————————————————————— 洁 净 室 定 期 检 查 项 目 ———————————————————————
为了监控洁净室在使用过程中的正常运行和维护,应对洁净室的运行状况及相关的设施进行定期检查。一般定期检查的项目见表1-1。
表1-1洁净室定期检查项目
项目 | 检查方法及其他 |
尘埃数 | 在规定的时间、地点、用粒子计数器测定控制粒径的微粒数 |
温湿度 | 在规定的时间、地点测定和核对连续测定记录 |
风量 | 测量净化空调系统的高效过滤器的压差,检查过滤器是否堵塞、安装的密封垫是否完好或过滤器损坏而引起的泄漏情况。使用风速计检查局部排风装置的风量 |
静压差 | 使用压力表测定洁净室内外的静压差 |
送风机和管道类 | 检查送风机轴承,送风机运行状态、尘埃和污物,送、回风管道内部和送风口和腐蚀及污垢等情况 |
照度 | 使用照度表在规定的时间、地点测定照度值 |
噪声 | 使用噪声测定仪在规定的时间、规定的地点测噪声值 |
其他 | 室内是否保持清洁、顶棚和墙面是否有裂缝或腐蚀、涂敷状态,机械和设备类有没有异常现象等,必须逐个列表检查,不能遗漏任何一项。根据产品生产工艺要求所必须的检查内容,如微振动、电磁干扰等 |
————————————————————— 空 调 系 统 设 备 保 养 项 目 —————————————————————
净化空调系统装置是确保洁净室内空气洁净度等级的主要设备,包括空气过滤器、洁净工作台、层流罩、空气吹淋室、传递窗、空调装置等的正常维护、定期检查和规定的测试认证等。见表1-2 净化空调系统设备保养项目
表1-2 净化空调系统设备保养项目
设备名称 | 管理项目 | 管理内容 | 使用仪器 | 检测要求 |
高效过滤器 | 洁净度 | 洁净室定点监控扫描测试及垫片部分检漏,每台高效过滤器测10点以上 | 粒子计数器、毕托管、热风速仪、杯型风速仪、压差计 | 每三个月检查一次 |
风管气流速度 |
室内外静压差 |
中初过滤器 | 静压差 | 洁净室定点监控 | 毕托管、热风速仪、杯型风速仪、压差计 | 每一个月检查一次 |
初效过滤器 | 污染处理风量 |
|
| 每三天检查一次 |
风机、泵电动机 | 电压 | 定点监控 | 目视 电压表 电流表 转速表、动平衡仪 | 每日定时,动平衡3~6月 |
电流皮带的松弛程度 |
转数 |
噪声 |
发热转轴的平衡度 |
风机叶片的平衡度 |
控制仪表、控制阀等 | 感应动作 | 给定值变动试验; 用标准值校正; 用手动试验; 传感器清扫特别是温度传感器校正; 轴部分要进行精检 | 目测; 标准吊挂式温、湿度计; 电流计等有关标准仪器; | 动作每日定时,校正等按规定进行 |
记录仪动作 |
笔尖 |
墨水 |
记录纸 |
MD轴动作 |
MV轴动作 |
在下列任一情况下,应更换高效空气过滤器:
①气流速度降到最低限度,即使更换初效、中效空气过滤器后,气流速度仍不能增大;
②高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5~2倍;
③高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。