一、电子洁净厂房空调特点
电子洁净厂房一般包括洁净生产用房(通常兼有一般生产用房) ，空调冷水机房，纯水、气体净化站，人员、物料净化用房四个部分。《洁净厂房设计规范》将洁净室定义为“空气悬浮粒子浓度受控的房间”。并要求“它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内的其他有关参数，如温度、湿度、压力等按要求进行控制”。这一定义与最新的国际标准的定义是一致的。从以上的要求不难总结电子洁净厂房的特点：因为生产工艺电子洁净厂房单位面积发热量大，为了控制悬浮颗粒浓度形成的循环风量大，由生产线的各种排风确定了为维持洁净正压所需要补给的新风量大，以及最重要的温湿度控制。
二、电子洁净厂房中常见的空调系统形式
1.新风机组+空调机组+高效过滤器的空调形式
该空调方式指的是室外新风经过新风机组处理后送入混风机组，混风机组把回风与新风混合并处理至所要求的空气参数后直接用风管送风到各终端高效过滤器，通常新风机组将新风处理到室内焓值，不承担室内负荷，只承担新风负荷，由混风机组承担室内的湿负荷和显热负荷。
2.空调机组+风机过滤器单元的空气处理形式
此方案中的空调机组承担了所有热(冷)湿负荷的处理，包括室内负荷和新风负荷的处理，计算负荷时不要漏了FFU风机的温升形成的负荷，这部分负荷的量也是比较大的，这种空气处理方案是将处理热湿负荷所需的风量和洁净所需的风量分开，这时循环空调箱所需的风量就大大的降低了，不仅节省了运行能耗而且还大大的减少了空调机房的面积，减少了庞大的送、回风管的材料和占据的建筑空间，使洁净厂房的总高度可以降低，节约了初投资。
3.新风机组+干盘管+FFU的空调形式
新风机组+干盘管+FFU空调方式指的是室外新风经过新风机组处理后送入洁净室的天花技术夹层内，干盘管负责处理空气至所要求的参数，然后用FFU来循环空气从而达到洁净度要求的换气量，通常新风机组将新风处理到室内露点温度，承担新风负荷及室内湿负荷，干盘管承担室内的显热负荷，FFU负责循环及过滤空气。即湿度由新风机组负责，温度由干盘管负责，洁净度由FFU负责。
空调机组+风机过滤器单元与新风机组+干盘管的区别在于省略了回风管。
三、干盘管的换热面积及干盘管排数与FFU风压能力的确定
FFU在洁净厂房吊顶上的布置采用满布的方式，FFU单元的风扇噪音指数叠加将直接影响到洁净室的环境要求。要将综合好FFU的风压升高引起的噪声升高和干盘管的换热面积及盘管排数作为一个重要指标来考虑。
1.干盘管换热面积
干盘管的换热面积可由洁净室循环风量根据面风速法来确定，通常要配合高效送风单元FFU的风压来综合考虑，干盘管的风压损失对整个系统有着至关重要的意义。但是此数据，目前在国内，尚未标准化。解决此问题的方法，目前一一般还是根据厂家实验室的数据，来确定在不同的送风速度下，干盘管的风压损失。根据厂家的实验数据以及业内的经验，风压损失一般希望控制在15Pa以内(综合盘管排数数据)，对于系统的设计来说非常有利。可以根据实验室经验数据提供的对应盘管面积下所取得的风速及风压损失来确定设计当中适合的盘管面积。
2.干盘管的排数
干盘管排数的增加可以增大盘管与回风的换热效率，然而排数的增加同样又增加了FFU单元的压头负担，在盘管安装面积允许的情况下优先考虑减少排数的数量，将排数控制在一排到两排较为有利。可见，宽裕的盘管安装面积有利于千盘管FFU系统的换热效率及噪声控制。在洁净室空调系统方案确定阶段就综合考虑到和土建工艺专业的配合非常重要。
3.干盘管的控制及常见施工问题
干盘管通过水量控制来实现室内温度控制，按照区域将吊顶内的干盘管分成固定的几组，根据室内温度传感器控制的结果来控制相对区域单组盘管的阀门开度，从而达到控制温度的效果。按照设计理论来说，干盘管是在干工况下运行的，是不会有冷凝水的，但是净化房间在刚开空调机的时候，干盘管在进入正常干工况之前是湿工况下运行的，即使凝结水量很少，还是建议要设置凝结水盘及排水管，保证不滴水漏水，而且如果干盘管需要清洗或者排空，也有排水设施可用，所以尽量考虑设置凝结水盘及排水管。
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