一、室内外消火栓系统
洁净厂房设置的室内、外消火栓系统应符合现行规范的要求。洁净厂房室、内外消防给水可采用高压、临时高压或低压给水系统，如采用高压或临时高压给水系统，管道的压力应保证用水量达到最大且水枪在任何建筑物的最高处时，水枪的充实水柱仍不小于10m；如采取低压给水系统，管道的压力应保证灭火时最不利点消火栓的水压不小于10m水柱（从地面算起）。洁净厂房的消火栓的设置尚应符合下列规定：洁净室（区）的生产层及上下技术夹层（不含不通行的技术夹层），应设置室内消火栓；室内消火栓的用水量不应小于10L/S，同时使用水枪数不应少于2支，水枪充实水柱不应小于10m，每只水枪的出水量不应小于5L/S。洁净厂房室外消火栓的用水量不应小于15L/S。
二、自动灭火设备
1、自动喷水灭火系统
目前，自动喷水灭火系统已成为洁净厂房消防系统的首选配置。设置在洁净室或洁净区的自动喷水灭火系统，宜采用预作用自动喷水灭火系统。自动喷水灭火系统的设计应符合现行国家标准的《自动喷水灭火系统设计规范》GB50084的要求。按照《自动喷水灭火系统设计规范》GB50084的要求，其喷水强度一般不宜小于8.0L／（min.㎡），作用面积不宜小于160㎡。
2、其他灭火设施
除设置水灭火系统之外，在SiH4配送区域应当设置直接作用于各个气瓶的水喷雾系统，该系统的动作信号应当来自感光探测器，如在远离建筑物的区域设计的开放式配送系统且采取了有效措施减轻爆轰影响后，可以不设置水喷雾系统。另外目前较为广泛使用的还有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等洁净气体灭火系统。二氧化碳具有毒性，使用不当会使人窒息，不能用于有人的场所，而且其冷却作用较大，对精密仪器会产生一定影响。IG54l气体灭火机理为物理灭火，灭火较慢，它的储存压力较高，被保护的区域较大，但钢瓶的用量多，钢瓶间储存空间较大，而且对系统管网要求高，计算复杂。七氟丙烷气体灭火机理为化学灭火，灭火较快，一般输送距离不宜大于35m，但被保护对象体积较大时，需配置2套系统，会增加投资造价。综上所述，在洁净厂房存放贵重设备和仪器、物料的洁净室设置气体灭火系统时，不应采用会导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂，应进行方案比较，选择最合适的系统设计。
三、火灾自动报警系统
洁净厂房应设置火灾自动报警系统及消防联动控制，其防护等级应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB50116的有关规定。当防火分区面积超过现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016规定的最大建筑面积允许值时，保护等级应为一级。硅烷储存、分配间（区）应设置红外线-紫外线火焰探测器。洁净生产区、走道和技术夹层（不包括不通行的技术夹层）应设置手动报警按钮和声光报警装置。控制设备的控制及显示功能应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB50116的有关规定。火灾自动报警系统的设计在满足现行规范要求的同时，还应根据洁净厂房的特殊要求合理选择，充分优化。下面以医药类洁净厂房和电子类洁净厂房等为例进行说明。
1、医药类洁净厂房火灾自动报警系统的设计，医药洁净厂房生产区应设置火灾探测器，生产区与走道还应设置手动火灾报警按钮。高活性药物生产洁净室由于生产过程中使用或产生致敏性药物、生物活性药物或一般致病菌，容易造成污染，因此设置在该类洁净室内的火灾自动报警装置设备应具备密闭性、耐用性、高灵敏度和表面光洁的特点。点式探测器可选用温感探测器或火焰探测器，如需要烟感探测器，建议选用红外光束型线型感烟探测器。对于安装在吊顶或夹层内比较隐蔽的电缆或电气设备发热可能导致的火灾的探测，可选用缆式线型感温探测器。探测器可直接接触或邻近被探测目标安装，及早发现火灾隐患。
