作台是一种提供局部洁净、无尘工作环境的空气净化设备,广泛应用于生物制药、微生物实验、电子制造、精密仪器装配等领域,核心作用是通过空气过滤和气流组织,保护操作样品、实验材料或精密元件免受环境污染物的污染,部分类型也可保护操作人员。一、核心工作原理空气净化+定向气流 洁净工作台的核心是空气净化+定向气流组织,具体流程如下:预过滤:环境空气首先进入初效过滤器,过滤掉空气中的大颗粒粉尘(粒径≥5μm),保护后续的高效过滤器。高效过滤:经过初滤的空气,被风机送入高效空气过滤器(HEPA),这是核心过滤部件,可过滤掉粒径≥0.3μm的微粒,过滤效率高达99.97%以上,最终输出洁净空气。气流组织:洁净空气被输送到工作台操作区,通过特定的气流方向形成“洁净气幕”,阻止外界未净化空气进入操作区,同时带走操作过程中产生的污染物。二、主要分类1、垂直流洁净工作台气流方向:洁净空气从顶部垂直向下吹,经操作区后从底部排出或回流保护对象:主要保护操作样品/材料适用场景:微生物实验、细胞培养、药品分装、电子元件装配2、水平流洁净工作台气流方向:洁净空气从后侧水平向前吹,直接覆盖操作区保护对象:主要保护操作样品/材料(气流不经过操作人员)适用场景:对操作人员无危害的样品操作,如电子芯片、精密光学元件处理3、生物安全洁净工作台气流方向:气流分为两部分:一部分垂直向下保护样品;一部分向内回流保护操作人员...
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一、洁净厂房的控制要求各行各业的洁净厂房因产品生产工艺要求不同,随着科学技术的发展和设备仪器现代技术的不断提高,在产品生产过程所需的生产环境控制、工艺介质品种、纯净度、使用参数日益严格、繁多,所以洁净厂房内对空气洁净度等级、温湿度、压力差以及净化空调所需冷源、热源的供应系统等实现显示、调节、联锁、联动、记录、报警功能,有的洁净厂房还有各种高纯介质和高纯气体、高纯水等的供应系统,微电子产品生产过程常常需使用数十种特种气体、化学品,这些物质不少具有易燃易爆、毒性甚至自燃的特性,所以安全、报警、流量等技术参数的显示、控制、联锁、联动均十分重要。因此洁净厂房的自动控制系统应正确设置及设备、仪器应正确选用,为此应了解保证洁净厂房正常、稳定运行的基本控制要求及技术参数。这里需要特别说明的是:现代高科技洁净厂房内的各种产品生产工艺设备或公用动力系统/装置或工艺介质供应系统/装置等,都依据自身的工艺过程、操作特点和要求设有控制装置如PLC装置等,只是用整个产品生产线和洁净厂房整体环境控制、生产管理、安全管理的要求,应在全厂或洁净厂房的控制系统/监控系统显示、监控某些数据、指标或获取指令等。二、自控系统随着科学技术的发展和装备制造科研成果的应用,洁净厂房中产品生产工艺过程及管理的控制数据、实时监测和洁净生产环境控制数据、实时显示、调节、检测执行等,依靠传统的人工巡察、记录或仪表传输的监控方式,已被许...
