一、洁净室的噪音控制
洁净室噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声,静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关;①非单向流洁净室的静态噪声实测值在41dB(A)~64dB(A)范围内,平均为54dB(A);②单向流、混合流洁净室的静态噪声实测值在51dB(A)~75dB(A)范围内,平均为65dB(A),非单向流洁净室较之单向流洁净室的静态噪声平均值约低11dB(A)。
洁净室的平、剖面设计应考虑噪声控制要求,维护结构应具有良好隔声性能,并使各部分隔声量相接近,各种设备均应选用低噪声产品,对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备,应设置专用隔声设施。
净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔震等控制措施,室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计;净化空调系统,根据室内允许噪声级要求,防止风速过大而产生附加噪声;风管内风速选用,总风管为6~10m/s,无送、回风口的支风管为4~6m/s,有送、回风口的支风管为2~5m/s;控制设备噪声首先应从声源上着手,设计时应首先选用低噪声设备,在某些情况下由于技术或经济上的原因而难于做到时,应从噪声传播途径上采取降噪措施,例如把高噪声设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内;排风系统噪声对洁净室影响极大,以集成电路生产为例,在生产过程中,外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需设排风系统,注意选用低噪声风机等。
二、洁净室的气密性要求
气密性是洁净室洁净度、室内压力能否达到设计要求的保证,不同材料相接处均应有接缝,管道穿墙、吊顶处的洞口周围应修平、堵严、清洁,并用密封材料嵌缝,隐蔽工程的检修口如吊顶检查孔、管道阀门检修孔等周边应粘贴气密性的密封垫;当采用弹性材料密封时,应预留适当宽度和深度的槽口和缝隙,宽度一般金属间接缝为2mm~3mm,而非金属接缝为3mm~4mm。
对净化空调系统的安装也要采取相应措施,金属风管咬口翻边处的缝隙和孔洞都要涂密封胶或贴密封胶带,法兰螺钉孔和铆钉孔距不应大于100mm;密封垫尽量减少接头,接头要做成阶梯形或企口形,并涂以密封胶,法兰所有螺钉要均匀压紧;高效过滤器与框架之间的密封可采用密封垫、不干胶或槽液密封,采用密封垫密封时,其厚度不宜超过8mm,压缩率为25%~20%,以保证密封效果;空调器所有接缝都要作密封处理,表冷段凝结水排水管上应设水封和阀门,以保证空调密闭不漏风。
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