一、空调净化系统 空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点，下面来介绍硅晶片生产工序的空调净化系统方案。（1）空调系统①切片室、倒角室、研磨片室仅有温度控制要求，设风冷热泵分体柜式空调机(PAC)来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用双层百叶风口侧送风方式；室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大，新风采用直接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来补充。车间有防尘要求，风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm粒子)，同样屋顶式空调机需设两级过滤器。②炉室、BSD室仅有温度控制要求，设风冷电热分体柜式空调机(PAC) 来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器顶送风方式；室外机放置在屋面上。新风由相邻洁净室正压过来。车间有防尘要求，风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm粒子)。③磨片检查室有温度和湿度控制要求，设风冷电热分体柜式空调机(PAC)来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器顶送风方式；室外机放置在屋面上。新风经新风机组(MAU-1.2)处理后，接至送风管上送到室内，相对湿度由新风机组来保证。新风机组是与净化系统共用的。车间有防尘要求，风冷电热分体柜式空调机回风口处...
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一、空调系统（1）冷热源新风集中处理机组(MAU)、降温空调机组(AHU)及空调循环机组(RCU)所用的冷媒为7℃~12℃的冷冻水；新风集中处理机组(MAU)及降温空调机组(AHU) 所用热媒为38℃~32℃的热水；洁净区新风集中处理机组(MAU)初级冷盘管、洁净区循环空气处理干冷盘管所用冷媒采用15℃~20℃的冷冻水；加湿方式为电热式加湿器。（2）空调系统根据生产工艺的要求相应设计了净化空调系统、恒温恒湿空调系统、降温空调系统及直流空调系统。1.厂房中的洁净生产车间为工艺生产的关键区域，洁净度要求较高，粒子数最高要求为≤10000颗/ft3 (对于0.5μm粒径)。该区域建筑上分为2层，上层为送风静压箱，吊顶由风机过滤器单元(FFU) +金属吊顶框架组成，下层为工艺生产区。该区域采用送风静压箱+吊顶上安装的风机过滤器单元(FFU)顶送风，沿结构柱或侧墙设置的回风夹道回风，工作区气流组织形式为顶送下侧回。洁净室内循环回风经过安装于回风夹道内的干冷盘管进行降温处理后与新风混合，再送至室内。2.厂房中的洁净生产车间设置单独的新风集中处理系统。新风经粗效、中效、高效过滤器过滤，温度、湿度处理后送入送风静压箱内与洁净室内循环回风混合。新风集中处理系统的处理流程为：新风入口→粗效过滤器过滤→初级表冷→二级表冷→加热段→电加湿→风机加压→中效过滤器过滤→高效过滤器过滤→送风静压箱内与洁净室内循...
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一、风量计算实验动物房的空调净化系统要解决的两个主要问题：防止交叉感染和臭气的扩散。实验动物设施的污染源，除微生物外，还有氨、硫化物等发臭物质。为防止发臭物质的蓄积，实验动物房的空调净化系统一般采用全新风方式。因此风量的计算，主要是新风量和排风量计算。风量一般采用经验换气次数，根据规范，普通环境换气次数采用15次/h，屏障环境换气次数采用20次/h，另外还需结合具体房间的负荷，比较消除负荷所需的风量大小，个别设备散热量大的房间换气次数会大于经验值。新风量确定后，根据房间压差，利用压差渗透法，确定房间的排风量。正压区，新风量大于排风量，负压区，反之。此外，工程中关于换气次数的取值，有些项目会盲目的加大换气次数，以确保能达到更好的洁净效果，实际上15次/h是有很大的安全余量的，换气次数加大，会导致空调负荷增大较多。二、空调系统划分空调系统划分需要结合具体的平面布局和动物饲养环境进行，主要依据： (1) 普通环境和屏障环境系统分开；(2)饲养动物的种类，比如大动物、小动物分开；(3)房间使用功能如免疫区和攻毒区分开。另外各环境中又分为2个系统，服务于业主优先使用的动物房、走廊和辅助房间等为一个系统，另外的动物房间单独为一个系统，这样可以满足动物较少时，只需要运行其中的一个系统，从而节省运行费用。所有组合式空调箱均配有：新风段、初效过滤段、预热段、中间段、预冷段、再冷段、中间段、再热段、蒸...
