一、疏散方面的要求
各类电子生产厂房的最大疏散距离的合理确定是厂房内一旦出现火情时，操作人员安全疏散到安全地带的重要保证。安全疏散距离的确定与人员疏散速度和允许的疏散时间有关，洁净生产区宽约130m，建筑高度约26.5m，生产区内任一点至安全出口的距离可能超过100m，超过现行国家标准《建筑设计防火规范》的规定。准确核实人员密度是分析人员安全疏散的基础，不同使用功能的厂房以及一栋厂房内不同用途的区域，其人员密度是不同的。
二、电气化方面的要求
1.电源的可靠。消防电源的供电负荷等级，应处于最高供电等级。洁净厂房的线路均在技术夹层内明敷，通常传输线路与消防控制、通信、警报线路分管敷设，均应穿入金属管，并且后者的金属管外壁还应涂防火涂料。
2.警报装置。火灾广播及声光警报装置，对火灾时引导人员正确疏散、指挥救火员及时准确进入火场灭火起着非常重要作用。火灾时的疏散路线与日常工作时的净化路线不同，应重视它们与事故照明、疏散指示标志的配合设置。
3.照明有保障。设计一个实用可靠的火灾应急照明供电方案至关重要。消防联动控制要求：控制备用应急灯和疏散指示灯点亮。洁净厂房应急照明和疏散指示灯供电方案常采用一路市电加分散式自带蓄电池的应急灯。
三、防排烟系统的要求
电子工厂洁净厂房有三种基本类型：单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室，在各类洁净厂房的设计建造中，其共同的特点是管线多，由于送风量大，一般风管尺寸较大，即使对于非单向流洁净室送风量相对较小，但因一般只有上技术夹层或技术夹道，所以管线布置仍然难度很大。归纳起来电子工厂洁净厂房中防排烟方式有：(1)洁净生产区设机械排烟系统；(2)洁净厂房疏散走廊设机械排烟系统；(3)在洁净生产区内分区设置机械排烟系统，有的与生产工艺设备排气系统共用；(4)在下技术夹层设机械排烟系统等。在具体实施中，应具体情况区别对待。如多个洁净室共用洁净疏散走廊，且洁净室内未设置机械排烟装置。
四、灭火设备的合理应用
要采用合理的灭火剂。惰性气体和七氟丙烷、CO2灭火剂相对来讲是安全的，当区域内有人员滞留时，探测系统应能提供充分的警报并能延迟喷放灭火系统。惰性气体灭火系统的工作原理是将环培中氧气含量降至15%以下，在此环境条件下燃烧不会发生。在该系统喷放1分钟后，氧气能减少到使火灾停止发展。
传统喷水灭火的改进。高压细水雾灭火系统又称超细水雾灭火系统，它是由高压水通过殊喷嘴产生的细水雾来灭火的自动消防给水系统。灭火机理主要是冷却效应、蜜效应、隔离净化效应冷却效应：高压水经雾化，大大增加了作用面和热交换面积，具有良好的吸热效果，可快速冷却焰表面和降低火场温度。
为适应微电子洁净厂房的大空间、大体量和严格的洁争度要求(送风速度高)，洁净厂房内宜采用超灵敏度探测器即早期警探测器以保证探测效果。这种探测器具有高灵敏度(是一般探测器百倍以上)、早期报警(可在火灾形成前数小时报警)，适用于大空间高气流速度等优点。
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