一、微电子厂房特点随着科技技术的发展，电子产品生产日新月异，以微电子产品为代表的各种电子产品生产技术发展迅速。现代电子产品要求微型化、精密化高纯度、高质量和高可靠性，以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例，它所使用的集成电路电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作。根据生产要求对室内空气的洁净度、温度、相对湿度以及压力、噪声、振动、静电等参数进行控制的生产厂房。微电子厂房与其他工业厂房相比，空气洁净度等级高气流方式大部分为单向流、送风量大、室内温湿度要求高、噪声振动要求高、大开间的开放式生产布置。二、微电子厂房净化空调系统目前微电子厂房的送风方式主要有集中送风、隧道送风和风机过滤机组三种形式。(1)集中送风系统。室外新风经新风空调机组( MAU)处理装置后，送至下技术夹层，室内送风经过高架地板至下技术夹层，新风和回风在下技术夹层混合后经表冷器(DCC干盘管)降温，再经轴流风机增压后的至送风静压箱内，再通过高效过滤器送至洁净生产层。集中送风特点：单向流气流方式的平均风速为0.2~0.4m/s，换算成换气次数可达到250~600次换气次数，整个环境送风量大，轴流风机将混合后的新风和回风通过风管送至送风静压箱内，则需要的轴流风机风量大、数量多。轴流风机布置在回风墙内不易安装检修。通过风管输送流速高，所占用的回风墙面积小。(2)隧道送风。洁净区的回风经回风墙与新风处理后的新风...
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一、净化空调设备安装施工质量验收的通用要求。1齐全的随机文件，既代表了产品的内涵质量，又是安装、运行的依据，相关各方均应十分重视。2设备的开箱检查、验收是设备交接、安装的重要环节，应根据具体工程情况确定由建设方和有关方共同进行，并认真做好开箱、验收记录。3设备的搬运、吊装、就位是设备安装中十分重要的环节,特别是大型、特殊结构的净化空调设备，规范规定中强调：①应符合产品说明书要求，做好相关保护工作，防止设备损坏，这是确保设备安全搬运、吊装、就位和在此过程人身安全的基本要求；②应符合相关标准规范中的有关规定，也是确保净化空调设备安装质量的重要依据，应该认真执行。二、规范规定了高效空气过滤器安装前应具备的条件和安装验收的主控项目的内容。洁净厂房的高效空气过滤器的安装(包括安装前、后的准备和检漏)质量对空气洁净度的实现均至关重要，必须认真、实实在在地按规定实施。三、风机过滤器机组(FFU)的安装和安装前后的要求与高效空气过滤器是相似的，但由于安装FFU的吊顶上方的送风静压箱相对于洁净室(区)是“负压”，所以FFU与吊顶板的密封方式一般均为机械密封。FFU的检漏要求与高效空气过滤器是相同的。四、洁净层流罩一般用于空气洁净度等级为6级~7级的洁净室(区)内局部要求提供5级的独立空气净化设备，它是确保产品生产所需较高的空气洁净度等级要求的重要手段，本条提出的洁净层流罩安装的主控项目内容，应认真执...
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洁净工程有它的特殊性，电子产品洁净厂房的特点非常明显，第一个造价特点贵，随着半导体工程的发展，这样对于工厂的品质要求越来越高，玻璃基板的尺寸越来越大，从原来的一代线到现在的主流八代线，随着基本尺寸大造价越来越高。第二个特点是工期短，由于半导体工厂的特点投资特点大，所有的建设方尽快短期进行生产，取得投资回报，作为施工单位来讲摆在面前的一个特点就是工期要求非常紧。第三个特点是品质要求非常高，由于电子工厂它对厂房的依赖程度非常高，建厂当中的事故直接导致产品良品率的高低。第四个就是高复杂度，对于建厂来讲，专业技术问题是一个非常全面的，涵盖了多专业、多行业的问题，同时还有管理的问题。第五个特点是高整合度，对于建厂来讲有这样五个特点。对于关键难点第一个是高空作业，这是非常明显的工作特点，安全、整个施工的难度都相应非常大，采取分层作业的施工方式，先把地板层做起来，这样以地板层为界面分为上下两个层面进行施工。第二个难题就是大面积精度控制，现在随着产业的发展，往大，往精细化发展，这对于精度是一个很大的挑战，如何进行精度的保证这对于实施这样的项目来讲也是高难度的方面，的做法是配置专业的测量人员。在大面积的情况下把精度控制在实施的要求范围之内。第三个难点就是全过程洁净施工控制，洁净厂房相对其他厂房一个最大的特点就是洁净的管控，洁净的管控从建厂一开始到最后是全过程的控制，只有透过全过程的控制才能保证建出来...