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一、湿度在半导体行业中的要求半导体的生产工厂要在全年四季的气候条件下，生产车间内部要求维持稳定的环境，特别是对于生产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织，压力平衡等多个空调参数都提出了严格的要求。有别于其他的恒温恒湿环境系统的要求，由于电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其品质的影响，其对湿度的精度提出了严格要求，对于空调系统的配置，则要求系统同时具备夏季除湿的功能和冬季加湿的功能。一般的，半导体生产行业的温湿度条件为：T=22±2℃，RH=45±5%；而对于这个温湿度要求，传统上经常采用冷冻除湿+后加热(再热)方式进行处理，并取得了一定成果。但这种方式却存在着一个致命问题，冷热的抵消和能耗的巨大浪费，特别是由于半导体行业的大新风，大排风系统、生产环境为大空间洁净环境以及目前许多厂主要集中分布在华南和华东地区的特殊情况，使得这个问题十分突出。因此，在最新的许多半导体厂房的空调系统开始使用新风通过新风机组(冷却除湿)和转轮除湿机联合处理湿度、温度而后通过后空调机组处理的组合方式，达到室内送风温、湿度要求，并取得了显著收益。二、工程实例（一）设计条件及要求：a、室内要求：T=22±2℃；RH=50±5%；TL=11.5℃；d=8g/kg；b、洁净级别：10K ( 10000级) ；c、体积：S=2000m2；H=2. 8m；d、工作人员：30名...
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一、锂电池产品生产工艺的环境要求分析根据工艺需求特点，可以大致将锂电池生产厂房对于空调系统的湿度需求分为以下三类：1)普通湿度需求空调房间，如负极涂布间等房间，其湿度控制需求为≤60%，该需求可通过冷却除湿实现。2)低湿需求空调房间，如正极辊压间、正极分条间、正极模切间以及正极二分间等房间，其湿度控制需求为≤20%，以及正极涂布间、负极辊压间、负极分条间、负极模切间以及负极二分间等房间，其湿度控制需求为≤45%，该需求通过冷却除湿很难实现，因此往往通过转轮除湿机组处理后来满足使用需求，机组中设置一级转轮。3)低露点湿度需求空调房间，如干燥间、化成间以及注液间等房间，其湿度控制需求为露点≤-50℃，甚至更高，该需求现有的一级转轮除湿机组很难满足工艺需求，工程中一般设置两级转轮除湿段对房间空气进行处理，以满足使用需求。二、锂电池生产行业除湿方式的选择和确定现行的空气除湿方式有很多种，包括冷却除湿，液体吸附剂除湿，固体吸附剂除湿，膜除湿等。在实际应用中，单一除湿技术很难满足要求，而且从节能角度考虑，多种除湿技术联合使用能综合各种技术的优势、规避自身不足，在节能的同时提高除湿的效率。目前，空气除湿主要有冷却除湿和转轮除湿。在空调除湿系统中，冷却除湿在高温高湿的环境且对湿度要求不是很严格的条件下，效果还是比较好，但在除湿量比较大且环境温度比较低的环境中，湿度和温度要求比较高的地方，采用冷却除...
