一、总则
1、目的：为强化工厂能源资源集约利用，降低生产运营成本，提升能源利用效率，保障生产系统稳定运行，推动绿色低碳制造转型，制定本规范。
2、适用范围：本规范适用于工厂内所有生产车间、辅助设施、办公区域的能源使用管理，涵盖工艺设备、冷却系统、洁净室、电力系统、气体输送、给排水等全流程用能环节，全体部门及员工均需严格遵守。
3、基本原则：技术驱动原则：优先采用行业先进节能技术、工艺及设备，以技术革新提升节能实效；系统管控原则：构建全流程、多维度的节能管理体系，实现能源消耗的精准管控与持续优化；全员参与原则：明确各部门及岗位节能职责，强化节能宣传培训，形成全员参与的节能氛围；持续改进原则：建立节能绩效监测与评估机制，定期分析能耗数据，动态优化节能措施。
二、工艺设备节能
光刻机应配置智能动态节能系统，根据晶圆曝光时段动态分配能耗，闲置状态下自动切换至低功耗模式，峰值功耗降低 44% 以上。真空泵组需采用智能调度 + 变频控制系统，实时监测系统压力并自动启停调节，干式真空泵能耗较传统设备降低 33% 以上。
氮气吹扫系统应配备高效控制器，运行功耗控制在 1W 以内，能耗较传统系统降低 80%。优先采用低温 / 低压制程工艺，优化离子注入区域布局，14nm 及以下先进制程单位产品功耗较前代降低 30% 以上。
腔室清洗流程需优化工艺参数，减少 NF₃消耗 33% 以上，同步降低碳排放 32%。所有生产设备应建立节能维护规程，定期开展能效检测与校准，确保设备长期维持设计节能指标，延长设备使用寿命30%以上。
三、冷却系统节能
冷却塔应配备高效风扇与变频控制装置，结合智能算法优化运行参数，单台年节电不低于对应传统设备的 15%，全厂冷却塔集群年节电不低于650 kWh。冷水机组采用变频改造与智能控制相结合的方式，COP 值提升 25% 以上，中央空调系统年节约电费不低于180万元。
压缩干燥空气（CDA）系统应配置温水回收预冷装置，冷冻水用量减少 80%，年节能不低于 650 万 kWh。关键发热设备采用直接硅片液冷（DSLC）技术，实现冷却液与芯片直接热交换，热阻降低 30% 以上，冷却基础设施规模缩减 50%。冷却水管网优化布局，采用保温性能优异的管道材料，减少散热损失，管网输送效率提升至 95% 以上。
四、洁净室节能
洁净室气流组织采用 CFD 模拟优化设计，配置 AI 动态风量控制系统，根据生产负荷实时调节风量，非生产时段风量降至生产时段的 70%，能耗降低 20% 以上。采用热回收系统 + 变频风机 + 辐射冷却复合技术，热回收系统 COP 值达到 6.5 以上，年能耗降低 18%，综合节能率不低于 20%。
新建洁净室按碳中和标准设计，单位产值能耗较传统洁净室降低 42% 以上。照明系统全面采用 LED 光源，取代传统荧光灯，能耗降低 30% 以上，显色指数不低于 90，维护周期不短于 5 年，配置智能感应控制模块，实现人走灯灭。洁净室温湿度实行精准分区控制，温度波动范围控制在 ±0.5℃，湿度波动范围控制在 ±2%，避免过度调控造成能源浪费。
五、电力系统节能
变压器选用高效型产品，铁芯采用高磁导率硅钢片，线圈采用高导电性材料，运行效率不低于 99%，较传统变压器年节电提升0.7个百分点以上。UPS 系统设置智能节能模式，具备快速切换与闲置休眠功能，运行效率从 94% 提升至 99% 以上，年节电不低于 1440 万 kWh。
供气管路采用气凝胶保温材质，替代传统玻璃纤维，减少管路加热能耗 25% 以上，年节电不低于 8000 万度。优化加热方案，精确控制管路温度，避免因保温不足造成的热能散失，管路表面温度控制在工艺要求的合理范围。电力系统配置三级计量装置，数据采集粒度不超过 1 分钟，实现各车间、各关键设备的精准计量与能耗分析。
六、气体与给排水系统节能
高纯气体输送管路定期采用超声波检漏技术，泄漏率控制在行业标准允许范围的 50% 以下，减少气体浪费与能耗损失。挥发性有机气体处理采用沸石浓缩双转轮系统，新增第二道转轮浓缩流程，废气削减率达到99.5% 以上。
建立中水回用系统，生产废水经处理后回用率不低于 80%，回用水质满足工艺冷却、清洗等辅助用水要求。供水泵组配置变频控制系统，根据用水负荷动态调节运行参数，降低输水能耗15%以上。优化气体输送压力参数，在满足生产工艺要求的前提下，降低系统运行压力，减少压缩能耗。
七、智能能源管理
建立全厂区智能能源监控平台，整合水、电、气、冷、热等各类能耗数据，实现 1000 个以上监测点的实时监控与异常报警。采用神经网络算法构建能源预测模型，从 1000 项以上运行参数中识别 90 个关键能效参数，对冷水系统、空调系统等进行精准优化，节能率达到 3-5%。冰机冷量采用 AI 预测方案，结合硬件改造实现综合节能 5-10%，确保冷量供应与生产需求精准匹配。
建立能源消耗统计台账，每月开展能耗数据分析，识别节能潜力点，形成优化报告并跟踪落实。设定分级能源消耗定额，分解至各部门、各车间，将节能指标纳入绩效考核体系。
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