IC 生产由于其工艺加工线宽极小，所以对温湿度的精度要求很高，通常温度精度为土0.3~±0.5℃，相对湿度精度为±2%~±3%。该类厂房洁净室一般采用新风集中处理加FFU系统，在下夹层或.上静压箱内设干表冷器。洁净室内的相对湿度由新风机组保证，温度由干表冷器保证。
一、新风处理及相对湿度保证
新风处理机组中设置初、中、高效三级过滤，以去除室外空气中的灰尘粒子，设高效过滤器很有必要，可以延长洁净室顶部FFU内ULPA过滤器的使用寿命；设置化学过滤器主要是去除室外空气中对IC生产有影响的杂质气体，根据工厂所在地的室外空气品质设置相应的化学过滤器，化学过滤器后通常需设中效过滤器以去除化学过滤器本身的产尘；通过设在新风处理机组内的两级表冷、两级加热以及洁净蒸汽加湿器保证新风处理机组出口的干球温度及露点温度全年基本恒定，而机组出口的露点温度还应根据其对应送风区域内的相对湿度进行连续的重新整定，以保证室内的相对湿度。这里不以房间内的相对湿度直接控制加湿器或表冷器，而以房间内的相对湿度连续的重新整定机组出口的露点温度，再由该露点温度控制加湿器或表冷器是为了得到更及时的湿度控制。
由于外网蒸汽中含有对IC生产有影响的杂质，新风处理机组的加湿应采用洁净蒸汽。洁净蒸汽加湿器通常设在表冷器前，这样可以使新风处理机组有提高相对湿度控制精度的潜能。有些工程中是以喷淋初级纯水(一级RO后)代替洁净蒸汽加湿器，这是一举两得的好办法，因为喷淋纯水既可以达到加湿的目的，又可以去除空气中对IC生产有影响的杂质气体。新风处理机组还应保证洁净室内的正压，所以新风机组内的风机应配置变频装置，以洁净室内的正压值控制风机转速。新风集中处理有诸多优点，但在寒冷地区使用时则特别要注意盘管的防冻问题。另外因IC生产对环境的可靠性有极高的要求，新风处理机生产对环境的可靠性有极高的要求，新风处理机组必须设一台备用机组。
二、循环风处理及温度保证
IC厂房洁净室通常采用FFU系统，室内空气经干表冷器冷却处理后与新风混合，再由设在房间顶部的FFU加压、过滤后送入房间。还有一种情况是干表冷器设在上夹层，空气处理过程略有不同，其过程为：新风和回风混合，再经干表冷器冷却，最后由FFU加压、过滤后送入洁净室。干表冷器主要是消除洁净室内的显热负荷，根据洁净室内的温度控制对应区域的干表冷器以保证房间的温度。采用该系统应注意以下几点：
a)为得到精确的温湿度控制，应尽量减少Balloom内各区域之间的气流交叉，所以各区域的干表冷器结构形式、空气侧阻力应尽量一致。
b)考虑室内湿度精度及表冷器空气侧阻力等因素，应确保干表冷器在干工况下工作，干表冷器所用的冷冻水温度应根据室内湿负荷、室内空气的露点温度等因素确定，IC厂房工艺生产设备发湿量很少，考虑干表冷器所用冷冻水本身的温度控制精度以及其他的安全余量，实际工程中一般冷冻水供水温度比室内空气露点温度高2~3℃，温差通常取3~5℃，根据室内温度控制精度确定。干表冷器所用的冷冻水通常以混水方式或换热方式得到。
c) 干表冷器断面风速不宜太高，因为过高的风速会使干表冷器空气侧阻力偏大，而由于房间噪声要求的限制FFU所能提供的机外余压有限，一般为90Pa，考虑其他风路阻力，干表冷器的空气侧阻力通常控制在40Pa左右。
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