以集成电路为代表的微电子产业和以TFT-LCD为代表的光电子产业对其生产环境（建筑、结构、空气、水、溶剂、供电、控制......）的要求极为严格和苛刻，而且随着技术的不断发展、更新换代对环境的要求也不断的升级。
建设洁净厂房的投资非常高，费用非常大。而且洁净厂房的洁净级别高、净化送风量大，工艺设备排风量大、新风量大、厂房温湿度要求严、精度高，空气温湿处理消耗能量大，运行耗电量大、运行费用高。目前高级别洁净厂房的做法有以下几种：
（1）局部高级别净化代替全面高级别净化
设计时应根据生产工艺对生产环境的实际要求，该高则高，该低则低。在允许的情况下尽量将高级别净化的加工空间控制在小区域范围内，尽量减少高净化级别面积，以局部高级别净化代替全面高级别净化，以降低初投资和运行费用。
（2）空气处理和空气输送方式
在高洁净级别的洁净厂房设计中，空气处理和空气输送方式大体可分为三类，即：空气集中处理集中输送方式，空气半集中处理半集中输送方式(海湾式、遂道式)和FFU加干盘管加新风机组方式。
（3）空调和净化分离
为了减少空气热湿处理过程中的无效能耗(如再热等)和空气输送的能耗，在洁净厂房设计中往往将保证洁净厂房温、湿度的空气（10%左右）和保证室内洁净度的空气（90%左右）分开处理，被称作空调与净化的分离。一般负担室内温、湿度的部分空气要经过设在空调机房内的空气处理机（AHU）进行热湿处理达到设计参数后送到送风静压室内。而负担洁净度的部分空气就地附近循环，同时在送风静压室内与经空调器处理的部分空气混合再经过高效过滤器(HEAP)或超高效过滤器（ULPA）过滤后送到洁净厂房内。这样不仅节省了冷却和再热的无效能耗同时减少了70%空气的输送能耗，另外还省掉了大约50~80%的空调机房面积。
（4）加强室外新风的处理
为了提高产品的质量和成品率必须加强对新风的净化处理。常用的处理方法如下：
①喷水法是较好的处理方法，就是在新风空调器中采用传统的喷水室。喷城市自来和喷纯净水。采用喷水的方法对处理SOX、NOX、Na和Cl都有较好的效果，尤其是喷纯净水。
②采用化学过滤器和活性炭过滤器也是较好的方法：它们是利用物理吸附加上化学吸附的原理来处理低浓度分子态的化学污染物质。采用化学过滤器和活性炭过滤器的同时要考虑到它们的再生，还原和废弃处理等问题，不应产生二次污染。某微电子厂的新风处理机采用了十二个功能段(两级加热、两级表冷、两级淋水、四级过滤和一级加湿)。
洁净空调系统设计是个复杂的系统工程，而且随着人们生活水平的日益提高以及对洁净技术认识的不断深化，对洁净空调技术也提出了更高的要求。在微电子领域等对洁净技术要求较高的特殊场合下，研究空调系统设计的特殊性以及探索开发出更科学合理的空调方式，对保证人体健康和工作效率具有深远而广泛的现实意义。
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