一、通用设计原则
1、功能分区
洁净室需划分为洁净区、准洁净区、辅助区,功能区域应独立且物理隔离。工艺流程需遵循单向流动原则,避免人员与物料交叉污染。核心洁净区应位于建筑中心或上风向,减少外界干扰。
2、气流组织
单向流洁净室:采用垂直层流或水平层流,气流速度0.3-0.5m/s,适用于半导体、生物医药等高洁净度需求场景。非单向流洁净室:通过高效过滤和稀释作用维持洁净度,换气次数15-60次/小时,适用于食品、化妆品等中低洁净度场景。混合流洁净室:核心区域采用单向流,周边区域采用非单向流,兼顾成本与效率。
3、压差控制
洁净区与非洁净区压差≥5Pa,洁净区与室外压差≥10Pa。相邻洁净区压差梯度应合理,高洁净度区域压力高于低洁净度区域。
二、行业分类设计要求
1、半导体行业洁净室
洁净度等级:核心工艺区(如光刻、蚀刻)需达到ISO 14644-1的1级或10级,颗粒浓度≤3520个/m³(0.5μm)。辅助区洁净度可放宽至ISO 7级或8级。
温湿度控制:温度22±1℃,相对湿度40%-60%,采用恒温恒湿空调系统。
防静电设计:地面采用导电环氧地坪或防静电PVC地板,电阻值≤1×10⁶Ω。
人员需穿戴防静电服、鞋套,设备接地电阻≤1Ω。
2、生物医药行业洁净室
洁净度等级:无菌制剂灌装区需达到A级(ISO 5级),局部百级;细胞培养、细菌操作区需达到B级(ISO 6级);辅助区(如灭菌室、物料存储)需达到C级(ISO 7级)或D级(ISO 8级)。
生物安全要求:涉及高致病性病原微生物的实验需在BSL-2或BSL-3实验室进行,配备负压环境、双门互锁、紧急喷淋装置。灭菌室需采用防火、耐高温材料,配备蒸汽灭菌器或过氧化氢雾化消毒设备。
3、食品行业洁净室
洁净度等级:即食食品内包装间需达到10万级(ISO 8级),颗粒浓度≤352万/m³(0.5μm);原料处理、非即食食品包装间需达到30万级(ISO 9级)。
温湿度控制:温度18-26℃,相对湿度≤75%,防止冷凝水滋生微生物。
4、化妆品行业洁净室
洁净度等级:乳化、灌装间需达到10万级(ISO 8级);原料存储、包装间需达到30万级(ISO 9级)。
材料选择:墙面采用防霉涂料或彩钢板,地面采用环氧自流平,接缝处密封处理;照明灯具采用密闭型洁净灯,防止灰尘积聚。
三、通用技术参数
噪声控制:洁净室内噪声≤65dB(A),采用低噪声风机和消声器。
照明设计:平均照度≥500lx,均匀度≥0.7,采用无影灯或LED洁净灯。
新风量:每人每小时新风量≥40m³,补偿排风和维持正压。
维护要求:高效过滤器每6-12个月更换一次,初效、中效过滤器每月清洗;地面、墙面每周清洁消毒,设备表面每日擦拭;定期检测空气沉降菌、悬浮粒子,留存记录。
四、安全与应急设计
安全疏散:每层洁净区设2个以上安全出口,疏散门开启方向与逃生方向一致;吹淋室设旁通门,人员超过5人时必须设置。
消防设施:洁净区采用气体灭火系统(如七氟丙烷),避免水渍损坏设备;配备应急照明和疏散指示标志,持续供电时间≥30分钟。
应急处理:生物安全实验室设紧急撤离通道和洗眼器;化学品存储区配备防泄漏托盘和吸附材料。

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