一、微振控制设施施工
（一）一般规定
1微振控制设施应与洁净厂房主体结构、动力公用工程、净化空调系统、排风系统等相关设施同步施工安装。
2微振控制设施的施工应根据具体工程项目特点，并按微振控制设施的设计、测试和建造程序进行。
（二）微振控制设施施工
主控项目
（1）洁净厂房的微振控制设施的施工应按下列阶段进行测试分析：
1现场环境振动测试及分析；
2建筑结构振动特性测试及分析；
3精密设备仪器安装场所环境振动测试及分析；
4竣工验收测试及分析。
检查数量：全数检查。
检验方法：核查测试分析报告。
（2）隔振台、隔振装置、隔振器等的施工安装应符合工程设计文件的要求。
检查数量：全数检查。
检验方法：核查施工安装记录。
（3）隔振装置施工安装时，应核对空气弹簧隔振器、阻尼器、限位器、高度调节器，以及配管、底座的规格、数量、尺寸，并应符合设计要求。
检查数量：全数检查。
检验方法：观察检查，尺量。
（4）安装隔振器的地面、台板等应平整、清洁；各组(个)隔振器承受荷载的压缩量应均匀，高度误差应小于2.0mm。
检查数量：全数检查。
检验方法：观察检查，尺量。
（5）隔振设施安装时应调整被隔振体高度达到规定值。
检查数量：全数检查。
检验方法：观察检查，尺量。
一般项目
（6）隔振台的台板表面应平整、清洁，台板水平度误差应符合设计要求，且不宜大于3‰。
检查数量：全数检查。
检验方法：观察检查，尺量。
（7）隔振所用的支、吊架，其结构形式、尺寸应符合设计文件的要求，焊接应牢固，焊缝应饱满、均匀。
检查数量：抽查50%。
检验方法：核查施工记录，观察检查。
（8）地板或楼板整体式隔振系统，支承结构、地板或楼板应平整、清洁，水平度误差应符合设计要求。
检查数量：抽查50%。
检验方法：核查施工记录，观察检查。
二、噪声控制设施安装
（一）一般规定
（1）噪声控制设施宜 与建筑装饰、净化空调系统、排风系统等设施同步安装施工。
（2）噪声控制 设施的安装施工应符合下列规定：
1应按工程设计文件和设备、材料技术说明书进行安装；
2各种设备及其附件、材料均应已进行现场检查、检验，且应符合工程设计文件或合约要求，并应进行记录。
（二）噪声控制设施安装
主控项目
（1）消声器、隔声罩等噪声控制设备安装前，应按工程设计文件和产品说明书的规定，检查其完整性、严密性、规格尺寸等，并应做好记录。
检查数量：按系统、用途抽查50%，且不得少于2件。
检验方法：观察检查，尺量。
（2）消声器的安装应符合下列规定：
1安装位置、方向应正确，与风管或配管的连接应严密，不得有损坏与受潮；两组同类型的消声器不应直接串联；
2现场安装的组合式消声器，其组件的排列、方向和位置应符合设计要求，单个消声器组件应可靠固定，消声器应设独立支吊架。
检查数量：整体安装的消声器，抽查20%，并不得少于5台。
检验方法：观察检查，核查安装记录。
（3）隔声罩、隔声室的安装应符合下列规定：
1安装位置、方向应正确，与主体设备 、结构的连接应严密，并应可靠固定。
2检查门、观察窗和通风装置应严密，应无损坏或异常；活动部件应灵活，应符合设计要求。
3隔声材料应均匀满布，不得有损坏或外露。
检查数量：全数检查。
检验方法：观察检查，敲击隔声围护构造。
（4）洁净厂房内吸声设施的施工安装应符合下列规定：
1吸声墙体、顶棚或地面等的构造、材质和规格尺寸均应符合设计要求；
2洁净室(区)内的吸声设施应表面光滑、易清洁、不起尘。
检查数量：抽查30%。
检验方法：观察检查，敲击围护构造，尺量。
一般项目
（5）消声器的安装还应符合下列规定：
1消声器安装前应保持干净，并应做到无油污和浮尘；
2消声器、消声弯管的安装均应设独立的支(吊)架。
检查数量：整体安装者，抽查20%；现场组装时，全数检查。
检验方法：观察检查。
（6）隔声罩、隔声室的安装应符合下列规定：
1安装前应保持清洁，并应做到无油污和浮尘；
2安装后应对内、外表面进行擦拭，并应保持清洁、无尘。
检查数量：抽查20%。
检验方法：观察检查。
（7）洁净厂房内吸声设施的施工安装应符合下列规定：
1吸声设施的表面应符合设计要求；
2吸声材料不得有损坏或明显的外露。
检查数量：抽查20%
检验方法：观察检查，尺量。
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