一、洁净车间温湿度检测
测点应布置在恒温工作区具有代表性的地点；若没有恒温要求，可在洁净车间中心布点；测点距外墙表面一般应大于0.5m，距地面0.8m，也可根据恒温区的大小，分别布置在距地面不同高度的几个平面上；根据温湿度波动范围的要求，检测宜连续进行8~48H，每次读数间隔不应大于30min；对有温湿度波动要求的区域，测点应布置在送回风口处或具有代表性的地点；室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制温度的最大值整理成累计统计曲线，若90%以上测点偏差值在室温控制范围内，为符合设计要求，反之为不符合；相对湿度波动范围可按室温波动范围的规定执行。
二、洁净车间照度检测
照度测定一般仅测定除局部照明之外的一般照明，采用移动式照度计进行测定；每次测定照度须在开灯15min后，光源输出趋于稳定时进行，且室温已趋于稳定；测定布置在距地名0.85m的平面上，按间距1~2m布点，测定距墙面1m；把实测照度值记录在测点布置图上，计算出平均照度。
三、洁净车间气流流型检测
气流流型检测，对于非单向流无尘车间，取3个测点截面，具有代表性的送、回风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面，在纵剖面上，测点间距为0.2~0.5m，在水平面上，测点间距为0.5~1m；对于水平单向流，取5个测点截面，洁净车间的纵剖面，工作区水平面，距送、回风口0.5m处的两个纵剖面和房间中心的纵剖面，测点间距均取0.2~1m；对于垂直单向流无尘车间，取4个测点截面，纵剖面、横剖面、距地面0.8m和1.5m的两个水平面，测点间距均取0.2~1m。在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于15°。
四、洁净车间噪声检测
洁净车间噪声的检测，测点布置应按面积均分，每50m2设一点，测点位于其中心，距地面1.1~1.5m高度处按工艺要求设定；实测噪声值应符合设计要求或满足洁净厂房设计规范，无尘车间内空态噪声级，非单向流不应大于60dB(A)，单向流、混合流不应大于65dB(A)。
自净时间测定：该项目须在洁净车间停止运行相当时间，室内初始含尘浓度已接近大气含尘浓度时进行；满足上述要求后，开启净化空调系统，定时读取尘埃粒子计数器数值，直到室内含尘浓度达到最低限度为止，这一段时间即为自净时间。
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