集成电路洁净厂房是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该洁净室对环境洁净度、温湿度、振动、ESD (静电控制)、AMC(气态分子级污染物)控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造洁净室有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。一、FFU系统已成主流方案根据洁净室空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU(风机过滤单元)循环系统。第一种形式在小规模低等级要求的洁净室设计中被广泛应用，对于大面积高等级的...
IC 生产由于其工艺加工线宽极小，所以对温湿度的精度要求很高，通常温度精度为土0.3~±0.5℃，相对湿度精度为±2%~±3%。该类厂房洁净室一般采用新风集中处理加FFU系统，在下夹层或.上静压箱内设干表冷器。洁净室内的相对湿度由新风机组保证，温度由干表冷器保证。一、新风处理及相对湿度保证新风处理机组中设置初、中、高效三级过滤，以去除室外空气中的灰尘粒子，设高效过滤器很有必要，可以延长洁净室顶部FFU内ULPA过滤器的使用寿命；设置化学过滤器主要...
一、安全保证措施1.在项目经理领导下，以施工现场专职安全员为首，组织各施工队、组，各工种的兼职安全员，成立现场安全管理小组，负责全工地的安全生产的教育、指导、监督和管理2.加强对职工的安全思想教育，提高职工“安全第一、预防为主”的方针的认识，让每个职工懂得安全生产“人人有责”。组织现场职工学习，贯彻建筑安装安全技术操作规程，对不同工种分别学习有关安全规程，坚决贯彻执行3.严格贯彻中华人民共和国建筑法第四十六条的规定“未经安全生产教育培训的人员，不得上岗作业”。与每个职工签订安...
一、相关设计及规范要求(1)进入施工现场的所有设备、主要材料及配件都应有产品合格证或质保书，设备应有铭牌，不合格的严禁进场使用(2)各类吊、支托架、管道、风管法兰等需防腐处理的金属件在安装前应严格除锈并刷防锈漆(埋地应刷两度防锈漆)，竣工前应刷面漆，各类管道的色标应按设计或规范要求执行，并在主干管上标有流向标记(3)室内给水支管(管径20及以下)的安装，管道在转角、水表水龙头或角阀及管道终端100mm处应设管卡，管卡必须安装牢固，水管管径在40及以上的，应采用U型钢、U字螺栓...
一、支、吊架制作安装管道的支、吊架制作时应根据图纸设计的要求进行。管道活动支、吊架的具体形式和设置位置根据现场实际情况确定。安装前，先定位放线，根据设计要求及规范选用支、吊架材料。管道支、吊架设置于保温层外部，在穿过支、吊架处应镶以垫木。支吊架制作、组对时先点焊，检查合格后方可正式焊接，使支、吊架的型式、材质、加工尺寸及焊接符合规范要求，制作完成后及时进行防锈处理。安装时应根据设计要求进行放线并合理布置支架的安装和受力部件必须符合有关标准的规定。支吊架应牢固紧密的固定在墙、柱...
施工工序：通风技术、物资准备→图纸交底→洞、孔预埋→风管制作→管道安装→设备安装→设备调试→风量平衡测试→系统调试交验一、相关设计及规范要求(1)空调通风管道的镀锌钢板厚度按照现行规范执行。风管的弯曲半径为0.5A(A为转弯边边长)；(2)风管的三通或四通可采用三、四通管式或马鞍管式，具体情况视现场实际情况而定；(3)空调风管法兰制作采用热轧等边角钢。角钢法兰制作时，应在平台设置卡具，使成型法兰表面平整度误差≯2mm，对角线误差≯2mm。圆形法兰任意正交两直径之差≯2mm；(...
施工工序：电气技术、物资准备→图纸交底→管路预埋→配电柜(箱)安装→桥架、保护管敷设→电线电缆、母线敷设→灯具、器具安装→设备、器具安装→送电、单体调试→系统调试交验一、防雷接地系统该工程利用基础钢筋作接地体，基础内不少于2根主筋焊接连通形成环网，并与桩内钢筋连接。屋面防雷装置通过引下线(柱内主筋)与基础接地网连通。配电间设总等电位端子箱MEB，由—25*4镀锌扁钢从接地网引至。(1)接地体(线)的连接应采用搭焊接，其长度必须满足：扁铁宽度为2倍(至少三个棱边焊接)；圆钢直径...
随着电子技术的发展，电子产品越来越多地应用于各类生产生活领域。与之相适应，电子生产厂房的修建也与日俱增。其中的接地技术较常规的建筑接地种类繁多，涉及面广。接地系统根据用途具体可分为电源系统接地、电气保护接地、防静电接地、信息系统的接地、电子设备接地、防雷接地几个种类。1、电源系统接地在某电子厂房设计中使用TN-S系统。变压器中性点接地，系统的保护线与中性线完全分开，这种方式对供电、保护、经济合理性等均十分有利，其选择原则与常规建筑一致。对于传达室等距离主体建筑较远的零星建筑单...
一、微电子厂房特点随着科技技术的发展，电子产品生产日新月异，以微电子产品为代表的各种电子产品生产技术发展迅速。现代电子产品要求微型化、精密化高纯度、高质量和高可靠性，以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例，它所使用的集成电路电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作。根据生产要求对室内空气的洁净度、温度、相对湿度以及压力、噪声、振动、静电等参数进行控制的生产厂房。微电子厂房与其他工业厂房相比，空气洁净度等级高气流方式大部分为单向流、送风量大、室内温湿度要求高、噪声...
一、净化空调设备安装施工质量验收的通用要求。1齐全的随机文件，既代表了产品的内涵质量，又是安装、运行的依据，相关各方均应十分重视。2设备的开箱检查、验收是设备交接、安装的重要环节，应根据具体工程情况确定由建设方和有关方共同进行，并认真做好开箱、验收记录。3设备的搬运、吊装、就位是设备安装中十分重要的环节,特别是大型、特殊结构的净化空调设备，规范规定中强调：①应符合产品说明书要求，做好相关保护工作，防止设备损坏，这是确保设备安全搬运、吊装、就位和在此过程人身安全的基本要求；②应...