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1.电子洁净厂房的电气设计电子沽净厂房电气设计一般包括电力系统、照明系统、自动控制系统及防雷接地系统，各系统与其它专业相互配合，是电子洁净厂房安全生产不可缺少的因素。2.电子洁净厂房电力系统2.1确定负荷分级根据室外消防水量确定消防设备的负荷等级，根据电子产品生产工艺及设备要求确定工艺设备的负荷等级，选用合理的供电方式。电子产品生产用主要工艺设备，应由专用变压器或专用低压馈电线路供电。对电源连续性有特殊要求的生产设备、动力设备，设置不间断电源或备用发电装置。2.2特殊电压设备电子洁净厂房中有些工艺设备是特殊电压，根据特殊电压设备分布及种类，确定采用集中式特种变压器或分布式特种变压器。2.3配电系统电子洁净厂房工艺设备、动力设备、照明设备配电系统分开，一般采用放射式、树干式结合的配电方式分别进入设备或电力、照明配电箱。在设计时与业主充分沟通，选择低压电缆直接配电或采用母线槽的配电方式。2.4设备选择沽净室的配电设备，应选择不易积尘、便于擦拭的小型、暗装设备。配电箱可暗装在回风夹道或灰区内。利用箱内的低压断路器或漏电断路器作过载、短路及漏电保护，并采用手动断合操作。工艺配电箱配电按照工艺流程合理划分。在腐蚀性区域内各类电气设备及附件如支架、螺母等都应选用防腐蚀材料。防爆房间内电气设备防爆等级符合规范要求，在爆炸危险环境内，电气设备的金属外壳应可靠接地。2.5导线选择和线路敷设洁净室为密...
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1前言洁净室的相关设计必须是依照所需要的洁净室标准来进行设计，要明确应用怎样的回风方法以及多少换气次数，对送风风速，回风口等的布局设计，其他配置的分布等等都要给出一定的要求。之前的设计，大部分是参考了以往案例以及工程师的自身经历，往往会造成最终构建完成的洁净室难以达到所要求的水准。伴随相关工艺技术的迅速发展，人们对洁净室的需求正在日渐提升，不但是处于静态状况下要符合设计要求，在动态状况下也须达到设计需要。这就给相关的设计提出了更加高标准的要求，只是参照以往案例以及工程师的自身经验是难以达到的，这就要求设计人员去努力获取更为有效的辅助工具，而CFD技术或许能够提供一定的帮助。CFD是指的计算流体动力学。首先是对研究项目构建数值模型，以获得所研究项目的连续性、能量、动量方程等，并对以上模型采取离散化的数学处理，应用计算机进行相关的求解。从而获得流体的速度场、温度场等的分布。之前的研究者使用CFD技术，一般多是用来对相关洁净室进行模拟与分析，看重的是其理论.研究效果，而且主要面向的是某些特殊的静态模型，然而在实际应用中，还没有获得很好的方法。2问题的提出首先要构建一个300 m2的实验室，进行某电子产品的研究。依据施工工艺规范，包括IS04级大约12m2，IS05 级大.约50m2，后者还要有两试验台进行间歇排风。此外，所构建的实验室的房屋高度仅是3.5m，梁底高仅是2.95m，这么低的...