2、电子类洁净厂房火灾自动报警系统的设计，电子类洁净厂房应根据生产工艺布置和公用动力系统的装备情况设置火灾报警装置。洁净生产区、技术夹层、机房、站房等均应设火灾探测器，其中洁净生产区、技术夹层应设智能型探测器。在洁净室（区）空气处理设备的新风或循环风的出口处宜设火灾探测器。当厂房内防火分区面积超过现行规定要求时，在洁净室内净化空调系统混入新风前的回风气流中应设置高灵敏度早期报警火灾探测器。当洁净室（区）顶部安装探测器不能满足《火灾自动报警系统设计规范》GB50116要求时，在洁净室内净化空调系统混入新风前的回风气流中应设置高灵敏度早期报警火灾探测器。
3、洁净厂房内特种气体和化学品泄漏探测系统，洁净厂房由于使用了多种易燃、易爆、毒性和腐蚀性气体以及易燃、易爆、腐蚀性溶剂．其中任何一种气体和溶剂泄漏都会带来很大的火灾危害、设备毁坏或人员伤害，因此在各易燃、易爆和腐蚀性特种气体间、气瓶柜内部、溶剂间、溶剂输送柜内部、SUBFAB、阀门箱和生产区均应按输送介质以及介质危险性的不同安装不同类型、不同灵敏度的探测器，常用的探测器有电化学探测器、真空泵抽气式探测器、UV／IR探测器等。
四、防烟排烟
1、防烟设施，鉴于洁净厂房建筑结构封闭的特点，设置有效的防烟设施有利于保证火灾时人员的疏散。当疏散楼梯间布置在建筑的外墙侧，可以采用可开启外窗进行自然排烟。当疏散楼梯布置在建筑内部或楼梯间有洁净要求不具备自然排烟条件时，应设置机械加压送风系统。机械加压送风系统的设计应符合国家有关消防技术规范和标准。洁净避难区设置的机械加压送风系统一般利用新风空调机组进行加压，火灾时，维持避难区正压，正压值相对于相邻区域为25-30Pa。
2、排烟系统，丙类厂房中建筑面积大于300㎡地上洁净室和建筑面积大于200㎡的地下洁净室应设排烟设施。洁净厂房疏散走道应设置机械防排烟设施。目前洁净室设计的排烟形式主要有上排烟模式、上排烟和下排烟相结合模式、利用回风通道设置排烟风机进行排烟形式、排烟风机兼作火灾时排烟形式。洁净厂房每个防烟分区的排烟支管上均应设置排烟防火阀，排烟口采用常开型风口。排烟风机入口处设置280℃关闭的排烟防火阀，并与排烟风机连锁。为维持洁净室内部空气压力，服务于净化区域内的排烟系统管路上应采用低泄漏的排烟阀和排烟防火阀。排烟口宜采用低泄漏常闭型板式排烟口，在排烟风机入口处采用低泄漏常闭型排烟防火阀并能接受消防中心的信号自动开启阀体。洁净室机械防排烟系统宜与通风、净化空调系统合用但必须采取可靠的防火安全措施，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的要求。
五、灭火器配置
洁净厂房内各场所应配置灭火器，并应符合现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》GB50140的有关规定。灭火器的配置，其关键在于正确选择和使用灭火剂。灭火剂选择时，应考虑配置场所的火灾类型，灭火剂的灭火能力，对保护对象污损程度，使用的环境温度以及灭火剂之间、灭火剂与可燃物的相容性。在洁净室内通常不宜选用化学干粉灭火剂、泡沫灭火剂等灭火后会对工艺设备和洁净室环境产生一定污染和腐蚀作用的灭火剂。二氧化碳灭火剂灭火后不留痕迹．不污损、腐蚀保护物品，在洁净室内得到普遍使用。
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