一、电气设计
1.电子洁净厂房的电气设计
电子洁净厂房电气设计一般包括电力系统、照明系统、自动控制系统及防雷接地系统，各系统与其它专业相互配合，是电子洁净厂房安全生产不可缺少的因素。
2.电子洁净厂房电力系统
确定负荷分级根据室外消防水量确定消防设备的负荷等级，根据电子产品生产工艺及设备要求确定工艺设备的负荷等级，选用合理的供电方式。电子产品生产用主要工艺设备，应由专用变压器或专用低压馈电线路供电。对电源连续性有特殊要求的生产设备、动力设备，设置不间断电源或备用发电装置。
电子洁净厂房中有些工艺设备是特殊电压，根据特殊电压设备分布及种类，确定采用集中式特种变压器或分布式特种变压器。
3.配电系统
电子洁净厂房工艺设备、动力设备、照明设备配电系统分开，一般采用放射式、树干式结合的配电方式分别进入设备或电力照明配电箱。在设计时与业主充分沟通，选择低压电缆直接配电或采用母线槽的配电方式。
4.设备选择
洁净室的配电设备，应选择不易积尘、便于擦拭的小型、暗装设备。配电箱可暗装在回风夹道或灰区内。利用箱内的低压断路器或漏电断路器作过载、短路及漏电保护，并采用手动断合操作。工艺配电箱配电按照工艺流程合理划分。在腐蚀性区域内各类电气设备及附件如支架、螺母等都应选用防腐蚀材料。防爆房间内电气设备防爆等级符合规范要求，在爆炸危险环境内，电气设备的金属外壳应可靠接地。
5.导线选择和线路敷设
洁净室为密闭空间，一旦出现火情时烟气不易排出，为确保工作人员的安全和健康，一般采用低烟无卤电缆。为保证洁净生产区的洁净度，桥架、母线在技术夹层敷设。电缆在有桥架处在桥架内敷设，出桥架后穿镀锌钢管敷设。由于洁净厂房各专业管线较多，在设计时需与其他专业管道协调，做到清晰合理，方便使用和检修。由非净化区进入净化区和不同级别净化区之间的电气管线，应在穿墙处和管口处做好密封处理，穿越防火墙的电气线路均在出入口处作防火和密封处理。腐蚀间配电线路穿PVC管保护，支架等电气附件均刷防腐涂料或选用防腐蚀材料。所有穿过防爆区场所内的隔墙的管线，穿厚壁镀锌钢管敷设，且其钢管与墙板间的缝隙均应按防爆施工要求做好密封。
6.配电设备的安装方式
在洁净区内配电箱在灰区、回风夹道处安装。安装于回风夹道内的配电箱箱体到位后，再按照配电箱的实际尺寸在金属壁板上开洞。安装于回风夹道的配电箱进线处需密封处理。
二、电子洁净厂房照明系统
电子洁净厂房照明分为一般照明、备用照明和应急照明。为保证洁净生产区的洁净度，洁净厂房采用洁净室专用的洁净灯具，灯具安装时，要密封处理好，便于更换灯管、清扫。当采用FFU龙骨时，照明灯具一般选择配合FFU龙骨使用的灯具，避开风口，便于安装。由于洁净室照度要求较高，且风口较多，洁净区的照明光源采用高效荧光灯，所有灯具均采用节能光源，对感光度有要求的生产场所(如光刻区)采用黄色光源。洁净区主要生产用房一般照明照度值为300~5001x，辅助区照度值为200～300lx，电气设计时需要与工厂使用部门沟通确认，以达到使用方的要求。备用照明作为正常照明的一部分，且不应低于该场所一般照明照度值的20%。生产厂房内设置供人员疏散用应急照明，其照度不低于5.01x。在安全出入口、疏散通道或疏散通道转角处设置疏散标志。在专用消防口设置红色应急照明指示灯。生产厂房技术夹层内管道多且复杂，应设置检修照明，便于检修人员使用。
三、电子洁净厂房接地系统
电子洁净厂房防雷接地与设备的工作接地、保护接地等共用接地网，接地电阻不大于1Ω。洁净厂房内金属物体包括洁净室的墙面、门窗、吊顶的金属骨架，应与接地系统做可靠连接；导静电地面、活动地板、工作台面、座椅等应做静电接地。洁净室的净化空调系统应做防静电接地；洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或者粉体管道应采取防静电接地措施。电气设计中需要与工厂使用部门沟通，确定设备防静电接地、信号接地、屏蔽接地、设备独立接地的要求。分开设置的接地系统接地极应与共用接地系统接地极保持20m以上的间距，并且做好爆炸环境的防静电接地、氢气管道防静电接地以及氧气管道防静电接地。
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