一、洁净室的空调负荷
洁净室的净化空调负荷由下面几部分组成：
1、室内负荷
主要包括：
①室内作业人员的散热、散湿负荷。
②室内照明灯具的散热负荷。
③洁净室围护结构(墙、顶、地、门、窗)的传热、传湿负荷。
④生产设备和生产过程的散热、散湿负荷。
2、洁净室新风处理的热、湿负荷。夏季是降温去湿；冬季是加热、加湿。
3、空气输配时风机(或FFU) 的温升和水泵的温升负荷。
二、洁净室的空调负荷特点
1、洁净室(100级，10级，1级)是垂直单向流洁净室，其送风机的风量非常大，高达400~500次/h换气，而且风机的压头也很高，一般多在1000~1500Pa，因此风机温升的负荷大。
按理论计算：在集中送风方式的系统中，风机的温升为1.5℃，仅此一项的负荷就是500~700W/m2； 如果采用FFU送风方式，风机温升的负荷也要250~350 W/m2。因此，风机温升的负荷大是其一个负荷特点。
2、服务于微电子和光电子的洁净室因工艺排风量大，所以新风量也很大，新风量一般在10~20次/h 换气；因此，处理如此多新风的负荷大约为400~800 W/m2；个别工艺的排风量更大，固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。
3、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，是洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。
4、围护结构的传热、照明灯具的散热以及作业人员的发热这三项负荷相对比较小，三项负荷之和还不足总空调负荷的10% (其中：照明负荷大约25~30W/m2 ；围护结构负荷大约20~30W/m2；作业人员负荷大约10~15W/m2)，这是洁净室第四个负荷特点。
三、电子工厂洁净室空调净化系统的节能
研究洁净室的空调净化系统节能，应首先从分析其空调负荷特点入手，抓住空调负荷中的主要矛盾，才能事半功倍。从前面可知，洁净室空调负荷中占90%以 上的负荷是：新风负荷、风机温升负荷和工艺设备和工艺过程负荷三项。这是它的主要矛盾。
1、降低新风空调负荷的节能措施
①减少排风量。改进工艺和工艺设备，尽可能不排风，少排风。采取密闭式排风罩在同等的排风效果下尽量减少排风量。
②减少正压漏风量。加强洁净室围护结构的密封性，既能保持洁净室必要的正压值，又可减少所需的正压漏风量。
③提高新风空气处理设备的效率。
2、降低风机温升负荷的节能措施
①在确保洁净室洁净度的前提下，尽量减少送风量，尽量用局部高净化来替代全面高净化。
②加强空调设备和空调系统的密闭性，减少漏风量。
③采取净化送风与空调送风分离的送风方案，使90%的净化送风量就近循环以减少风机温升负荷。
④采用FFU加新风机组加干盘管的送风方式以减少风机温升负荷。
⑤提高风机效率，采取变频措施。
3、工艺设备和工艺过程的发热是工艺生产本身的问题，只能依靠工艺自己来解决。
4、除上述措施之外，还可采取如下措施
①加强水管和风管的保温。
②减少冷热源的跑、冒、滴、漏。
③采取热回收，充分利用废热。
④尽量利用天然能源作空调系统的预冷和预热，如：太阳能、地下水、土壤能等。
⑤利用蓄冰和蓄热等优惠政策。
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