电子级磷酸属于高纯磷酸，是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，属于电子化学品系列产品之，是电子工业不可替代的无机化工产品。电子级磷酸广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子、元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响。而环境控制是电子级磷酸项目的质量保障体系之一，具有十分重要作用。大气中所含尘埃和多杂质，会对高纯度的电子级磷酸产品造成污染，因此必须在产品制备过程中和分析检测过程中，对各个环节可能接触的污染空气进行洁净化处理，达到相应的洁净度要求。除工艺空气必须经物理和化学方法净化，以免带入固体微粒等杂质外，生产车间、辅助车间、实验室等都有清洁度要求。由于电子级磷酸质量不仅与生产工艺有关，而且与超净生产环境密切相关。因此必须在产品制备过程和分析检测过程中，对各个环节可能接触的污染空气进行洁净化处理，达到相应的洁净度要求。
净化空调系统设计
一、空调负荷
空调负荷主要由围护结构传热、人体散热、室内照明散热、室内设备散热、室内散湿过程产生的潜热和新风负荷等部分组成。经计算，本工程夏季空调系统耗冷量为214kW，选用一台制冷量为226. 4kW水冷螺杆式冷水机组；冬季空调系统耗热量为345kW，热源由厂区锅炉房提供。
二、换气次数
根据《洁净厂房设计规范》中提出的换气次数与洁净度的关系，ISO Class6洁净度要求的换气次数为50~60次/h，ISO Class7洁净度要求的换气次数为15~25次/h。根据工程的实际情况，本次设计ISO Class6 洁净区的换气次数取55次/h，ISOClass7洁净区的换气次数取20次/h。
三、新风量的确定
新风量取保证室内正压所需风量与排风量之和，以及室内工作人员所需的新风量的最大值。保证室内正压要求的新风量按下式计算：
Q1=a·Σ(q·L)
式中：Q1为维持洁净室正压所需的新风量，m3/h；a为根据围护结构气密性确定的安全系数，可取1.1~1.2；q为当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，m3/(h：m)，可根据正压值查表得到；L为围护结构的缝隙长度，m；按《洁净厂房设计规范》规定取。
通过计算，保证室内正压所需风量与排风量之和为13620m3/h，室内工作人员所需的新风量按每人每小时40m3计，即：
Q2=40n
式中：Q2为保证室内工作人员所需的新风量，m3/h；n为室内工作人员人数。室内工作人员数为34人，所以：Q2=1360m3/h。因Q1>Q2，所以新风量取13620m3/h。
四、正压控制
设置余压阀是保证室内有较稳定的正压值的有效措施。由于本工程送回风口均带手动风量调节阀，所以只需控制送回风量差即可实现室内正压控制，所以不再设置余压阀。
五、系统的设计
本工程生产产品为电子级磷酸，在产品的生产过程中不同的工序对环境的洁净度有不同的要求，但其运行班次和使用时间相同，对温、湿度控制要求差别不大，所以本工程ISO Class6洁净区和ISOClass7洁净区设为一个洁净空调系统，选用两台送风量为63000m3/h的组合式空调机组共同供给。系统采用集中式定风量一次回风系统，空调机组布置于空调机房内，送入车间的空气首先经空调机组进行新回风混合、热湿处理及初、中效过滤后经高效过滤送风口送入生产控制区各房间，回风由设置的回风夹墙、回风柱抽回至空调器。气流组织方式为，高效过滤器孔板送风口上送下回式非单向流。灌装间内局部ISO Class5 洁净区采用层流棚的送风形式，层流棚设置于室内，棚顶满布FFU送风单元，.棚周围挂满防静电垂帘，棚内空气利用灌装间洁净空气经FFU单元垂直层流送入，并从棚底又排入灌装间内，对室内洁净空气经再次过滤后进行循环利用，这样大大节省了空调能源。
六、组合式空调机组的组合方式
初效新回风段、表冷段、蒸汽加热段、送风机段、中间段、中效段、消声段、出风段。
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