用于生产精密电子产品的受控环境就是电子工业洁净室。该类洁净室内的污染物在空气中的微粒、温度、湿度、气压、气流模式、空气运动、振动、噪音、生物体和照明方面受到高度控制。

对于敏感的先进电子产品，现代OEM不能冒任何微粒污染的风险——微芯片上的微小灰尘可能与巨石一样具有破坏性。受污染的产品每年给电子制造商造成数百万美元的损失，可能导致失去最重要的ISO体系认证，并产生难以撼动的负面宣传。

因此需要建立电子洁净室，以防止高精度的电子产品损坏。同时，电子制造商必须确保其制造空间的清洁，以保持其产品的完整性。除了控制空气中颗粒的数量和大小以防止不可修复的破坏外，电子洁净室系统还可以满足对防静电要求。此外，电子处理和存储需要洁净室。

根据不同的应用，电子洁净室将满足特定的洁净度要求。电子洁净室必须符合两个标准：

FED STD 209E：该标准根据标准单位(空气体积单位为ft3)定义空气中悬浮颗粒物的浓度。FS209E包含六个等级:1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，其中1级为“最干净”，100000级为“最脏”。

ISO 14644-1：该标准根据标准单位(空气体积单位为m3)定义了空气中悬浮颗粒的浓度。ISO 14644-1有九个等级，ISO 1是“最干净”的，ISO 9是“最脏”的。

这两个标准都根据洁净室空气中发现的颗粒数量对洁净室进行分类，可以互换使用。例如，ISO class 3大约等于FS209E class 1，而ISO class 8大约等于 FS209E class 100，000。需要去除的颗粒物水平取决于客户设定的标准。

除了粒度和浓度标准，还有一些标准需要考虑：

• 温度标准：22℃是电子电路的安全温度

• 湿度标准：18-55%是理想的湿度范围

• 差压标准：压差从15Pa到45Pa

电子工业对产品质量和工艺可靠性的要求越来越高，需要在制造、处理和加工以及储存过程中保持清洁的环境，因此洁净室技术在光学和电子行业中发挥着越来越重要的作用。电子工业需要洁净室的细分领域包括：

• 半导体制造

• 板材制造

• 光纤生产

• 晶圆运输

• 真空室

• 干燥剂

• 无ESD晶圆和芯片存储

• 紫外线敏感过程

• EUV研究

• 真空镀膜

• 印刷

• 面罩矫正器

• 硅片和基板的封装

在电子洁净室，需要设计和配置各种建筑材料，以满足精确的规格。这些电子洁净室可防止对电子产品产生危害污染物，如化学蒸气、气溶胶颗粒、纤维材料和微生物。电子洁净室需要HEPA过滤、正压或负压、温度控制和监控系统。

建造和设计电子洁净室，从FS209E 100级到 100,000级，相当于 ISO 14644 5 到 8 级。对于 300,000 级洁净室，可以使用亚 HEPA 过滤器。对于 100-100,000 级，建议安装初级、二级和高效 HEPA 过滤器系统。二级过滤器和高效过滤器的风量应小于或等于洁净室规定的风量。二级过滤器应集中在空气处理系统的正压部分周围，而高效过滤器应集中在空气处理系统的末端周围。

微电子洁净室构造 图源：cleanroom-industries

一些电子洁净室需要高性能塑料（如聚丙烯）生产线中的辅助产品。这些塑料耐酸、耐溶剂和耐大多数其他化学品，具备低磨损和良好的滑动性，还具有阻燃性。因此，它们特别适用于制造洁净室产品中的搬运部件。以下是用到聚丙烯塑料的功能区：

• 定容化学排烟罩

• 旁路排烟罩

• 垂直流排气100级工作站

• 湿法加工站

• 带工艺罐的排烟罩

• 热水浴

• 倾倒冲洗器

模块化结构全墙系统

天花板

门窗系统： 图源：octanorm-cleanroom

防静电环氧树脂地板结构 图源：tennantcoatings

静电会损坏产品，形成安全隐患，并引起颗粒的吸附，这些颗粒随后会释放到加工产品中。ESD几乎在电子环境的各个方面都会影响生产力和产品可靠性。

包括半导体制造商、纳米技术公司和其他电子制造公司的客户，其洁净室用品和服装制造商提供用于控制有害颗粒的创新产品，如备有全套防静电湿巾、ESD服装、特种化学品和清洁用品，以及洁净室顾问服务，帮您了解关键环境对无静电、无尘设施的需求，以及对您的员工采取的安全预防措施：

• 防静电工作服和实验室外套

• 防静电湿巾

• 防静电清洁产品

• ESD 和防静电手指套

• 防静电无粉丁腈手套

• 防静电和ESD鞋套

• 焊接用品和产品

• 模板湿巾和相关物品

• 防静电地板和长凳垫

• 眼睛保护和护目镜

• 镊子和其他洁净室手动工具

洁净室制造商会为您设计一个全面完整安全的电子洁净室，具有您需要的所有认证功能：

• 防静电周边窗帘

• 风淋室

• 实验室案例

• 单向100级工作站

• 风机过滤单元

• 湿法站

• 负流排气工作站

• 鞋柜
  

• 服装柜

• 隔板

• 流程实用程序

• 气柜

• 气体面板

• 高纯度管道

• 空气污染控制系统

• 氮气发生器

• 去离子水系统

• 有害气体检测系统

• 电离设备

• 抗静电洁净室用品

• 防静电产品

• 暖通空调系统

• HEPA过滤系统

• 其他污染控制产品

图源：cleanroomsbyunited

模块化电子组装洁净室比标准结构更便宜，更易于安装，并且可以最少的费用和停机时间进行修改、升级甚至重新安置，并且几乎100%可重复使用。使用隔热墙板提供隔热层，可提高性能和效率，同时降低能源成本。

电子装配洁净室的要求可能会因安装而异，因此，考虑到这一点，您可以根据自身的规格设计定制洁净室。 模块化电子洁净室可提供：

• HEPA过滤

• 正/负气压

• 温度控制

• 监控系统

• 更多选项