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一、日常注意事项保证干净。保证物料净化(包括进入洁净室的物料准入制度,物料的清理和清扫规定、物净程序管理、废弃物管理制度)。保证进入洁净室的的空气含尘量低于洁净度规定的含尘量值。保证净化空调系统的送风量。保证洁净室内的正(负)静压值。尽量减少洁净室的产尘量。 二、洁净室内的注意事项洁净室内禁止跑动,走路时禁止脱防静电鞋。禁止闲聊、吵闹,大声喧哗。个人用品(手机,手表等)及食物禁止搬入洁净室内。搬入资材及易耗品等生产物品时必须通过风淋合格箱进行洗洁作业后再搬入。化妆或涂指甲油的人禁止出入。防静电帽,防静电服外露出头发、眼眉,一般服装不正确时立即到更衣室检查着装之后再次通过风淋室后入室。防静电手套及手指套被破损或受污染时立即更换新的使用。作业时Clean Room帽(防静电帽),防静电服及防静电鞋破损或受污染时通知组长交换新的使用。开始实验时、终了时,休息时间过后要用滚筒架清扫作业台及周边。作业台上禁止放置不必要的物品。禁止坐着转动椅子或向后摆动。禁止靠在装备、墙、作业台等。禁止坐在地板上。禁止用手套触摸皮肤。交换器及电源等电装置要注意触电。完成作业之后整理、整顿作业台、工具等。 三、进出洁净室人员的规定凡需进入洁净间的实验人员,参观人员皆需经洁净室培训、考核,考核合格后方可进入洁净间。实验人员必须保持良好的个人卫生,不得留长指甲和涂指甲油,佩戴首饰,勤(理)洗发、勤洗澡、勤换衣。进车...
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洁净室施工,从来不是“按图施工”这么简单,比设计更考验功底,比普通厂房施工更严苛。从基层找平的毫米级精度,到风管安装的密封度把控,再到净化系统调试的参数校准,每一个施工细节的疏漏,不仅会导致洁净度不达标、验收失败,更可能留下后期运营隐患,动辄造成几十万甚至上百万的整改损失。结合十多年洁净室施工管理经验,整合行业公开可查的施工案例、实测数据,以及GB/T50591-2010《洁净室施工及验收规范》相关要求,整理出洁净室施工十大核心要点,全程干货无冗余,避开90%的施工通病,不管是施工班组、项目监理,还是企业甲方,都能直接套用落地,少走弯路、降低损耗。一、施工前准备,基准把控是前提(杜绝“先天缺陷”)洁净室施工,“准备不到位,后期全白费”。很多施工团队急于赶工期,跳过前期基准确认、现场清理、人员培训等环节,直接进场施工,最终导致墙面倾斜、地面不平、系统不兼容等“先天缺陷”,后期整改难度极大。核心施工准备要点(附实测数据):基准复核:对照设计图纸,复核现场标高、轴线偏差,偏差需控制在≤3mm,尤其是洁净区与缓冲区、非洁净区的分界处,标高误差不得超过2mm,避免后期压差控制失效;现场清理:清除施工现场的灰尘、杂物、油污,地面平整度预处理,高低差≤5mm/2m,否则需提前找平,防止后期铺设环氧地面起砂、开裂;人员培训:所有进场施工人员(暖通、水电、木工)需进行洁净施工培训,明确施工规范,进入...
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一、洁净手术部建筑装饰设计洁净手术部内使用的装饰材料应无毒无味,并应符合现行国家标准《民用建筑工程室内环境污染控制标准》GB50325的规定。洁净手术部内与室内空气直接接触的外露材料不得使用木材和石膏。洁净手术部建筑层高宜不低于4.5m,梁底高宜不低于3.6m;设备层梁底高宜不低于2.2m。手术室装修净高度不得低于2.7m。二、装饰装修材料及设备设施的选择关于洁净手术室地面装饰用材选择较少,在洁净手术室装饰中用到的有釉面瓷砖、 水磨石、环氧树脂、PVC卷材、橡胶卷材等。从满足规范要求来讲,水磨石、环氧树脂、 PVC卷材、橡胶卷材都符合规范要求,从适用性、装饰效果和维护性上比较,PVC卷材和橡胶卷材比较适合,所以成为目前的主流装饰材料,在各大医院有着较好使用效果。PVC地板是一种由聚氯乙烯材料制成的地面材料,它具有粘贴性强、易清洗、拥有较高地坪性、缓冲性好、吸音性高、重量轻等特点。在医院进行卫生打理的时候,PVC地板可以比较容易清洁,从而保证医院卫生水平。瓷砖地面虽然美观大方,也是许多人心目中的首选,但并不适用于医院的地面材料。主要釉面瓷砖因为有滑倒的风险,还有难清洁、滋生细菌,也不环保等因素不适合在洁净手术室使用。洁净手术室手术室墙面装饰用材选择较多,在洁净手术室装饰中用到的有电解钢板、 不锈钢板、防锈铝板、彩钢板、铝塑板、树脂板、卡索板、玻璃板、瓷砖及涂料等。以上材料只要满足了规...
