一、空调系统
（1）冷热源
新风集中处理机组(MAU)、降温空调机组(AHU)及空调循环机组(RCU)所用的冷媒为7℃~12℃的冷冻水；新风集中处理机组(MAU)及降温空调机组(AHU) 所用热媒为38℃~32℃的热水；洁净区新风集中处理机组(MAU)初级冷盘管、洁净区循环空气处理干冷盘管所用冷媒采用15℃~20℃的冷冻水；加湿方式为电热式加湿器。
（2）空调系统
根据生产工艺的要求相应设计了净化空调系统、恒温恒湿空调系统、降温空调系统及直流空调系统。
1.厂房中的洁净生产车间为工艺生产的关键区域，洁净度要求较高，粒子数最高要求为≤10000颗/ft3 (对于0.5μm粒径)。该区域建筑上分为2层，上层为送风静压箱，吊顶由风机过滤器单元(FFU) +金属吊顶框架组成，下层为工艺生产区。该区域采用送风静压箱+吊顶上安装的风机过滤器单元(FFU)顶送风，沿结构柱或侧墙设置的回风夹道回风，工作区气流组织形式为顶送下侧回。洁净室内循环回风经过安装于回风夹道内的干冷盘管进行降温处理后与新风混合，再送至室内。
2.厂房中的洁净生产车间设置单独的新风集中处理系统。新风经粗效、中效、高效过滤器过滤，温度、湿度处理后送入送风静压箱内与洁净室内循环回风混合。新风集中处理系统的处理流程为：新风入口→粗效过滤器过滤→初级表冷→二级表冷→加热段→电加湿→风机加压→中效过滤器过滤→高效过滤器过滤→送风静压箱内与洁净室内循环回风混合。
3.主厂房中的非洁净生产车间空调系统采用新风集中处理(MAU)加空调循环机组(RCU)。室内回风经粗效、中效过滤、冷却处理并与新风混合后送入室内。
4.根据工艺的要求，化学药品储存、气体储存、供给室等房间设计了直流式空调系统，送入的空气全部排至室外。新风经粗效、中效过滤器过滤及温度处理后送入使用房间内，空气处理系统的处理流程为：新风→粗效过滤器过滤→中效过滤器过滤→表冷→风机→使用房间。
5.变配电室设置柜式空调器接送风管送风(供15℃冷冻水)和通风系统，过渡季节可以全新风运行。
6.办公区、休息区、餐厅区域设计了降温空调系统。系统组成为新风集中处理+吊顶安装风机盘管或吊顶式空调机组。
二、空调自控系统
（1）净化空调控制系统
1.室内温度控制：由室内干球温度控制干盘管冷水管道上的电动调节阀，调节冷水量，当温度高时，阀门开大，反之关小。当检测到干盘管供水温度为15℃ (比室内空气露点温度高2℃)时，再开启各组干盘管中温水系统电动阀，若房间空气露点温度≥13℃，则关闭干盘管中温水系统电动阀，避免产生冷凝水。
2.室内相对湿度控制：由室内平均相对湿度控制新风集中机组二级表冷段管道上的电动调节阀，调节冷水量，相对湿度高时，加大冷水量，相对湿度低时，减小冷水量或加大加湿器的加湿量，以满足室内相对湿度要求，湿度控制优先。
3.新风机组送风温度控制：由新风集中机组内温度T1控制一级表冷段管道上的电动调节阀，由新风集中机组出口处送风温度T2控制二级表冷段管道上的电动调节阀或加热段加热量，以达到设计的送风温度参数。
4.风机过滤器单元 (FFU)控制：FFU的启停采用群控方式，按平面布置形式分组同时开启或关闭；每台FFU运行状态及故障报警信号均需反馈至控制室。
（2）非净化车间空调控制系统
1.室内温度控制：由室内干球温度控制空调循环机组表冷段管道上的电动调节阀，调节冷水量，当温度高时，阀门开大，反之关小。
2.室内相对湿度控制：由室内平均相对湿度控制新风集中机组二级表冷段管道上的电动调节阀，调节冷水量，相对湿度高时，加大冷水量，相对湿度低时，减小冷水量或加大加湿器的加湿量，以满足室内相对湿度要求，湿度控制优先。
3.新风机组送风温度控制：由新风集中机组内温度T1控制一级表冷段管道上的电动调节阀，由新风集中机组出口处送风温度T2控制二级表冷段管道上的电动调节阀或加热段加热量，以达到设计的送风温度参数。
（3）化学品储存室空调控制系统
1.室内温度控制：由室内干球温度控制表冷段管道上的气动调节阀调节冷水量，当温度高时，阀门开大，反之关小。
2.运行控制：空调系统运行，先开新风电动调节阀及空调机组，再开排风机。
（4）变配电室空调控制系统
1.室内温度控制：由室内干球温度控制柜式空调器表冷段管道上的电动调节阀调节冷水量，当温度高时，阀门开大，反之关小。
2.全新风运行控制：分别检测室内外温湿度参数，进行焓值比较。当新风带入冷量等于室内负荷时，空调机组停止运行，开启进风口处及排风主管上的电动调节阀，联锁排风机启动，切换成全新风系统。
（5）办公区空调控制系统
1.吊顶(立)式空调机组(回风工况)控制：由回风或室内温度控制冷冻水管道上的电动调节阀，使室内温度保持在要求的范围内。
2.吊顶(立)式空调机组(新风工况)控制：采用由送风温度控制冷冻水管道上的电动调节阀，使送风温度保持在要求的范围内。
3.风机盘管控制：采用温控器控制冷冻水管道上的电动两通阀，手动控制风机三速的控制方式。空调系统控制中，空调风机启停均需与电动调节阀连锁，当切断风机电源时，电动调节阀亦同时关闭。
三、空调节能措施
（1）新风集中处理系统空调器采用变频风机，可根据洁净室所要求的正压值及实际工作情况，调节变频风机的送风量来保证室内正压。
（2）空调系统用热水，由带热回收装置的冷冻机组提供。
（3）空调房间围护结构、空调风管及水管等均采取隔热保温措施，减少能量损失。
（4）选择高效、节能型的通风、空调及供冷、供热设备，且空调系统均配置自动控制系统，以利节能。
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