一、高纯气体 、特种气体管道及其阀门附件等的材质应符合工程设计文件的要求。采用低碳不锈钢管时,其安装施工应符合规范的规定。二、管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏性试验和纯度测试。三、高纯气体、特种气体供应设施安装前,应按工程设计文件和产品说明书的要求,检查设备及填充的纯化材料、阀门和管件的完整性、密封性,并应做检查记录。检查数量:按气体品种、分系统全数检查。检验方法:观察检查、尺量。四、纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定:1搬入洁净室(区)前应进行清洁,符合...
一、微振控制设施施工(一)一般规定1微振控制设施应与洁净厂房主体结构、动力公用工程、净化空调系统、排风系统等相关设施同步施工安装。2微振控制设施的施工应根据具体工程项目特点,并按微振控制设施的设计、测试和建造程序进行。(二)微振控制设施施工主控项目(1)洁净厂房的微振控制设施的施工应按下列阶段进行测试分析:1现场环境振动测试及分析;2建筑结构振动特性测试及分析;3精密设备仪器安装场所环境振动测试及分析;4竣工验收测试及分析。检查数量:全数检查。检验方法:核查测试分析报告。(2...
一、一般规定(1)屏蔽设施的施工安装应制定屏蔽体施工方案,严格审查图纸。(2)屏蔽材料选择、屏蔽体(墙体则包括观察窗)厚度、屏蔽体结构应严格符合设计要求。二、屏蔽体(1)当电磁屏蔽采用混凝土时,其密度不得低于设计要求,并不小于2.35t/m3,骨料宜用重晶石(硫酸钡),厚度不得小于设计要求。(2)应制定选配混凝土并保证其达到密度大于等于2.35t/m3的措施、混凝土养护过程中产生的温度与外界温度之差不超过20℃的措施和浇捣、养护施工缝处理措施,并应制定墙体和屋顶模板支护方案。...
一、原理(1)保持室内为正压或负压均能满足检验要求,但条件允许时,负压洁净室宜用正压检验,正压洁净室宜用负压检验。(2)可按以下方法进行检测:1.压力衰减法使室内达到某一压力(正压或负压),关闭加压或抽负压系统,观察压力随时间哀减的情况,记录下压力衰减到起始压力的半时所用的时间,即为测量室内正压或负压的半衰期。2.恒压法使室内达到某一正压,同时向室内补气,使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压,使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量...
一、温湿度的检测(1)无恒温恒湿要求的温湿度检测应符合下列要求:1室内空气温度和相对湿度测定之前,空调净化系统应已连续运行至少8h。2温度的检测可采用玻璃温度计、数字式温湿度计;湿度的检测可采用通风式干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度检测仪或露点传感器等。根据温湿度的波动范围,应选择足够精度的测试仪表。温度检测仪表的最小刻度不宜高于0.4℃,湿度检测仪表的最小刻度不宜高于2%。测点为房间中间一点,应在温湿度读数稳定后记录。测完室内温湿度后,还应同时测出室外温湿度。(2)...
一、一般规定1承担洁净室施工的单位应按规范的相关规定,建立质量管理体系。2洁净室的各级施工人员应有必要的洁净室施工经历,明确的分工和职责。3特殊工种作业人员应持证上岗。4施工单位应编制施工组织设计,制定具体工程的施工程序,并按程序对施工全过程实行质量控制。5施工过程中,不得违反设计文件擅自改动系统、参数、设备选型、配套设施和主要使用功能。当修改设计时,应经原设计单位确认、签字,并得到建设单位的同意,在通知监理方之后执行。6施工安装的全过程、竣工设施的详细情况、所有操作和维护程...
一、防静电地面(1)防静电地面面层应选择耐磨、耐腐蚀、耐老化、不产尘、防火并具有稳定持久的防静电性能的材料制作。(2)在有220V及其以上电压的场所,其防静电地面宜使用静电耗散型材料,其表层的表面电阻应为1×105Ω~1×1010Ω,或体积电阻1×104Ω~1×109Ω(3)具有不燃性能要求的地面宜选用防静电水磨石和防静电瓷质地板。二、防静电水磨石地面(1)防静电水磨石所用砂、石、水泥嵌条等材料,应符合规范的有关规定。(2)在导电地网上...
一、一般规定1消防系统施工使用的设备、组件和原材料应符合设计要求,并采用符合法定机构检测确认合格的产品。2消防系统工程施工中采用的工程技术文件、承包合同文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定。3自动喷水灭火系统、气体灭火系统和火灾自动报警系统的工程施工及验收应符合相应的国家现行有关标准的规定。二、防排烟系统(1)排烟管道的安装试验应符合规范的有关规定。(2)排烟管道的隔热层应采用厚度不小于40mm的不燃绝热材料。(3)砖、混凝土风道的制作应保证管道的气密性,灰缝应饱满...
一、一般规定洁净室配电系统施工应按现行国家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303的要求,对所需各种材料、管线、盘柜、开关、灯具等检验合格后进行。二、线路(1)洁净区用电线路与非洁净区线路应分开敷设;主要工作(生产)区与辅助工作(生产)区线路应分开敷设;污染区线路与清洁区线路应分开敷设;不同工艺要求的线路应分开敷设。(2)穿过围护结构的电线管应加设套管,并用不收缩、不燃烧材料将套管密封。进人洁净室的穿线管口应采用无腐蚀、不起尘和不燃材料封闭。有易燃易爆气体的环境,...
一、给水1污染区域特别是微生物污染区域内的供水管,不得与用水设备直接相连,必须有空气隔断,配水口应高出用水设备溢出水位,间隔不应小于2.5倍出水口口径。在供水点和供水管路上均应安装压差较高的倒流防止器,供水管上还应设关断阀,供水管上的倒流防止器和阀门应设在清洁区。2洁净区的给水管道应涂上醒目的颜色,或用挂牌方式,注明管道内水的种类、用途、流向等。3生活用水系统不应采用镀锌钢管,可选用给水塑料管、不锈钢管、无缝钢管,工艺和空调给水系统应选用无缝铜管、聚丙烯管、不锈钢管,并应采用...