采用洁净室技术,对受控微环境进行污染控制以达到所要求的空气洁净度,需要采取多种综合技术措施。这些措施包括:
1、采用复合要求的材料建造洁净室
洁净室的污染控制是一项系统工程,需多种措施有效配合,才能以最小的代价来达到最有效的污染控制。洁净室的墙壁、地面、顶棚应不产尘、少积尘、不易滋生细菌、无接缝或少接缝且接缝应严密。符合要求的材料有彩钢夹芯复合板、电解钢板加抗菌涂层、人造石材板等。地面材料㓟环氧树脂自流平地面、PVC防静电地板、高级水磨石地板等。
2、选用符合洁净室要求的设备
这项工作由工艺专业完成。目前的情况是:有相当比例的工艺设备不符合洁净室的要求,表现在凹凸不平、易产尘积尘、污染环境。可在设备安装后,在不影响使用的情况下,用不锈钢板进行装饰,使其表面平整、光洁。
3、采用压差控制措施
根据洁净度的高低、工艺设备的产尘情况,利用压差有效控制污染。一般情况下,气流应从洁净度高的洁净室流向洁净度低的洁净室渗透。对于产生污染的洁净室,除采取防止污染扩散的措施外,应使洁净室处于相对负压的状态,以防污染邻室。
4、采用合理的人净、物净措施
配合建筑专业设计,合理设计人流、物流通道,根据工艺要求,采用一更、二更甚至三更的人净方案。必要时需设置空气吹淋室垂钓洁净工作服上的浮尘。原材料的输入,产品输出,均需有很好的保护措施。如设置传递窗、传递通道。对输入原辅料进行外包吸尘、脱外包等工序。通过压差来控制输入、输出口气流流向,应使洁净区的静压比飞洁净区高15Pa。
5、采用符合洁净度要求的气流组织形式
这是空气净化的核心措施。采用过滤的方法(至少三级:粗效、中效、高效或亚高效),使送风气流洁净。在非单向流洁净室中,通过合理布置送风口及回风口,靠洁净送风气流的扩散、稀释作用,把污染物稀释后从回风口排出。保持洁净室的悬浮粒子浓度在要求的范围内。在单向流洁净室中,靠洁净送风气流“活塞”般的平推作用,把污染物从回风口“压”出。
有些产品的生产要求精密化及高纯度,除需控制微环境中的污染外,还需要控制其分子污染。为此,在这些洁净室的空气处理系统中还应设置化学过滤器、吸附过滤器及吸收装置。
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