一、洁净厂房建筑设计要点
应将洁净区与非洁净区在功能上划分明确,有各自的出入口及交通线路。宜将洁净室按洁净度等级分级集中设置。洁净度要求高的洁净室应布置在人流量最少处。人流进入洁净区时应由低洁净度流向高洁净度区;避免不同等级洁净室相互干扰。
要求洁净区平面布置合理、紧凑。洁净室平面形状简单,空间体形简洁,使洁净室面积和体积为最少。
人员和物料出入口应分开设置,各自紧贴洁净区布置。内部人流、货流的污、净交通线路应避免往返交叉重叠。洁净区各种管线需隐蔽,平剖面设计时应按各种管线截面、走向、标高等相应考虑技术夹道、技术竖井、技术夹层和轻型吊顶的位置。外(回)廊可使洁净室取得间接的天然光线、缓冲室外的灰尘及温湿度对洁净室的环境影响,既可作技术夹道又是参观走廊。
多层洁净厂房的物料垂直运输当采用货梯时,电梯间应在洁净区之外,电梯间的底层宜设气闸,在楼层与洁净区之间应设物料净化处理室。垂直运输亦可通过内部专用净化楼梯进行。
为工艺调整创造条件、管线走向简便和加快施工进度,洁净区宜采用轻质隔墙或装配式轻质墙板。
二、洁净厂房的平面布局
在洁净厂房设计中,有一定洁净度要求的洁净室,根据本身工艺流程的安排,它的辅助机房以及连接两者间的大量工业管线的合理安排(洁净厂房的平面布置及剖面形式)是影响洁净厂房设计方案是否适用、经济的重要环节。洁净室的建筑平面布局和净化空调系统有密切关系,净化空调系统既要服从建筑总体布局,建筑平面布局也要符合净化空调系统的原则,才能充分发挥相关功能的作用。
洁净厂房设计时应考虑到建筑平面尺寸与剖面高度变化的灵活性,走线接管的灵活性,净化级别的灵活性。通常,采用大跨度的主体结构、大通间的平面布置、轻质干作业的顶棚和隔墙以及尽量利用技术夹层或技术夹道布置管线、生产辅助设施,都会为工艺的发展和厂房的充分利用创造条件。
洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。洁净室的平面布置可以有以下几种方式:
外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗;
内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别--般都较高,甚至和洁净室同级;
两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房;
核心式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为核心,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。
工作间与技术夹道相间布置的方式,使平面布置成梳状排列,对生产的发展具有更大的灵活性和适应性。根据工艺要求工作间内的洁净系统可设计为全室层流、局部层流罩或洁净隧道。技术夹层兼作辅助设备间或回风通道等,其作用为:成为循环空气或回风通道;布置各种管道或终端净化设备及工艺辅助设备;还可以作为生产辅助设备的维修场所。工作间宽度约4米,技术夹道宽度约为1.2~2.2 米。这种平面技术夹道布置方式多被用于实际的集成电路生产厂房。
这种平面技术夹道布置方式具有以下特点:
公用管道与生产间的联系比较方便:由于工作间与技术夹道是一墙之隔,在隔墙下部又有高400mm的通长回风通道,便于水、电、气和其它公用管道与生产间的连系。比技术夹层上、下层之间的连系方便很多。又由于轻质隔墙可用轻钢骨架,使管道及一些辅助设备的安装非常方便。当工艺调整生产线时相对容易。
管道及辅助设备的安装及维修比较方便:由于技术夹道处于高洁净区域的下风侧,公用设施及辅助工艺设备调整及维修时不会污染高洁净工艺区。因此,可不停产进行调整及维修工作,方便了生产也提高了经济效益。
充分发挥了各不同级别洁净区的作用:技术夹道是回风的下风侧,布置的是对洁净度要求不高的工艺设备和辅助设备,如真空泵,控制用计算机等,要求最高的洁净区则布置在较小的层流洁净室内或洁净隧道内,这样可使建设费用运转费用降低。
节省建筑造价:由于工作间宽度为4米,既满足工艺生产的一般要求,又有可能在设计垂直层流洁净室时采用侧墙下部回风,避免采用地面回风的负责形式,就有可能大大节省建筑造价。

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