一、 工艺冷却水系统（PCW）
1、系统解析：
核心功能：为工艺设备（如真空泵、扩散炉、蚀刻机等）提供恒定温度、恒定压力的冷却水。关键组成：板式换热器、循环水泵、缓冲水箱、补水系统、水温控制系统（三通阀/变频控制）、精密过滤器、水质监测与加药装置、管道及阀门。
2、核心参数：
供水温度：设定值±0.5℃（如22±0.2℃），供水压力：设定值±0.1Bar，水质：电导率<10 μS/cm，总硬度<50 ppm as CaCO3，细菌总数<1000 CFU/mL，流量：根据设备需求。
3、运维要点：
日常巡检：检查供水温度、压力是否稳定，检查水泵运行状态，检查水箱液位，观察水质在线仪表读数（电导率、pH），检查系统有无泄漏。
4、定期维护：
每周：检测水质（pH、电导率、硬度、微生物），根据结果调整加药量。每月：清洗过滤器滤网，检查水泵机械密封。每季度：对系统进行排污和补水，校准温度、压力传感器及水质仪表。每年：清洗板式换热器及水箱，对管道系统进行化学清洗预膜（视情况而定）。
5、关键记录：运行参数日志、水质分析报告、加药记录、维护记录。
二、 压缩空气与真空系统
1、系统解析：
核心功能：提供干燥、洁净的压缩空气作为气动动力源或工艺气体；提供稳定真空环境满足工艺要求。
2、关键组成：
空压系统：空压机（螺杆式/离心式）、储气罐、冷冻式干燥机、吸附式干燥机、三级过滤器（油水、粉尘、活性炭）、输配管道。真空系统：真空泵（干泵/油旋片泵/罗茨泵）、真空储罐、除尘/过滤装置、废气处理装置、输配管道。
3、核心参数：
压缩空气：压力~0.6-0.8MPa，露点温度<-40℃（常压），含油量<0.01 ppm，固体颗粒物<0.01μm，真空：极限真空度（如1x10⁻³ mbar），抽气速率
4、运维要点：
日常巡检：检查空压机/真空泵运行温度、压力、电流，观察冷干机冷凝水排放情况，检查过滤器压差指示，监听设备有无异响，检查储气罐/真空罐压力。
5、定期维护：
每日：排放储气罐及过滤器冷凝水。每月：清洁空压机冷却器，检查传动皮带，测试安全阀。每季度：更换压缩空气过滤器滤芯，检查吸附式干燥机吸附剂，更换真空泵油（油润滑式），清洁真空泵进气过滤器。每年：清洗储气罐内部，校准所有压力表及传感器，对空压机进行全面保养（由专业厂家进行）。
6、关键记录：运行数据记录、维护保养记录、过滤器更换记录、露点及含油量检测报告。
三、 中央监控与能源管理系统（BMS/EMS）
1、系统解析：
核心功能：对全厂厂务设施进行集中监控、数据记录、报警管理、能效分析和优化控制。关键组成：监控服务器、操作员工作站、网络交换机、PLC/DDC控制器、各种传感器（温度、压力、流量、液位、水质等）、执行器（阀门、变频器）、智能电表、软件平台。
2、运维要点：
日常操作：24小时监视系统报警并及时处理，浏览关键参数趋势图，定期备份数据库及系统配置。
3、定期维护：
每周：检查服务器、工作站、网络设备运行状态，清理日志文件。每月：校验关键传感器读数与现场仪表的一致性，检查控制器I/O模块状态。每季度：对软件系统进行安全扫描和病毒查杀，更新漏洞补丁（需在测试环境验证后）。每年：对系统进行全面的功能测试和联动测试，校准所有接入的智能表计。
4、关键记录：报警处理记录、系统备份记录、软件变更记录、校准测试报告。
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