集成电路产业是当今信息技术产业得以高速发展的基础及源动力，其发展规模和技术水平已经成为衡量一个国家的产业竞争力、综合国力的重要标志之一。相比一般的工业厂房项目，集成电路厂房项目建设具有高、尖、精的特征。专业种类多、工艺复杂，既有复杂的土建设施，又有苛刻的高等级无尘洁净车间，涉及电力、仪控、暖通、消防、热能动力、特殊气体、剧毒化学品、超纯水及废水处理等特殊工艺。动力站是为主厂房提供动力的主要辅助建筑，是厂区的心脏，主要包括热水系统、冷冻水系统、压缩空气系统、空分氮气系统和事故通风系统等。厂房动力站内设置冷冻站、换热站和纯水站。
一、冷冻水系统
1.系统组成及原理
系统由冷水机组、冷冻水循环泵、定压补水装置、管道、阀门及附件等组成。
冷冻水系统采用闭式系统，冷水机组制备的7℃冷冻水由冷冻水泵送至新风空调机组的冷却盘管、循环空调机组、工艺冷却水板式换热器等。从循环空调机组等用冷设备回来的冷冻水回水( 12℃)由冷冻水泵加压后送回冷冻机组；设置在站房的定压补水装置提供冷冻水系统的定压补水，补水采用己有RO水。冷水机组根据负荷的大小进行调节，并提供不同的冷量。
冷却水供/回水温度为32/37℃。冷冻水管道采用无缝钢管，阀门采用碳钢蝶阀。冷冻水管道采用橡塑保温。
2.测量及控制
冷水机组本身配有微电脑控制，能根据冷负荷变化自动进行能量调节，配有机组安全运行的必要显示，报警、自动停机等保护设施，本设计增设如下测量控制设施。
当用户负荷低于20%时，多余的水从供回水总管之间的旁通管回流。新增冷水机组和水泵运行状态接入原有集中监测系统；冷水机组冷冻水供、回水管设压力表、温度计；水泵吸水、压水管上设压力表；冷水机组与冷冻水循环泵，冷却水循环泵，冷却塔连锁；冷冻水供回水干管之间设压差旁路控制装置。
3.环保与节能
(1)环保措施
选择使用环保冷媒R134a的冷水机组；选用低噪声、低振动设备，设备基础采用隔振垫，设备与管道之间的连接采用柔性连接，以减少噪声和振动的传递；室内墙面敷设吸音材料；运行为中央监控，只需定期去现场巡视。
(2)节能措施
设置节能板换，冬季时冷水机组停止运行，由冷却塔代替冷水机组，节能环保；选用节能设备；冷水机组的主电动机采用水冷却，比较经济；冷水机组的冷却水循环使用有利于节能。
二、压缩空气系统
1.系统简述
(1)系统组成
系统由空压机、压缩热吸附式干燥器、两级过滤器、储气罐、管道、阀门及附件等组成。
(2)系统原理
来自室外的空气经空压机初级过滤、压缩后，经前置过滤器除去尘埃和部分水分后进入压缩热吸附式干燥器，最后经过两级过滤器过滤后获得压力露点小于-40℃、尘埃粒径≤0.01μm的干燥净化压缩空气，进入压缩空气储气罐，送至各使用点，使用点的供气压力为0.5~0.7MPa。压缩空气管道采用SUS304管，阀门为不锈钢球阀。
(3)测量及控制
空压机本身配有微电脑控制，配有机组安全运行的必要显示，报警、自动停机等保护设施，本设计增设如下测量控制项目：
新增空压机、压缩热吸附式干燥器接入现有集中监控系统；供气干管设流量计：空压机选用低噪声、低振动设备，设备基础采用隔振基础，以降低噪音；室内墙面敷设吸音材料；运行为中央监控，只需定期去现场巡视。
三、空分制氮系统
1号厂房规划合计氮气用量587m3/h，2号厂房规划合计氮气用量1443m3/h， 总用气量为587+ 1443=2030m3/h，现有空分制氮设备1600m3/h，液氮储罐作为备用系统。
1号厂房规划+2号厂房一层合计氮气用量954m3/h，现有空分制氮设备1600m3/h，液氮储罐作为备用系统，满足使用要求。
四、热水系统
7号动力站制冷机房现有三台水源热泵机组(单台制冷量2180kW，制热量2380kW )一台水源热泵机组(制冷量366kW，制热量403kW)，总制冷量6906kW，总制热量7543kW。预留机位处再增设一台双制式的水源热泵机组，制热量为4074kW (制冷量为3700kW)，扩容后总制热的装机容量为7543 +4074- 2380=9273kW，可以满足整个园区的热负荷需求(9090kW)，同时满足1号厂房满产后的冷负荷需求。
五、纯水系统
1号厂“房规划合计纯水用量为76.4t/h，2号厂房规划合计纯水用量为226t/h，使用系数为0.8，总的纯水用量为(76.4+218) x0.8=236t/h。现有纯水站供水能力为120吨/h，在2号厂房动力站建造3套60t/h的EDI纯水制备系统，2用1备，满足1、2号厂房总的纯水用量要求。
2号厂房一层规划纯水用量为28.4th，1号厂房与2号厂房一层合计纯水用量为28.4+76.4=104.8t/h，现有纯水站可满足使用需求。2号厂房一层所需纯水可从现有纯水站接入，2号厂房纯水制备系统适时配备，两站管网并网，设备互为备用。
六、事故通风系统
对动力站设置事故通风系统，换气次数为12次h，自然补风。事故通风分别在房间内、外便于操作的地点设置手动开关。当机房内的制冷剂或其他易燃易爆等有害气体泄漏时，布置在房间内的气体探测器发出声光警报，同时联锁事故风机启动，迅速将泄漏气体排出室外。
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