一、环境参数指标检查
1、洁净室温湿度指标
温度控制范围：根据洁净等级要求，通常设定在20℃-26℃之间，检查实际显示值是否在允许偏差范围内。相对湿度控制范围：一般保持在45%-65%RH，重点关注湿度波动是否超出工艺允许范围。检查要点：查看温湿度传感器显示是否正常，记录数据是否存在异常跳变或持续偏离设定值。
2、房间压差指标
洁净区与非洁净区之间压差应≥10Pa，不同级别洁净区之间压差应≥5Pa。检查要点：确认压差表读数稳定，无归零或剧烈波动现象；检查压差梯度流向是否符合设计流向（从高洁净级别流向低级别）。
二、空气过滤系统检查
1、初中效过滤器压差指标
初效过滤器压差：初始压差+50Pa-100Pa为更换标准，日常检查应记录当前压差值。中效过滤器压差：初始压差+80Pa-150Pa为更换标准。检查要点：压差表指针是否在规定范围内，压差增长速率是否异常加快。
2、高效过滤器压差指标
高效过滤器（HEPA）压差：初始压差+200Pa-250Pa或压差达到初阻力的2倍时需更换。检查要点：高效过滤器前后压差是否稳定，是否存在压差骤降（可能为破损）或压差骤升（可能为堵塞）。
三、水系统完好性检查
1、冷冻水/冷却水系统完好性
管道检查：查看管路有无渗漏、结露、锈蚀，保温层是否完好无破损。阀门检查：手动阀门开关是否灵活，电动阀门执行器动作是否正常，阀位反馈是否准确。水质检查：观察冷冻水是否清澈，有无浑浊、异味或异常颜色。定压补水装置：检查膨胀水箱水位是否正常，补水泵启停是否按设定压力自动运行。
2、冷冻水水温指标
供水温度：通常设计为7℃-9℃，检查实际运行值是否偏离设定值超过±1℃。回水温度：通常设计为12℃-14℃，检查供回水温差是否在正常范围（5℃左右）。检查要点：水温传感器显示是否正常，冷冻水循环泵运行是否导致水温异常波动。
四、转动设备完好性检查
1、水泵完好性
异响检查：倾听泵体及电机运行声音，正常应为平稳均匀的嗡嗡声，异常声音包括金属摩擦声、撞击声、汽蚀噪声。振动检查：手触泵体或轴承座，感受振动是否平稳，异常振动可能为轴承磨损、叶轮不平衡或基础松动。温度检查：使用红外测温仪检测电机外壳温度（通常≤75℃）、轴承温度（通常≤65℃），过热可能为润滑不良或过载。异味检查：嗅闻有无电机绝缘烧焦味、润滑油过热变质味。运行参数：检查电流是否在额定范围内，进出口压力是否稳定。
2、送风机完好性
异响检查：监听风机叶轮与蜗壳有无摩擦声，皮带传动有无打滑尖叫声，轴承有无异常噪声。振动检查：检查风机外壳及轴承座振动，异常振动可能为叶轮积尘不平衡、轴承损坏或皮带松动。温度检查：检测电机绕组温度、轴承温度、风机外壳温度，温升异常需停机检查。异味检查：注意有无电机过热焦糊味、皮带摩擦橡胶味。运行频率与负载率：检查变频器输出频率是否满足风量需求，电机电流负载率宜控制在70%-85%，长期满载或超载运行需排查原因。
五、冷热源设备检查
1、风冷热泵完好性
外观检查：翅片换热器是否清洁无堵塞，有无变形或腐蚀；风扇叶片是否完好无裂纹。运行状态：压缩机启停是否正常，有无频繁启停现象；除霜周期是否合理，冬季结霜是否严重。异响检查：压缩机运行声音应平稳，异常声音包括液击声、金属敲击声、气流脉动声。振动检查：压缩机及风机振动是否在允许范围内，管路有无共振抖动。温度检查：检测压缩机外壳温度、排气温度、翅片管温度，排气温度过高可能为缺氟或冷凝不良。异味检查：有无制冷剂泄漏的刺激性气味，电气元件烧焦味。
六、新风与加湿系统检查
1、新风口检查
堵塞检查：查看新风口百叶或防虫网有无杂物堵塞（落叶、塑料袋等），堵塞会导致新风量不足、洁净室正压无法维持。外观检查：新风口防护格栅是否完好，周边有无异味源或污染源。
2、加湿器指标
电极式/电热式加湿器：检查水位是否正常，电极棒或电热管表面是否结垢严重，加湿桶/水槽有无溢水或干涸。干蒸汽加湿器：检查蒸汽压力是否稳定，疏水阀工作是否正常，有无蒸汽泄漏。超声波加湿器：检查雾化片工作是否正常，有无滴水现象，水箱水质是否清洁。运行参数：检查当前加湿量是否满足湿度控制需求，加湿启停是否与湿度设定联动正常。异味检查：加湿段有无霉味或异味，水质不良可能产生异味并污染送风。
七、检查实施要点总结
日常点检应遵循"望、闻、听、触、测"五字原则：
望：观察设备外观、仪表读数、管路状态、环境整洁度；闻：识别异常气味，包括电气烧焦味、润滑油变质味、霉味、制冷剂味等；听：辨别运行声音，正常设备声音平稳规律，异常声音需定位来源；触：感知设备振动、温度，判断轴承状态、电机负载情况；所有检查项目应建立点检记录，发现异常及时上报并跟踪处理结果，确保洁净空调系统持续稳定运行，保障洁净室环境符合工艺要求。
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