《洁净厂房设计规范》对洁净厂房疏散走廊明确提出了机械排烟要求，但对于洁净室没有明确规定一定要设机械排烟，实际工程中各地消防部门对于集成电路厂房洁净室是否设排烟的问题上要求也不一致；但集成电路生产企业的业主通常会将整个厂房进行投保，由于集成电路生产中要使用多种易燃的气体和液体，保险商一般均要求洁净室设置机械排烟措施，否则增加保费。所以在集成电路洁净工程中，洁净室机械排烟经常是不可回避的问题。集成电路厂房洁净室国内外目前常用的排烟方式有两种：即下排烟和上排烟。
一、下排烟方式
下排烟一般是在洁净室回风下夹层或回风竖井内设置排烟口，当洁净室或洁净室下夹层发生火灾时，则打开排烟口，开启排烟风机进行排烟，此时新风机组继续运行，往洁净室上夹层内补充新风，并通过必要的阀门切换使上夹层与洁净室和下夹层隔开，上夹层内新风由FFU送入室内。
采用下排烟必须有以下条件：即洁净室发生火灾时，洁净室顶部FFU下吹的断面风速必须大于烟气上升的速度，否则烟气会在洁净室顶部积聚。通常FFU下吹速度为0.25~0.5m/s，而火灾的热释放率只要大于3kW，烟气的上升速度就会大于0.5m/s，所以下排烟方式只是在洁净室发生小火灾时有效。下排烟方式最近几年在国外的一些集成电路厂房中得到应用，但国内工程中用得较少。
二、上排烟方式
上排烟是在洁净室吊顶上设置排烟口，通过排烟风管将各排烟口连接至排烟风机，当洁净室发生火灾时，打开排烟口，开启排烟风机进行排烟，排烟时新风机组继续运行，向回风竖井内补风。上排烟方式洁净室内烟气上升气流和排烟气.流方向一致，排烟效果比较理想，目前在工程中得到广泛的应用。
但采用上排烟方式实际工程中通常会出现以下两个问题，第一个问题是排烟口的布置，在非单向流洁净室中比较好解决，由于顶部的FFU没有满布，只需在盲板处设排烟口即可；而单向流洁净室由于顶部满布FFU，且集成电路厂房的洁净室跨度都很大，只在侧面布置排烟口又不能满足要求，所以不可避免会出现的要在满布FFU的洁净室吊顶上设置排烟口，据了解目前已有一些制造公司开发出FFU和排烟口结合在一起的产品，使这问题得以解决。第二个问题是排烟分区问题，目前集成电路 生产厂房洁净室基本上都采用Ballroom方式，洁净面积达1万多平方米的洁净室几乎没有分隔，而工艺生产又都采用自动物料处理系统(AMHS)，各生产区域顶部都设有纵横交错的吊挂传输系统(OHT)， 划分排烟分区确实比较困难，实际工程中经常将整个Ballroom视为一个区，这又会面临排烟量极大的问题，为减少排烟系统风量，在某些工程中将工艺设备局部排风系统兼作排烟，但排风系统的管道、配件及设备应满足排烟要求。
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