一、供配电系统设计
1、依据工艺负荷清单完成全厂用电需求计算,总负荷精度≤±3%,同时系数、需用系数选取符合GB50052、GB50054及晶圆厂SEMIS2要求。
2、负责高压(35kV/20kV/10kV)、低压(400V)主接线图、单线图设计,短路电流计算误差≤±5%,开关设备动热稳定校验系数≥1.3。
3、选型变压器、柴油发电机、UPS、HV/LV开关柜、母线槽,出具技术规格书:变压器负载损耗≤6kW、空载损耗≤1.2kW,UPS效率≥96%,并机均流不平衡度≤±2%。
4、设计弧光保护、差动保护、接地保护(TN-S系统PE与N独立),接地电阻≤1Ω,重复接地电阻≤4Ω;弧光故障切除时间≤100ms。
5、完成谐波计算与治理方案,THDi≤5%,功率因数≥0.95;配置有源滤波器APF容量冗余20%,谐振频率避开3、5、7次。
二、不间断电源与应急系统
1、按工艺断电视可接受时间(0ms、5ms、200ms)分级供电:IT化机台采用2NUPS架构,单机带载率≤45%;洁净室照明采用E-Bus集中直流母线,切换时间≤3ms。
2、柴油发电机N+1冗余,10s内自动启动,储油量满足满负荷运行≥8h;出具黑启动验证方案,每年空载+带载演练≥2次。
3、电池管理:阀控铅酸/锂电系统月度内阻测试偏差≤±5%,温度补偿系数-3mV/℃·cell;制定梯次更换计划,实际容量低于80%C10立即退役。
三、洁净与工艺配电
1、设计FFU、DCC、MAU、工艺冷却泵、真空泵、空压机等动力配电回路,采用不锈钢304防爆配电箱,IP54以上,回路绝缘电阻≥100MΩ。
2、洁净区插座、照明采用IP65、易清洁无积尘结构,灯具光通量维持率90%寿命≥50000h,眩光UGR≤19。
3、二次配系统(Hook-up)电缆选型≥105℃耐温,低烟无卤阻燃B1级;压降≤2%,谐波降额系数0.86;出具电缆标签、回路阻抗测试报告。
四、自动化与监控系统
1、建立电力SCADA/BMS平台,实时采集高压、低压、发电机、UPS、母线温度、漏电电流,数据刷新周期≤1s,历史数据存储≥5年。
2、设定三级报警:预报警≤90%额定值,紧急报警≥105%,事故跳闸≥120%;短信/邮件推送延迟≤30s。
3、部署能效分析模块,分馈线、分机台计量精度0.2S级,月度自动生成PUE、UEC报告,异常能耗定位时间≤15min。
五、安装、调试与验收
1、编制高压柜、变压器、母线、电缆施工方案,电缆头制作采用200kV等级冷缩工艺,局放量≤5pC;出具耐压试验报告:35kV系统工频耐压95kV/1min无闪络。
2、完成继电保护整定值计算及逐级配合验证,确保故障切除选择性,后备保护动作时间比主保护延迟≥0.3s。
3、执行发电机负载阶跃测试:0→50%→100%,电压恢复时间≤1s,频率波动≤±0.5Hz;UPS电池放电30min后电压跌落≤5%。
4、组织第三方完成电能质量、接地网、防雷系统检测,出具合格报告;防雷接地冲击电阻≤10Ω。
六、运行维护与故障处理
1、建立7×24h电力值班制度,高压室巡检每班≥1次,红外热像检测每月≥1次,热点温升≤55K。
2、制定年度预防性试验计划:变压器油色谱、断路器机械特性、继电保护校验、蓄电池充放电,一次完成率≥98%。
3、故障响应:关键配电回路MTTR≤1h,一般回路≤2h;建立故障树与RCA库,年度重复故障率下降≥15%。
4、备品备件:高压柜断路器、UPS功率模块、电池单元关键件库存≥单元总量10%,且存储环境≤25℃/50%RH。
七、合规与安全管理
1、符合GB50057、GB50054、DL/T596、NFPA70E、SEMIS2、IEC60364、特种设备安全技术规范;高压操作票、工作票执行率100%。
2、建立电气LOTO、弧光防护、受限空间作业制度,配备40cal/cm²弧闪防护服,年度安全事故0起。
3、组织高压触电、发电机火灾、UPS电池爆燃应急演练≥2次/年,演练评估改进完成率100%。
八、项目与成本管理
1、编制电气专业WBS、关键路径计划,进度偏差≤2天;预算控制±2%以内,设计变更签证率≤1%。
2、工程量清单准确率≥98%,电缆损耗率≤1%,废铜回收率≥95%;对承包商月度考核,质量、安全、进度权重分别40%、30%、30%。
3、竣工后30天内完成竣工图、软件备份、备品备件、操作维护手册移交,资料完整率100%。

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