一、二次配管配线
（1）生产设备应在找正、调平并经检验合格后，再进行设备所需水、电、气、排风等二次配管配线施工。工艺设备二次配管配线除应符合下列规定：
1二次配管配线的主材应与生产工艺设备一致，各种垫料、填料等辅材应与相关配管配线的工程设计一致，并应采用密封性能好且不产尘的材料。
2二次配管预制作业应在专设的防尘、防静电的洁净工作小室内进行，加工件应经洁净处理后密封搬入洁净室(区)内。
3碳钢支、吊架应采用镀锌材料，切割端面亦应做防锈处理，安装应牢固可靠；不锈钢管与碳钢支架、管卡之间应分别设隔离垫和隔离套管，隔离垫宜用软质聚四氟乙烯板，套管宜用聚乙烯软管。
4上技术夹层引下的管线，宜从增设在生产工艺设备附近的管线柱内敷设。管线柱高度宜高于房间吊顶，柱壁可采用装饰用不锈钢管或用型钢作框架，框架外贴装饰应用不锈钢面板；柱壁上可安装电气插座、开关箱及阀门等。
（2）二次配管配线的施工安装应避免在洁净室(区)内进行锯、锉、钻、凿等作业，个别情况不可避免时，应在产尘处采用真空吸尘接口或吸尘器不间断地吸除尘粒。
（3）二次配管完成后，不宜进行冲洗或吹洗、严密性试验。若需要时，应根据生产设备和厂房内配管连接状况制订安全技术措施，并应经批准后再实施。
二、设备安装
（1）生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定：
1安装生产工艺设备前，洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h，照明系统应已正常工作，且现场应有便捷电源供应；
2大型、特殊要求的生产设备，应按设计要求在净化空调系统安装前就位，可按规范进行；
3洁净室(包括风淋室)应已启用，并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。
（2）洁净室(区)内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定：
1应为无尘、无锈、无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料；
2应以洁净、无尘的板材、薄膜等材料保护洁净室(区)的建筑装饰表面；
3设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时可用不锈钢板或塑料板；
4制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理，表面应平整、光滑；
5用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分、品种、出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。
（3）洁净室(区)使用的机具不得搬至非洁净室(区)使用，非洁净室(区)使用机具不得搬至洁净室(区)使用，洁净区使用机具应符合下列规定：
1机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施；
2常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理，应达到无油、无垢、无尘、无锈的要求，并应经检查合格贴上“洁净”或“洁净区专用”标识后搬入。
（4）设备特殊基础应符合下列规定：
1洁净室地面为活动地板时，基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上；
2钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作，外露表面应平整、光滑；
3安装基础所需拆除的活动地板，经手持电锯切割后的钢结构应予加固，其承载能力不应低于原承载能力。
（5）墙板、吊顶和活动地板开洞应符合下列规定：
1开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板、吊顶板表面，活动地板开口后不能及时安装基础时，应设安全护栏并设危险标识；
2生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理，并应做到设备与密封组件为柔性接触；密封组件与壁板的连接应紧密、牢固；工作间一侧的密封面应平整、光滑。
（6）拆除包装应符合下列规定：
1设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行，并不得破坏内包装；
2设备的内包装应在气闸室前拆除，拆除前应先用吸尘器、洁净布清除内包装外表面的尘粒。
（7）生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室(区)的搬运应符合下列规定：
1对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断，应在设备搬入后再恢复到原有状态；
2沿搬运路线的门框、墙角等处应设保护措施；
3在活动地板上搬运设备时，应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板；
4当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施，并应采用不产尘的材料。
（8）洁净室(区)内搬运生产工艺设备，宜采用搬运车或气垫搬运装置。搬运时应控制其行进速度不得大于1m/s。
（9）设备就位安装应符合下列规定：
1在自流坪地面安装设备时，应有地面保护措施；
2在活动地板上吊装设备时，应核对活动地板的允许荷载，当允许荷载不能满足起吊荷重时，应对活动地板进行加固；
3设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒，直至吸尽孔内积存的尘粒。
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