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1洁净室流型及气流组织通常，洁净室可分为乱流洁净室与单向流洁净室。就洁净室的气流状态而言，其流动一般均处于紊流状态。乱流洁净室与单向流洁净室并不是以层、紊流状态即Re数大小来划分的，而是以流场是否均匀来划分的。当洁净室气流处于均匀或渐变流状态时，洁净室可称为单向流洁净室；当洁净室气流处于急变或突变流状态时，洁净室可称为乱流洁净室。2洁净室流型及气流组织的CFD模拟2.1用CFD方法进行洁净模拟与预报的一般步骤现代设计过程：现代设计过程中，“试验样本”这一环节中的大量工作已通过CFD工作完成，即通过CFD工作形成大量的“虚拟试验样本”，只需要少或无需实际的“试验样本”即可检验CFD方法的可靠性、正确性，故现代设计过程之工作量大为减少。方案的筛选是以科学性的分析为基础，因而比较容易保证设计成功和产品质量的稳定，而且它将传统设计的大循环过程转变为方案设计带有预测性质的校验循环(验证循环)，当设计已经基本达到设计要求时再转入通常的详细设计，大大减少了设计过程的中间环节。因此，CFD技术的大量应用能显著缩短设计周期，降低费用。2.2洁净室气流组织模拟与预报的CFD过程洁净环境模拟与预报的一般CFD过程中，试验或经验判定环节在使用CFD方法后仅需少量的试验工作，大量的试验工作可通过计算机“虚拟”实现。3 CFD软件的一般结构与洁净室气流控制方法CFD软件的一般结构可表示如下：前处理-求解-后处...
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悬浮粒子指标是判定医药工业洁净室(区)洁净度级别的核心指标。该指标的监测、验证有静态、动态之分。因动态检测结果涉及工艺生产和人员活动，因素复杂，不利于作为判定标准，所以国外曾规定动态检测范围不包括操作点或发尘点60cm内的区域，甚至日本有关标准宣布原则上用静态检测结果。我国根据工作实践中的情况，结合工艺点产尘、工艺流程的特点，将生产动作产尘性质分类，对医药工业洁净室(区)悬浮粒子动态测试进行探讨。一、生产动作产尘性质分类根据生产动作在流程中的性质，将生产动作分为规律性动作、偶然性动作。规律性动作即按正常的生产程序进行的动作；偶然性动作即由于意外因素引起，将规律性动作分为持续性动作、间歇性动作、一次性动作。1.持续性动作。生产动作连续进行，对尘粒浓度的影响从初始值开始抬升，到达峰值后稳定在该值并维持到生产动作结束。2.间歇性动作。 按一定的时间间隔重复进行，对尘粒浓度的影响从初始值开始抬升，到达峰值后回落，但不能回到上次动作的初始值；然后，随着动作的重复进行开始抬升；由于间歇性动作间隔重复次数有限，通常最后一个动作产生的峰值即为间歇性动作最大值。3.一次性动作。单次动作或多次重复动作(在两次动作间系统环境指标均能回落到初始值)。4.偶然性动作。在工艺流程、操作规程外可能引起系统、局部环境指标改变的动作。动作的产尘性质具有间歇性动作、一次性动作的特点。二、医药工业洁净室(区)悬浮粒子动...
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一、药厂洁净室污染控制原则洁净室污染源主要包括外污染源与内污染源两种，其中，外污染源包括间隙渗入、空调送风、工作服、建筑物、溶剂、风管材料以及供水等；内污染源包括工作人员、制造设备、消毒、加工制造、工具以及包装材料等。一般可从4个方面来进行控制，即防止外部尘埃侵入、防止室内发尘、室内发尘不积留以及空间尘粒及时去除。在正常情况下，应将洁净室保持在正压状态(5Pa)，定期检查确保工程不存在漏气情况，人员设备以及原材料进入前需要进行全面清洁擦拭等防尘工作，还需要设置空气过滤器。对于室内污染源的控制，应在建设时适当选择无尘室墙体、地板等材料，并按照规范严格控制制造设备的发尘，做好人员行为以及服装管理。此外，还需要定期对洁净室进行清扫消毒处理，确保墙壁体光滑无死角，设备安装需要预留出一定空间，并保证足够的换气次数，做好空调气流速度控制。二、洁净室检测基本原理洁净室在其空间环境中空气悬浮粒子浓度可以进行检测和控制。室内的空气温度和湿度，相关的大气压力等这些相关的参数同时要求进行严格的控制。一个简易的洁净室，包括外界大气的输送，温度的调节，过滤器的过滤，最后都在一个密闭的室内。在一般情况下，要求空间内的空气可以进行循环。三、洁净室检测某制药厂洁净空调系统由AHU-1，AHU-2，AHU-3三个系统组成。AHU-1系统服务于更衣、清洗消毒、精配、罐装、发衣等房间的净化空调系统。AHU-2系统服务于...
