一、纯水系统
1、依据工艺节点水质需求完成水量平衡计算，产水率偏差≤±2%；设计产水电阻率≥18.2MΩ·cm@25℃，TOC≤1ppb，颗粒≥0.05μm≤100pcs/mL，SiO₂≤0.5ppb，DO≤1ppb。
2、设计原水→MMF→ACF→UF→RO→RO→EDI→UV-185→抛光混床→UF终端工艺，RO回收率≥75%，系统总回收率≥90%；浓水TDS≤60000mg/L，满足园区排放纳管限值。
3、选型RO膜通量≤28Lm⁻²h⁻¹，EDI模块电流密度≤0.15Adm⁻²，抛光树脂出水电阻下降速率≤0.1MΩ·cmh⁻¹；出具泵、换热器、UV灯、UF膜完整性测试规格书。
4、配置在线监测：电阻率、TOC、颗粒、SiO₂、DO、温度每30s刷新，数据存储≥5年；异常报警延迟≤60s，4-20mA远传SCADA，历史曲线可导出CSV。
5、设计CIP/SIP策略：RO膜清洗后标准化通量恢复≥98%，微生物控制≤10cfu/100mL；抛光混床化学消毒温度80℃维持30min，endotoxin下降≥3log。
6、完成安装、调试、验证：水压试验1.5倍设计压力30min无渗漏；RO膜产水电导与标准差≤±2%；EDI连续运行72h出水合格率100%；交付IQ/OQ/PQ及GMP/SEMIS2符合性报告。
二、制程废水处理系统
1、依据分项水质（HF、NH₃-N、Cu、Ni、Pb、Sn、COD、TDS、pH等）完成分类收集、定量投加、分段处理设计，出水满足GB21900-2008表3限值，其中Ni≤0.05mg/L，Cu≤0.3mg/L，F⁻≤5mg/L，COD≤50mg/L，NH₃-N≤5mg/L。
2、设计酸性、碱性、含氟、含氨、重金属、CMP研磨、光刻显影、溶剂七类独立管网，泄漏检测传感器响应≤30s，自动切换至应急收集罐，罐体FRP双层壁泄漏间隙检漏灵敏度≤1Lh⁻¹。
3、采用Ca(OH)₂两段除氟，一级反应pH11.5±0.2，二级pH8.5±0.2，CaF₂沉淀后F⁻≤20mg/L；再经铝盐深度絮凝+UF，出水F⁻≤5mg/L，污泥含水率≤65%。
4、重金属采用硫化钠+NaOH共沉淀，ORP控制-300±20mV，后接离子交换树脂保安，Ni≤0.05mg/L；树脂工作交换容量下降≥10%立即再生，再生废液回流至前端均质池。
5、高氨氮废水采用MAP（磷酸铵镁）+吹脱+次氯酸钠折点，NH₃-N由2000mg/L降至≤5mg/L，回收MgNH₄PO₄·6H₂晶体纯度≥95%，外卖肥料。
6、CMP研磨废水经混凝+溶气气浮DAF，SS去除率≥95%，出水浊度≤5NTU；DAF回流比30%，溶气压力0.45MPa，微气泡直径≤30μm。
7、终端RO浓缩液采用MVR蒸发+冷冻结晶杂盐减量，清水产率≥95%，杂盐含水率≤10%，委外焚烧成本下降≥60%。
8、系统回收率≥92%，单位处理能耗≤1.8kWhm⁻³；年度药剂成本同比降≥5%，污泥减量≥10%。
三、生活废水处理系统
1、设计流量按全厂最大班人数×150Lcap⁻¹d⁻¹×1.2变化系数，出水执行GB18918-2002一级A，COD≤30mg/L，BOD₅≤6mg/L，SS≤10mg/L，NH₃-N≤1.5mg/L，TN≤10mg/L，TP≤0.3mg/L。
2、采用格栅→调节池→缺氧→好氧MBR→紫外消毒工艺，MBR膜通量≤15Lm⁻²h⁻¹，MLSS8-10gL⁻¹，DO2-4mgL⁻¹，SRT≥20d；膜运行TMP≤30kPa，在线反洗每20min一次，维护性清洗每周一次，恢复性清洗每季度一次。
3、紫外消毒剂量≥40mJcm⁻²，出水粪大肠菌群≤100cfuL⁻¹；设置在线余氯监测0.2-0.5mgL⁻¹作为备用消毒。
4、污泥采用叠螺脱水+低温带式干化，含水率≤30%，干料热值≥3000kcalkg⁻¹，送燃煤电厂协同焚烧；臭气经生物滤池+光催化，排放浓度≤1000OUm⁻³。
四、公用工程与系统支持
1、设计超纯水、废水、生活水、消防水、冷却水五网独立管廊，标识色标符合GB7231；管道坡度≥0.5%，放空口≤30m一处，双阀双锁便于维护。
2、配置中央加药站，PAC、PAM、NaOH、H₂SO₄、NaClO、Na₂S储罐液位连续测量误差≤±1%，加药泵采用变频+隔膜计量，投加精度≤±2%。
3、建立全系统PLC+SCADA平台，实时显示流量、压力、液位、pH、ORP、电导率、温度、药剂余量，数据刷新≤2s；历史存储≥5年，支持OPCUA对接厂务FMCS。
4、设置应急旁路与回用阀组，异常排放≤5min切换，确保生产废水零外溢；建立1000m³事故池，满足最大8h事故水量。
五、运行维护与故障处理
1、制定7×24h巡检制度，超纯水、废水站每班≥1次，关键水质在线仪表每2h比对一次；仪表漂移>±2%立即校准。
2、建立RO膜、EDI、UV灯、MBR膜、树脂生命周期台账，RO膜通量下降≥15%或压差上升≥20%执行化学清洗；MBR膜破损率≥5%立即停线更换。
3、故障响应：纯水系统水质超标MTTR≤30min，废水系统超标排放MTTR≤60min；建立RCA数据库，年度重复故障率下降≥15%。
4、年度系统回收率、能耗、药耗、污泥量对标，提出改进方案，单位处理成本同比降≥3%。
六、合规、安全与环保
1、符合GB/T11446、GB21900、GB18918、GB50050、ISO14698、FDA/EU-GMP、SEMIS2；取得排污许可证，在线监测数据上传生态环境部门，传输率≥99%。
2、建立化学品MSDS、PPE、双碳一控（浓度、总量、速率）管理制度，危化品储罐围堰容积≥110%，防渗层渗透系数≤1×10⁻¹²cms⁻¹。
3、编制有限空间、酸碱灼伤、氯气泄漏、硫化氢中毒应急预案，演练≥2次/年，演练评估改进完成率100%；年度环保事故0起。
七、项目与成本管理
1、编制水处理专业WBS、进度网络图，关键路径偏差≤3天；预算控制±2%以内，设计变更签证率≤1%。
2、工程量清单准确率≥98%，超纯水抛光树脂、RO膜、MBR膜、化学药剂损耗率≤1%；废酸、废树脂、杂盐委外合规率100%。
3、竣工后30天内完成竣工图、备品备件、运行软件、验证报告移交，资料完整率100%。
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