由于多晶硅产品要求纯度高，相应的输送原料的管道和控制流量的阀门、管道就要求有较高的洁净度。阀门进厂打压合格后和安装前若不进行清洗，阀门内的锈渣和油脂单靠系统物料的冲刷是无法达到洁净要求的；如不干燥，系统内哪怕是一点水都会造成原料分解、设备腐蚀和系统堵塞。因此，阀门的清洗和干燥是必要的。阀门清洗采用清洗剂为主脱脂剂进行清洗，清洗和干燥的工艺按照以下步骤进行：
水冲洗→脱脂→纯水冲洗→干燥
下面具体介绍各个工艺步骤的要求：
一、水冲洗
用清水对阀门/管道内外表面进行冲洗。水冲洗的目的是除去被清洗件内外表面的污物。
二、脱脂施工及检验标准
（一）预处理
(1)明显的灰尘、杂质用溶剂除去。
(2)明显的防锈油脂可进行预先清除油脂再进行脱脂。
(3)油脂很重时可用低压蒸汽吹洗后，再脱脂。
（二）脱脂
(1)脱脂方法：采用小件浸泡，小管灌注，大管喷淋，设备擦试或喷淋。
(2)脱脂剂：四氯化碳(CS)、丙酮(SS )
(3)脱脂温度：室温。
(4)脱脂具体作法：
A.管材的脱脂可以在预制前进行，也可以在预制后进行。预制前脱脂必须保证以后不再被污染，同时保存完好。
B.未预制的管子可在经脱脂后，控净溶剂，自然风干，用塑料布封好两端并包好纱布，做好记号。
C.预制好的管子中加入四氯化碳(丙酮)。注入量不少于管子容量的一半转动管子，使管子内部能充分浸渍四氯化碳。按上述方法反复清理直到合格。注意：注入四氯化碳(丙酮)后一定要用塞子塞住管子两端。
D.脱脂后的管子及附件，如果二次污染必须进行再次脱脂，按上述要求脱脂合格为止。
E.阀件脱脂时,应在拆卸清理后，浸没在装有溶剂的密闭容器内。浸泡1~1.5小时，然后取出干燥。直到没有气味为止。金属垫片、螺栓、法兰等，也采用同样的方法脱脂。不便浸泡的壳体可以用浸有清洗液的净布(不掉纤维)擦拭干净到合格为止。
F.在管道上管件的填料函中填料(石棉盘根)与石棉垫片的脱脂方法：把这些填料、垫片在300℃的温度下焙烧2~3分钟(不得用有烟的火焰)焙烧后涂以石墨粉。对于已浸渍涂料的石棉填料成品，应具有适用范围的合格证，否则必须化验合格后方能使用。
G.非金属垫片在用四氯化碳脱脂时，把垫片放在装有溶剂的容器内，放置1.5~2小时后将垫片用铁丝(脱脂过的)分一串挂在室外通.风良好的地方，干燥时间不宜少于24小时。
H.其它管件脱脂，小件浸泡，大件同管材脱脂方法。
I.所有脱脂后的管材、管件阀门等应妥当保管，防止被污染。特别注意不要用手直接触摸与氧气接触的表面，因为汗渍可能残留在上面而而造成污染。
J.设备脱脂：
①整体到货设计规定由制造厂脱脂的设备，必须具有制造厂的脱脂合格证书。
②具有制造厂脱脂合格证且封闭、保管良好的设备，在安装时可不再进行脱脂，但必须在安装前经有关人员检查确认。若发现污染或被油脂污染则应重新脱脂。
③需要脱脂时，喷淋时内部逐根接管口喷淋。采用擦拭法时要选择清洁织物，浸蘸脱脂剂擦洗。采用喷淋法时，喷头能上下移动，使溶剂均匀地喷淋到容器的全部需脱脂的表面。
④经脱脂合格的设备须在各管口用脱脂合格的螺栓、垫片、盲板封闭，需防锈的应采取防锈纸等防锈措施避免被污染和锈蚀。
⑤设备在脱脂过程中的拆卸、吊放、吹除等操作，必须遵守设备的安装、拆卸的有关规定；起重施工应执行相关的要求。
K.脱脂施工中，必须严格执行交接班和原始记录制度。
（三）脱脂检验标准
1.凡经脱脂的设备、管材及附件都要进行外观检查，不得有任何外来物或残余物粘在上面。
2.检验方法
用波长3200~3800埃米的紫外线光检查脱脂件表面，在10cm2范围内直径小于1mm的点不多于5个为合格。或用清洁干燥的白色滤纸擦拭脱脂件表面，纸上无油脂痕迹为合格。
3.对检验不合格的脱脂件，必须用上述脱脂方法重新脱脂。
4.所有脱脂件必须经有关人员检验合格后，再进行下一道工序施工，未经签字认可的，视为脱脂不合格，必须重新脱脂。
三、纯水冲洗
浸泡清洗结束后，取出被清洗件，用纯水进行冲洗，去除残留在阀门内外表面上的碱液和洗落的污物。纯水的油含量为零，电导率≤15μs/cm，氯离子≤5mg/L。
四、干燥
用无油干燥空气或氮气对阀门进行吹扫干燥。
五、保管与存放
1.经检验脱脂合格的设备、管材、管件应由专人及时封闭。设备用脱脂合格的螺栓、垫片、盲板封闭。
2.管材、管件用塑料布封闭，并包以无油、清洁、干燥的纱布。
3.脱脂合格的设备、管材及附件必须注明标志，同时由专人保管、发放。发放时检查封闭端并作记录，发现问题及时汇报，及时处理。
六、管道安装施工注意事项
1.安装施工的程序与注意事项和其它要求详见本工程管道施工方案。
2.脱脂管道在对口准备时，应在管道中装一个由无油硬纸板等物制成的管口隔板，以防止金属屑和外来物进入管道内。
上述接口准备工作完成后，卸下纸板，并且用浸有CCl4的净布仔细擦洗污染处，按规定检验合格后，再进行定位焊。
3.脱脂管线必须进行氬弧焊打底。
4.管道施工时要随时检查管材及管件等是否被污染，若发现有被污染的现象应立即停止施工，查明原因，进行脱脂合格后，才能继续进行安装工作。
5.与脱脂后的设备相连接的管道及附件必须进行脱脂，合格后再进行安装。
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