一、大宗气体系统（CDA、GN₂、GO₂、GAr、GH₂、GHe、CO₂）
1、依据工艺机台流量叠加+20%余量完成耗量计算，总流量偏差≤±3%；设计压力等级0.6MPa、0.8MPa、1.6MPa三档，末端压力波动≤±0.02MPa。
2、设计空压机+吸附干燥+催化干燥+0.01μm过滤器制取CDA，露点≤-70℃，残油≤0.01mgm⁻³，颗粒≥0.1μm≤0.1pcs/m³；系统冗余N+1，自动切换时间≤30s。
3、设计低温储罐（GN₂/GO₂/GAr/GHe）、真空绝热管道，日蒸发率≤0.15%；储罐压力0.4MPa，末端汽化器出口温度15-25℃，汽化能力峰值≥1.5倍最大小时用量。
4、设计高压GH₂隔膜压缩机，出口压力45MPa，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa·m³s⁻¹；设置氮气吹扫+双截止泄放阀组，管道材质316LEP级，内表面粗糙度Ra≤0.25μm。
5、设置中央纯化器：GN₂纯化后O₂≤1ppb，H₂O≤1ppb，颗粒≥0.05μm≤1pcs/m³；GO₂纯化后THC≤10ppb，H₂O≤50ppb；纯化器切换再生时间≤4h，旁路响应≤10s。
6、配置PLC+SCADA，实时监测压力、温度、流量、露点、纯度，数据刷新≤1s；高压段设置气体侦测器，报警≤10s，自动关断阀关闭时间≤1s。
7、编制安装、保压、氦检、颗粒测试方案：高压管道30MPa保压30min压降≤0.05MPa；氦质谱检漏率≤1×10⁻¹⁰Pa·m³s⁻¹；颗粒≥0.1μm≤10pcs/m³。
二、特气供应系统（SiH₄、NH₃、Cl₂、HCl、PH₃、AsH₃、BF₃、WF₆、N₂O、CF₄、HBr等）
1、依据工艺机台流量及切换瞬态完成瓶束/钢瓶/Y-cylinder耗量计算，余量≥30%；设计双流程源柜（VMB）+双钢瓶自动切换，切换时间≤15s，压力波动≤±0.01MPa。
2、设计独立特气间，耐火等级≥2h，防爆等级ExdIICT6，排风换气≥12次/h，负压差-50Pa~-100Pa；设置红外/电化学双传感器，气体侦测器T90≤10s，报警≤1s联动关断阀。
3、选用316LEP级管道，内表面Ra≤0.13μm，全自动轨道焊100%拍片，焊缝凸起≤0.05mm；He检漏率≤1×10⁻¹¹Pa·m³s⁻¹，颗粒≥0.02μm≤10pcs/m³。
4、设置双气动隔膜阀+泄放阀组（DoubleBlock&Bleed），阀座泄漏率≤1×10⁻⁹Pa·m³s⁻¹；SiH₄、PH₃、AsH₃等自燃/剧毒气体配置0.01s高速关断阀，驱动氮气压力0.6-0.8MPa。
5、设计尾端LocalScrubber：燃烧+水洗+吸附三级，DRE≥99.99%，出口SiH₄≤0.1ppm，PH₃≤0.05ppm，HF≤1mgm⁻³；烟囱高度≥15m，流速≥10ms⁻¹。
6、设置钢瓶称重系统，精度±10g，剩余量≤5%触发更换信号；建立钢瓶全生命周期条码追溯，领用、回收、报废记录100%系统留痕。
7、编制SEMIS2、NFPA318、GB50493符合性验证文件，完成IQ/OQ/PQ，系统可用率≥99.9%，年度泄漏检测≥4次零事件。
三、化学品供应系统（酸、碱、溶剂、研磨液、光刻胶、显影液）
1、依据工艺用量+20%余量完成日耗量计算，设置ISOTank/IBC/Drum三级补液模式，切换时间≤5min；主管流速1-1.5ms⁻¹，回流速≥0.5ms⁻¹，温度控制±1℃。
2、设计独立化学品间，耐火≥2h，地面防腐环氧+围堰110%容积，负压-30Pa；排风≥12次/h，溶剂间采用防爆ExdIIBT4，酸间设酸雾吸收塔，排放HCl≤5mgm⁻³。
3、选用PTFE/PFA/316LEP级管道，内表面Ra≤0.25μm；双管套管输送，外层PP-R透明管，泄漏传感器响应≤5s，自动关断阀≤1s。
4、设置中央化学品供应柜（CDU），配置0.1μm过滤器，颗粒≥0.1μm≤10pcs/mL；金属离子Na⁺≤0.3ppb，K⁺≤0.2ppb，Cu≤0.05ppb；温度控制15-25℃±0.5℃。
5、设计回收/废液收集系统：废酸、废溶剂分类收集，废液罐N+1冗余，液位连续测量±5mm；设置废液浓度在线监测，超标自动切换事故罐，零排放外泄。
6、配置PLC+SCADA，实时监测压力、流量、温度、液位、泄漏，数据刷新≤1s；设置两级报警：预报警90%液位，紧急报警95%，自动停泵；历史数据存储≥5年。
7、编制化学品质保与追溯体系：每批次MSDS、COA、金属离子、颗粒、水分、色度检测，数据录入LIMS；过滤器更换压差≥初始2倍或30天，先到为准。
四、安全、环保与职业健康
1、符合SEMIS2、NFPA318、GB50493、GB50058、GB/T20801、危险化学品管理条例；建立HAZOP、LOTO、PPE、应急响应体系。
2、设置气体/化学品泄漏中央监控系统，T90≤10s，声光报警≤1s，自动切断阀≤1s；年度泄漏检测≥4次零事件。
3、建立钢瓶、储罐、管道、阀门台账，年度检验率100%；特种设备备案、定检一次通过率100%。
4、组织特气自燃、化学品灼伤、HF中毒、Cl₂泄漏应急演练≥2次/年，演练评估改进完成率100%；年度安全、环保事故0起。
五、运行维护与故障处理
1、建立7×24h巡检制度，大宗气体、特气、化学品间每班≥1次；红外热像检测每月≥1次，热点温升≤55K。
2、制定年度预防性维护计划：过滤器、纯化器、泵、阀门、传感器、标定气体，一次完成率≥98%；特气柜阀座泄漏率年度复测≤1×10⁻⁹Pa·m³s⁻¹。
3、故障响应：大宗气体压力异常MTTR≤15min，特气柜泄漏MTTR≤10min，化学品泄漏MTTR≤5min；建立RCA数据库，年度重复故障率下降≥20%。
4、备品备件：高速关断阀、隔膜阀、传感器、过滤器、PFA管关键件库存≥单元总量10%，存储环境≤25℃/50%RH。
六、项目与成本管理
1、编制气化专业WBS、进度网络图，关键路径偏差≤2天；预算控制±2%以内，设计变更签证率≤1%。
2、工程量清单准确率≥98%，高纯气体管道、PFA管损耗率≤1%，废管回收率≥95%；对承包商月度考核，质量、安全、进度权重分别40%、30%、30%。
3、竣工后30天内完成竣工图、备品备件、软件备份、验证报告移交，资料完整率100%。
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