一、空调净化系统 空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点,下面来介绍硅晶片生产工序的空调净化系统方案。(1)空调系统①切片室、倒角室、研磨片室仅有温度控制要求,设风冷热泵分体柜式空调机(PAC)来保证房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,采用双层百叶风口侧送风方式;室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大,新风采用直接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来补充。车间有防尘要求,风冷热泵分体柜式空调机回风口处...
一、空调系统(1)冷热源新风集中处理机组(MAU)、降温空调机组(AHU)及空调循环机组(RCU)所用的冷媒为7℃~12℃的冷冻水;新风集中处理机组(MAU)及降温空调机组(AHU) 所用热媒为38℃~32℃的热水;洁净区新风集中处理机组(MAU)初级冷盘管、洁净区循环空气处理干冷盘管所用冷媒采用15℃~20℃的冷冻水;加湿方式为电热式加湿器。(2)空调系统根据生产工艺的要求相应设计了净化空调系统、恒温恒湿空调系统、降温空调系统及直流空调系统。1.厂房中的洁净生产车间为工艺生...
一、风量计算实验动物房的空调净化系统要解决的两个主要问题:防止交叉感染和臭气的扩散。实验动物设施的污染源,除微生物外,还有氨、硫化物等发臭物质。为防止发臭物质的蓄积,实验动物房的空调净化系统一般采用全新风方式。因此风量的计算,主要是新风量和排风量计算。风量一般采用经验换气次数,根据规范,普通环境换气次数采用15次/h,屏障环境换气次数采用20次/h,另外还需结合具体房间的负荷,比较消除负荷所需的风量大小,个别设备散热量大的房间换气次数会大于经验值。新风量确定后,根据房间压差,...
一、湿度在半导体行业中的要求半导体的生产工厂要在全年四季的气候条件下,生产车间内部要求维持稳定的环境,特别是对于生产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织,压力平衡等多个空调参数都提出了严格的要求。有别于其他的恒温恒湿环境系统的要求,由于电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其品质的影响,其对湿度的精度提出了严格要求,对于空调系统的配置,则要求系统同时具备夏季除湿的功能和冬季加湿的功能。一般的,半导体生产行业的温湿度条件为:T=22±2℃,RH=45±5%;...
一、锂电池产品生产工艺的环境要求分析根据工艺需求特点,可以大致将锂电池生产厂房对于空调系统的湿度需求分为以下三类:1)普通湿度需求空调房间,如负极涂布间等房间,其湿度控制需求为≤60%,该需求可通过冷却除湿实现。2)低湿需求空调房间,如正极辊压间、正极分条间、正极模切间以及正极二分间等房间,其湿度控制需求为≤20%,以及正极涂布间、负极辊压间、负极分条间、负极模切间以及负极二分间等房间,其湿度控制需求为≤45%,该需求通过冷却除湿很难实现,因此往往通过转轮除湿机组处理后来满足...
一、分析医药生物类洁净厂房的特点及火灾危险性所谓的洁净厂房是指在建设进程有特殊要求净化车间。由于洁净厂房在使用上的特殊性,决定了其建筑结构、布局、功能分区等方面不同于一般建筑物的施工,洁净厂房具有的特殊性和复杂性。再结合医药生物类企业特点,可以把医药生物类洁净厂房的特点归为以下几类:1.建筑和装修材料大多数是可燃材料。由于洁净厂房需要特殊,常使用许多新的复合材料,加之一些施工单位缺乏消防知识,选择颜色钢铁和泡沫,增加了火灾发生的概率,且这些材料燃烧,会产生大量的有毒气体。2....
电子级磷酸属于高纯磷酸,是电子行业使用的一种超高纯化学试剂,属于电子化学品系列产品之,是电子工业不可替代的无机化工产品。电子级磷酸广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻,其纯度和洁净度对电子、元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响。而环境控制是电子级磷酸项目的质量保障体系之一,具有十分重要作用。大气中所含尘埃和多杂质,会对高纯度的电子级磷酸产品造成污染,因此必须在产品制备过程中和分析检测过程中,对各个环节可能接触的污染空气进行洁净化处理...
一、医药洁净空调洁净度设计洁净室是室内空气洁净度达到一定级别的房间,空气洁净级别依据每立方米空气中的微粒数来确定。各个国家对空气洁净级别的划分有不同的标准。《药品生产质量管理规范》规定一万级洁净区每立方米空气中0.5μm尘粒数≤350000,≥5μm尘粒数2000,浮游菌数≤100,沉降菌数≤3/皿;十万级洁净区每立方米空气中≥0.5μm尘粒数≤3500000,≥5μm尘粒数≤20000,浮游菌数≤500,沉降菌数≤10/皿。净化空调系统通过对空气进行净化处理(过滤)以达到规...
一、医药厂房洁净区内部污染的产生医药厂房洁净区内有大量的工艺设备、运输工具及工作人员,这些工艺设备、运输工具、人员本身会产生粉尘、湿热气体、异味及细菌等污染物,构成了洁净区内的污染源。控制洁净区内部污染物的扩散,也是医药厂房洁净空调设计的重要内容。二、控制医药厂房洁净区内部污染方式探讨1.产生粉尘房间的污染控制药品生产过程中有许多工序可能产生粉尘,如粉碎筛分、制粒、胶囊充填等工序,如果这些房间空调气流组织不合理,会造成粉尘扩散,从而影响到该房间空气洁净度。以粉碎间为例,设计中...
《洁净厂房设计规范》对洁净厂房疏散走廊明确提出了机械排烟要求,但对于洁净室没有明确规定一定要设机械排烟,实际工程中各地消防部门对于集成电路厂房洁净室是否设排烟的问题上要求也不一致;但集成电路生产企业的业主通常会将整个厂房进行投保,由于集成电路生产中要使用多种易燃的气体和液体,保险商一般均要求洁净室设置机械排烟措施,否则增加保费。所以在集成电路洁净工程中,洁净室机械排烟经常是不可回避的问题。集成电路厂房洁净室国内外目前常用的排烟方式有两种:即下排烟和上排烟。一、下排烟方式下排烟...