洁净车间高效过滤系统完整性测试的目的是保证并确认高效过滤系统安装正确，要是验证没有旁路漏泄，过滤器本身没有缺陷、没有针孔渗漏。
测试方法是在高效过滤器上游一侧引入气溶胶，并立即扫描过滤器下风向侧和支撑框架，该程序是用来检测过滤介质和框架密封有无小针孔损坏，过滤器框架和密封垫有无旁路渗漏，及过滤器本身的框架有无泄漏；对于顶棚静压箱，可能还有必要扫描顶棚穿洞处及顶棚接缝；
检漏方法有：光度计法、粒子计数器法。光度计法进行对数或线性质量浓度探测，没有离散量化分析，测试是在过滤器上游引入DOP、PAO或其他规定的气溶胶，用光度计和合适的探头扫描过滤器下风向一侧，验证过滤系统的整体性。
向过滤器的上游侧引入气溶胶，方式要同时使暴露在气溶胶中的每台过滤器的上游浓度均匀，若同时有几个或全部过滤器要暴露于气溶胶中，建议在风机入口引入气溶胶，或在一个对全部过滤器均实现均匀浓度的位置引入气溶胶；在受测过滤器上游立即测量气溶胶浓度，需小心保证气溶胶分布均匀；若使用拉斯金嘴气溶胶生产器，送风压力至少设为138KPa；使用线性或对数光度计测量上游检测气溶胶浓度；将光度计设全刻度，并测量上游浓度，所得浓度值是将一个或多 个拉斯金喷嘴，调至气溶胶达到10-20ug/L浓度时获得的值；一旦获得正确的气溶胶浓度，再次调节光度计增益，使该浓度代表100%上游浓度；增加光度计的灵敏度，使上游浓度的0.01%可被容易的读出。
过滤系统检漏，离散式粒子计数器法，粒子过滤器法对粒子进行计径和计数，进行该项检漏时在过滤器上游引入人工气溶胶，在过滤器的下风向一侧用粒子计数器扫描，验证过滤系统的完整性；向过滤器的送风向中引入气溶胶，其方式要使同时暴露在气溶胶中的每台过滤器获得均匀的气溶胶浓度；在引入气溶胶时测量上游粒子浓度，验证上游气溶胶浓度要大于3.53*107个/m3，该浓度将使扫描速度合理，更高的浓度将提高准确性，并可提高扫描速度；用计算出的扫描速度，扫描探头以稍微重叠的形成扫过过滤器表面和过滤器组件的四周，使过滤系统的整个面积受到检测，扫描时探头距受测面积约25mm，对过滤器的整个外周，连同过滤介质与框架的黏结处，以及过滤器与安装架的密封处，都要另外进行扫描。
已安装过滤器检漏，总气溶胶渗漏法，当无法在下风向接近过滤系统时，用该方法验证过滤系统的完整性，当采用光度计法或粒子计数器法时，显菩渗漏的范围可在0.005%~0.03%之间；进行本项测试是在安装于风管内的、距洁净室有一定距离的过滤器上游引入检测气溶胶，然后测量从风管进入室内的空气与上游浓度比较，确定过滤系统的总渗漏率；在风管内距待测过滤器至少10倍于风管直径处定出位置，使用光度计，将其设置为测量0.03%浓度的量程，用探头在风管内测量气溶胶渗漏浓度，在最接近过滤器的平面获得多点的读数，以测定浓度是否达到均匀，少要获得5个均匀分间隔的读数，所有读数均应在平均值的±5%以内，才能继续；若有单个读数比平均值偏差大于±5% ，须在另一个位置引入气溶胶，使其满足均匀度要求。
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