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一、分析医药生物类洁净厂房的特点及火灾危险性所谓的洁净厂房是指在建设进程有特殊要求净化车间。由于洁净厂房在使用上的特殊性，决定了其建筑结构、布局、功能分区等方面不同于一般建筑物的施工，洁净厂房具有的特殊性和复杂性。再结合医药生物类企业特点，可以把医药生物类洁净厂房的特点归为以下几类：1.建筑和装修材料大多数是可燃材料。由于洁净厂房需要特殊，常使用许多新的复合材料，加之一些施工单位缺乏消防知识，选择颜色钢铁和泡沫，增加了火灾发生的概率，且这些材料燃烧，会产生大量的有毒气体。2.医学洁净厂房由于清洁无菌工艺要求，密封性好，火灾发生后室内温度迅速升高，热量难以散发，使可燃物很快达到燃点而促使火势扩大，且火势沿内部风管迅速蔓延至各个角落，烟雾覆盖面积大，能见度低，致使人员疏散困难，极易窒息，搜救工作难度大，人员伤亡率较高。3.制药行业洁净厂房经常使用各种易燃易爆危险化学品，比如使用环氧乙烷、酒精、天然气活跃的镍、钯炭等易燃易爆物品，制药技术在杀菌过程中的火焰法和环氧乙烷法都有着很大的火灾危险。二、设计好厂房的平面布置为了确保厂房的整体消防安全，在厂房建设前，应由设计单位、建设单位、使用单位、设备安装或供应单位对厂房的整体布置提前进行科学论证。在厂房的平面布置上，重点应注意以下两个方面：首先，易燃易爆的工艺或设备间应尽可能安排在厂房外，或者与厂房贴邻。如果是特殊情况必须布置在厂房内的，应该紧...
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电子级磷酸属于高纯磷酸，是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，属于电子化学品系列产品之，是电子工业不可替代的无机化工产品。电子级磷酸广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子、元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响。而环境控制是电子级磷酸项目的质量保障体系之一，具有十分重要作用。大气中所含尘埃和多杂质，会对高纯度的电子级磷酸产品造成污染，因此必须在产品制备过程中和分析检测过程中，对各个环节可能接触的污染空气进行洁净化处理，达到相应的洁净度要求。除工艺空气必须经物理和化学方法净化，以免带入固体微粒等杂质外，生产车间、辅助车间、实验室等都有清洁度要求。由于电子级磷酸质量不仅与生产工艺有关，而且与超净生产环境密切相关。因此必须在产品制备过程和分析检测过程中，对各个环节可能接触的污染空气进行洁净化处理，达到相应的洁净度要求。净化空调系统设计一、空调负荷空调负荷主要由围护结构传热、人体散热、室内照明散热、室内设备散热、室内散湿过程产生的潜热和新风负荷等部分组成。经计算，本工程夏季空调系统耗冷量为214kW，选用一台制冷量为226. 4kW水冷螺杆式冷水机组；冬季空调系统耗热量为345kW，热源由厂区锅炉房提供。二、换气次数根据《洁净厂房设计规范》中提出的换气次数与洁净度的关系，ISO Class6洁净度要求的换气次数为50~60次/h，...
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一、医药洁净空调洁净度设计洁净室是室内空气洁净度达到一定级别的房间，空气洁净级别依据每立方米空气中的微粒数来确定。各个国家对空气洁净级别的划分有不同的标准。《药品生产质量管理规范》规定一万级洁净区每立方米空气中0.5μm尘粒数≤350000，≥5μm尘粒数2000，浮游菌数≤100，沉降菌数≤3/皿；十万级洁净区每立方米空气中≥0.5μm尘粒数≤3500000，≥5μm尘粒数≤20000，浮游菌数≤500，沉降菌数≤10/皿。净化空调系统通过对空气进行净化处理(过滤)以达到规定的洁净级别要求。以前较常见的做法是：只给主要房间送风，其余房间利用其回风或由洁净走廊回风，房间顶部布置回风口。这种方法施工方便，但造成各房间交叉污染。初效过滤器、中效过滤器置于空调机组内，高效过滤器(或亚高效)置于各房间顶部(若吊顶空间不够也可置于房间上侧面)，由房间下侧部回风。各房间(包括洁净走廊)均设置送回(排)风口，上送下侧回(排)。这种气流组织方法利于单独调整各房间的正压，减少各房间之间的影响，系统洁净度提高。二、医药洁净空调温湿度设计医药洁净厂房据产品品种、洁净级别、运行班次、使用时间等划分为不同的洁净空调系统，洁净室的温度一般控制在18~26℃，相对湿度控制在45%~65%，常采用一次回风处理方案。其处理方法和具体计算与一般舒适空调有所不同，加上每个系统房间较多，各个房间热湿负荷不同，设计时较难兼...