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一、空调系统(含制冷/制热设备)1、设备运行状态:检查压缩机、冷凝器、蒸发器等核心部件是否异常振动、噪音或泄漏。确认制冷剂压力、温度参数是否在正常范围内(如高压/低压表值)。观察冷凝水排放是否畅通,避免积水导致微生物滋生或设备腐蚀。2、电气与控制:验证温控器、传感器(温度、湿度、压力)的读数准确性。检查电气线路是否老化、松动,接触器、继电器触点是否烧蚀。确认变频器、PLC等控制设备运行稳定,无报警代码。3、能效与维护:记录能耗数据,分析单位冷量/热量的能耗是否异常。检查过滤网、冷凝器翅片是否积尘,影响换热效率。确认冷却塔水位、水质(如pH值、硬度)是否符合要求。二、通风系统(含排风、新风)1、风道与风阀:检查风道连接处是否漏风,保温层是否破损(导致冷量/热量损失)。确认风阀开度与控制系统指令一致,避免气流短路或阻力过大。观察排风罩、百叶窗是否堵塞,影响排风效果。2、风机与电机:监测风机转速、振动值,判断轴承是否缺油或磨损。检查电机温度、电流是否超标,皮带松紧度是否合适。验证变频风机频率与负载需求是否匹配,避免能耗浪费。3、空气质量:检测新风入口是否被异物遮挡,初效/中效过滤器是否堵塞。确认排风系统对有害气体(如VOCs、粉尘)的捕集效率。检查正压/负压车间压力梯度是否符合工艺要求(如洁净室)。三、供暖系统(锅炉/热泵/蒸汽)1、热源设备:锅炉:检查水位、压力、燃烧效率,确认安全阀、...
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洁净手术部是以控制尘粒污染作为保障条件,最终达到控制微生物污染,减少手术全过程中一切潜在的感染风险,提高手术成功率的目的。控制感染应是全方位、全过程控制的概念,仅有优良的设备,合理的净化流程,并不一定能保证洁净手术部达到无菌保障体系。加强维护管理是确保洁净手术部空气品质的根本保证。如何确立科学的运行管理保障体系、规范的日常监测机制是确保洁净手术部正常运行使用的前提。一、电气系统运营维护基本要求1、基本要求应根据所在单位电气系统管理及维护制度建立健全洁净手术室电气系统各项管理制度, 除配电室内不得放置易燃、易爆和有毒危险物品外,应保证能耗计量装置正常工作,数据完整有效。洁净手术部应定期检验双路供电系统可靠性、不间断电源(UPS)供电可靠性,保证不少于30min 的工作时间。电气控制及操作系统应安全可靠,电源应符合设备要求,不得有过载或过热现象,防静电接地装置应定期检查、维护、试验,保证其功能正常有效。IT供电系统的医用隔离变器、绝缘监测报数装置应定期进行检查,洁净手术部区城内的应急照明电源应定期进行检查。配电柜和电气设备接地装置情况宜每年进行检查。2、运行、巡检、维护要求应定期做好电气元件、线路板除尘和电气接点紧固工作。照明系统应定期维护,记录灯具更换的周期,确保光源的光衰期在适用范围内。定期校核各类连锁装置和控制电路是否正常,同时应对压差、湿度报警装置定期检查、检测和维护,当报警装...
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