一、吹淋室
吹淋室是人身或物料用净化设备，它是利用高速(≥25m/s)的洁净气流吹落并清除拟进入洁净室人身服装或物料表面上附着粒子的小室。由于进出吹淋室的门是不同时开启的，可以兼起气闸作用，防止外部空气进人洁净室，并使洁净室维持正压状态。吹淋室除了有一定净化效果外，它作为人员进人洁净区的一个分界，还具有警示作用，有利子规范洁净室人员在洁净室内的活动。
空气吹淋室按结构分为小室式和通道式两种。洁净厂房一般采用单人或双人小室式风淋室。在《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001）中规范：“单人吹淋室按最大班人数每30人设一台。当最大班使用人数超过30人时，可将两台或多台单人吹淋室并联布置。”但小室式吹淋室设置的数量不能过多，一般人员吹淋时间约为30s/人，若需通过吹淋的人数很多时，可考虑设置通道式吹淋室。
吹淋速度一般在25-35m/s之间，吹淋温度在30-35℃之间，并设自动控制和无风断电保护装置。
二、 气闸室
气闸室是设置在洁净室出人口或不同空气洁净度等级房间之间，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。气闸室具有两扇不能同时开启的门，其目的是隔断两个不同洁净环境的空气，防止污染空气进人洁净区，还可防止交叉污染。
三、洁净工作台
洁净工作台是一种可根据产品要求或其他用途在操作台上保持高洁净度的局部净化设备。它具备以下基本的功能要求。
1、采用足够的送风量、合适的气流流型，选择可靠的过滤装置，确保所需的空气洁净度等级。
2、工作台内操作面上的气流分布应均匀，可调。
3、有排风装置时，应选用必要的排气处理装置或技术措施，达到对室内外的环境不污染或达到允许的排放要求。
4、噪声低、振动小，满足相关标准、规范的要求。
5、操作面相关表面光滑、平整、无凹凸、防止积尘。
6、工作台内的过滤器拆装方便。
7、工作台的工作和空气洁净度以及其他特殊要求等宜采用自动控制进行操作，至少应装设必要的显示仪表显示工作台的工作状态。
四、生物安全柜
生物学安全柜是一种特殊类型洁净工作台，是专为进行有生物学危险性操作用的，其作用主要是保护操作人员避免受到操作对象的生物危害，生物安全柜的隔离对象主要有：一般病原体、痛病毒和重组基因中的活性物质等。生物安全柜除了向工作区域供给洁净空气外，同时还将从工作区域排出的污染空气由高效过滤器进行除菌处理后排出，所以对于洁净生产环境或实验室环境以及操作人员都能起到保护作用。
五、层流罩
层流罩是垂直单向流的局部洁净送风装置，局部区域的空气沾净度可达5级(100级)或更高级别的洁净环境，洁净度的高低取决于高效过滤器的性能。层流罩按结构分为有风机和无风机，前回风型和后回风型；按安装方式分为立〔柱)式和吊装式。其基本组成有外壳、预过滤器、风机(有风机的)、高效过滤器、静压箱和配套电器、自控装置等。
六、余压阀
余压阀是为了维持一定的室内静压而设置的单向开启的风量调节装置。按静压差来调整开启度，用砝码的位置来平衡风压。通过余压阀的风量一般在5-20m³/min之间，维持压差在5-20Pa之间。
余压阀对急剧的静压变化有很好的适应性，一般宜设置在静压差不同的洁净室之间的下风侧的外墙上，并不得设在明显地影响下游侧的室内气流的场所。
余压阀的选择与安装：余压阀的结构应能正确的动作，可动部分加工精度满足要求。静压差急剧变化放映灵敏。结构上不易积灰。按计算的漏风量可以排出的原则决定大小和设置台数，排出风速不应明显地影响下流侧室内气流状态。
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