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一、医药厂房洁净区内部污染的产生医药厂房洁净区内有大量的工艺设备、运输工具及工作人员，这些工艺设备、运输工具、人员本身会产生粉尘、湿热气体、异味及细菌等污染物，构成了洁净区内的污染源。控制洁净区内部污染物的扩散，也是医药厂房洁净空调设计的重要内容。二、控制医药厂房洁净区内部污染方式探讨1.产生粉尘房间的污染控制药品生产过程中有许多工序可能产生粉尘，如粉碎筛分、制粒、胶囊充填等工序，如果这些房间空调气流组织不合理，会造成粉尘扩散，从而影响到该房间空气洁净度。以粉碎间为例，设计中送、排风口可能有几种布置方式：方案A投料口的粉尘可能会随气流扩散至整个房间，导致房间洁净度超标；方案B通过局部排风罩，虽可以有效控制投料口的产尘，但可能使局部排风罩上形成气流死角，造成新的积尘点，产生新的污染源；方案C在靠近投料口侧墙上部和房间侧墙底部均设置排风口，可有效控制投料口和出料口的粉尘扩散，防止其污染房间其他区域。综上所述，方案C既可以防止粉尘扩散，又不影响房间的气流组织，应为最佳方案。2.产生湿热气体房间的污染控制制药生产线洁净区同时还有部分工序会产生湿热气体，这些房间很可能因为湿热气体的散发，使洁净区内的温、湿度长期无法满足设计要求。因此，在设计中必须考虑快速将房间中的湿热气体排走，如果我们按普通洁净区做法，采用上送下侧回的方式，会造成以下几个问题：(1)湿热气体无法快速被排走，洁净区内温度过高，...
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《洁净厂房设计规范》对洁净厂房疏散走廊明确提出了机械排烟要求，但对于洁净室没有明确规定一定要设机械排烟，实际工程中各地消防部门对于集成电路厂房洁净室是否设排烟的问题上要求也不一致；但集成电路生产企业的业主通常会将整个厂房进行投保，由于集成电路生产中要使用多种易燃的气体和液体，保险商一般均要求洁净室设置机械排烟措施，否则增加保费。所以在集成电路洁净工程中，洁净室机械排烟经常是不可回避的问题。集成电路厂房洁净室国内外目前常用的排烟方式有两种：即下排烟和上排烟。一、下排烟方式下排烟一般是在洁净室回风下夹层或回风竖井内设置排烟口，当洁净室或洁净室下夹层发生火灾时，则打开排烟口，开启排烟风机进行排烟，此时新风机组继续运行，往洁净室上夹层内补充新风，并通过必要的阀门切换使上夹层与洁净室和下夹层隔开，上夹层内新风由FFU送入室内。采用下排烟必须有以下条件：即洁净室发生火灾时，洁净室顶部FFU下吹的断面风速必须大于烟气上升的速度，否则烟气会在洁净室顶部积聚。通常FFU下吹速度为0.25~0.5m/s，而火灾的热释放率只要大于3kW，烟气的上升速度就会大于0.5m/s，所以下排烟方式只是在洁净室发生小火灾时有效。下排烟方式最近几年在国外的一些集成电路厂房中得到应用，但国内工程中用得较少。二、上排烟方式上排烟是在洁净室吊顶上设置排烟口，通过排烟风管将各排烟口连接至排烟风机，当洁净室发生火灾时，打开排烟...
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