电子级磷酸属于高纯磷酸,是电子行业使用的一种超高纯化学试剂,属于电子化学品系列产品之,是电子工业不可替代的无机化工产品。电子级磷酸广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻,其纯度和洁净度对电子、元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响。而环境控制是电子级磷酸项目的质量保障体系之一,具有十分重要作用。大气中所含尘埃和多杂质,会对高纯度的电子级磷酸产品造成污染,因此必须在产品制备过程中和分析检测过程中,对各个环节可能接触的污染空气进行洁净化处理...
一、医药洁净空调洁净度设计洁净室是室内空气洁净度达到一定级别的房间,空气洁净级别依据每立方米空气中的微粒数来确定。各个国家对空气洁净级别的划分有不同的标准。《药品生产质量管理规范》规定一万级洁净区每立方米空气中0.5μm尘粒数≤350000,≥5μm尘粒数2000,浮游菌数≤100,沉降菌数≤3/皿;十万级洁净区每立方米空气中≥0.5μm尘粒数≤3500000,≥5μm尘粒数≤20000,浮游菌数≤500,沉降菌数≤10/皿。净化空调系统通过对空气进行净化处理(过滤)以达到规...
一、医药厂房洁净区内部污染的产生医药厂房洁净区内有大量的工艺设备、运输工具及工作人员,这些工艺设备、运输工具、人员本身会产生粉尘、湿热气体、异味及细菌等污染物,构成了洁净区内的污染源。控制洁净区内部污染物的扩散,也是医药厂房洁净空调设计的重要内容。二、控制医药厂房洁净区内部污染方式探讨1.产生粉尘房间的污染控制药品生产过程中有许多工序可能产生粉尘,如粉碎筛分、制粒、胶囊充填等工序,如果这些房间空调气流组织不合理,会造成粉尘扩散,从而影响到该房间空气洁净度。以粉碎间为例,设计中...
《洁净厂房设计规范》对洁净厂房疏散走廊明确提出了机械排烟要求,但对于洁净室没有明确规定一定要设机械排烟,实际工程中各地消防部门对于集成电路厂房洁净室是否设排烟的问题上要求也不一致;但集成电路生产企业的业主通常会将整个厂房进行投保,由于集成电路生产中要使用多种易燃的气体和液体,保险商一般均要求洁净室设置机械排烟措施,否则增加保费。所以在集成电路洁净工程中,洁净室机械排烟经常是不可回避的问题。集成电路厂房洁净室国内外目前常用的排烟方式有两种:即下排烟和上排烟。一、下排烟方式下排烟...
集成电路洁净厂房是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该洁净室对环境洁净度、温湿度、振动、ESD (静电控制)、AMC(气态分子级污染物)控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造洁净室有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。一、FFU系统已成主流方案根据洁净室空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU(风机过滤单元)循环系统。第一种形式在小规模低等级要求的洁净室设计中被广泛应用,对于大面积高等级的...
一、安全保证措施1.在项目经理领导下,以施工现场专职安全员为首,组织各施工队、组,各工种的兼职安全员,成立现场安全管理小组,负责全工地的安全生产的教育、指导、监督和管理2.加强对职工的安全思想教育,提高职工“安全第一、预防为主”的方针的认识,让每个职工懂得安全生产“人人有责”。组织现场职工学习,贯彻建筑安装安全技术操作规程,对不同工种分别学习有关安全规程,坚决贯彻执行3.严格贯彻中华人民共和国建筑法第四十六条的规定“未经安全生产教育培训的人员,不得上岗作业”。与每个职工签订安...
一、净化空调设备安装施工质量验收的通用要求。1齐全的随机文件,既代表了产品的内涵质量,又是安装、运行的依据,相关各方均应十分重视。2设备的开箱检查、验收是设备交接、安装的重要环节,应根据具体工程情况确定由建设方和有关方共同进行,并认真做好开箱、验收记录。3设备的搬运、吊装、就位是设备安装中十分重要的环节,特别是大型、特殊结构的净化空调设备,规范规定中强调:①应符合产品说明书要求,做好相关保护工作,防止设备损坏,这是确保设备安全搬运、吊装、就位和在此过程人身安全的基本要求;②应...
洁净工程有它的特殊性,电子产品洁净厂房的特点非常明显,第一个造价特点贵,随着半导体工程的发展,这样对于工厂的品质要求越来越高,玻璃基板的尺寸越来越大,从原来的一代线到现在的主流八代线,随着基本尺寸大造价越来越高。第二个特点是工期短,由于半导体工厂的特点投资特点大,所有的建设方尽快短期进行生产,取得投资回报,作为施工单位来讲摆在面前的一个特点就是工期要求非常紧。第三个特点是品质要求非常高,由于电子工厂它对厂房的依赖程度非常高,建厂当中的事故直接导致产品良品率的高低。第四个就是高...
1.电子洁净厂房的电气设计电子沽净厂房电气设计一般包括电力系统、照明系统、自动控制系统及防雷接地系统,各系统与其它专业相互配合,是电子洁净厂房安全生产不可缺少的因素。2.电子洁净厂房电力系统2.1确定负荷分级根据室外消防水量确定消防设备的负荷等级,根据电子产品生产工艺及设备要求确定工艺设备的负荷等级,选用合理的供电方式。电子产品生产用主要工艺设备,应由专用变压器或专用低压馈电线路供电。对电源连续性有特殊要求的生产设备、动力设备,设置不间断电源或备用发电装置。2.2特殊电压设备...
一、药厂洁净室污染控制原则洁净室污染源主要包括外污染源与内污染源两种,其中,外污染源包括间隙渗入、空调送风、工作服、建筑物、溶剂、风管材料以及供水等;内污染源包括工作人员、制造设备、消毒、加工制造、工具以及包装材料等。一般可从4个方面来进行控制,即防止外部尘埃侵入、防止室内发尘、室内发尘不积留以及空间尘粒及时去除。在正常情况下,应将洁净室保持在正压状态(5Pa),定期检查确保工程不存在漏气情况,人员设备以及原材料进入前需要进行全面清洁擦拭等防尘工作,还需要设置空气过滤器。对于...