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一、人员与物料进入洁净室会把外部污染物带入室内，特别是人员本身就是一个重要的污染源，不同衣着、不同动作时人体产尘量不同，根据调查可知身着普通服装的人走动时的产尘量可达约(≥0.5μm)近300×104pc/min·P。国外有关资料报导，洁净室中的灰尘来源于人员因素的占35%。对洁净室空气抽样分析也发现，主要的污染物有人的皮肤微屑、衣服织物的纤维与室外大气中同样性质的微粒。由此可见，要获得生产环境所需要的空气洁净度，人员与物料的净化是十分必要的。二、雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更洁净工作服是人员净化用室的基本组成部分，也是人员净化必须的。生活用室及其它用室应视车间所在地区的自然条件、车间规模及工艺特征等具体情况，根据实际需要设置。例如：车间规模较大、人员集中或工艺为暗室操作的洁净室应设必要的休息室。三、1净鞋的目的在于保护人员净化用室入口处不致受到严重污染。国内多数洁净厂房人员入口前设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋垫、换鞋、套鞋等净鞋措施。为了保护人员净化用室的清洁，最彻底的办法是在更衣前将外出鞋脱去，换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行更衣前换鞋的制度，其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑，换鞋设施的布置考虑了外出鞋与清洁鞋接触的地面有明确的区分，避免了清洁鞋被外出鞋污染，例如跨越鞋柜式换鞋，清洁平台上换鞋等都有很好的效果。2外出服在家庭生活及户外活动中积有...
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洁净厂房虽不同于一般工业厂房，但在材料与构造的耐火性能以及火灾的火势形成、发展与扩散等基本特性方面，两者都基本一致。所以《建筑设计防火规范》(以下简称防火规范)中不少条文同样适用于洁净厂房。本文主要结合洁净厂房的下列特点，对于防火规范尚未包括或者不全适合的部分作必要的补充：1空间密闭，火灾发生后，烟量特大，对于疏散和扑救极为不利。同时由于热量无处泄漏，火源的热辐射经四壁反射室内迅速升温，大大缩短全室各部位材料达到燃点的时间。当厂房外墙无窗时，室内发生的火灾往往一时不容易被外界发现，发现后也不容易选定扑救突破口。2平面布置曲折，增加了疏散路线上的障碍，延长了安全疏散的距离和时间。3若干洁净室都通过风管彼此串通，当火灾发生，特别是火势初起未被发现而又继续送风的情况下，风管成为烟、火迅速外窜，殃及其余房间的重要通道。4室内装修使用了一些高分子合成材料，这些材料在燃烧时产生浓烟，散发毒气，有的燃烧速度极快。5某些生产过程使用易燃易爆物质，火灾危险性高。例如：甲醇、甲苯、丙酮、丁酮、乙酸乙脂、乙醇、甲烷、二氯甲烷、硅烷、异丙醇、氢等，都是甲、乙类易燃易爆物质，对洁净厂房构成潜在的火灾威胁。此外，洁净厂房内往往有不少极为精密、贵重的设备，建设投资十分昂贵，一旦失火，损失极大。鉴于以上几方面的特点，为了保障生命、财产的安全，尽量减少火灾中的损失，本文分别从防止起火与燃烧，便利疏散与抢救这两个方面...
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