气体分子污染物(AMC),又名为悬浮分子污染物/气载分子污染物,是危害微电子生产工艺并导致成品率降低的分子态化学物质,大多出现在洁净室和受控环境的大气中。 对于微电子洁净室控制的挑战在于AMC分子污染物的尺寸比粒子要小得多,会在半导体制造的栅底氧化、薄膜沉积、多晶硅和硅化物形成、接触成型、光刻等多个关键工艺上对晶片表面、设备表面产生侵蚀,还会产生非控制性硼化物或磷化物掺杂、晶圆表面或光学镜面产生阴霾、微粒产尘等危害,从而大大影响了产品的质量。晶圆加工流程 图源:泛林...
近年来,伴随着我国国民经济的快速发展和人民生活水平的提高,国家医疗卫生事业同样也得到了迅猛发展,新的医疗技术对室内环境的要求不断提高。其中手术室净化空调设计成为综合医院空调设计最为重要的一环,洁净手术室净化设计的目的是通过净化设计有效阻止室外污染物侵入室内,降低术后感染率,同时迅速有效排除室内的污染气,防止病菌扩散。一、室内设计参数的确定净化空调设计参数的确定与普通舒适性空调系统有很大的区别。从温湿度来说,舒适性空调的室内温湿度的确定只考虑工作人员的舒适性要求,而净化空调不仅...
★NEWS★合格的第三方洁净室检测机构普遍要求要有全面的洁净相关检测能力,可为药品GMP车间、电子无尘车间、食品药品包装材料车间、无菌医疗器械车间、医院洁净手术室、生物普遍实验室、保健食品GMP车间、化妆品/消毒品车间、动物实验室、兽药GMP车间、饮用桶装水车间等洁净室、洁净厂房提供第三方检测、调试、咨询等专业技术服务。 洁净室检测范围一般包括:洁净室环境等级评定、工程验收检测,包括食品、保健品、化妆品、桶装水、牛奶生产车间、电子产品产车间、GMP车间...
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1. 空气过滤器主要参数1.1 净化空调通风系统过滤器尺寸⑴ 空调通风系统中最常用的过滤器; 无论是框式、袋式或W 式,名义尺寸通常为610mm X 610mm, 实际上就是发达国家24″X 24″的规格,对应的外框尺寸则因生产厂不同单边分别为592mm至597mm。⑵ 净化系统末端用的高效过滤器, 发达国家始终以610mm ( 24″)为主, 其派生尺寸为203mm、305mm、762mm、915mm、1219mm...
药厂洁净区划分ABCD,医药工业洁净室和洁净区是以微粒和微生物为主要控制对象,同时还应对其环境温度、湿度、压差、照度、噪声等作出规定。01药厂洁净区划分ABCD等级A级:高风险操作区,如:灌装区、放置胶塞桶、敞口安瓿瓶、敞口西林瓶的区域及无菌装配或连接操作的区域。通常用层流操作台(罩)来维持该区的环境状态。层流系统在其工作区域必须均匀送风,风速为0.36-0.54 m/s(指导值)。应有数据证明层流的状态并须验证。在密闭的隔离操作器或手套箱内,可使用单向流或较低的风速。B级:...
为了让洁净室能够达到良好的效果,国内外有不少相关文献的发表,阐述角度也各有不同。但是,实际操作很难做到理想地配合,而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况。”下面主要是以洁净室净化措施中达到洁净度要求的四个必要条件进行阐述!一、送风洁净度要保证送风洁净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。按我国标准规定高效过滤器效率分四档:A类为≥99.9%,B类为≥99.99%,C类为≥99.999%,D类为(对≥0。...
用于生产精密电子产品的受控环境就是电子工业洁净室。该类洁净室内的污染物在空气中的微粒、温度、湿度、气压、气流模式、空气运动、振动、噪音、生物体和照明方面受到高度控制。对于敏感的先进电子产品,现代OEM不能冒任何微粒污染的风险——微芯片上的微小灰尘可能与巨石一样具有破坏性。受污染的产品每年给电子制造商造成数百万美元的损失,可能导致失去最重要的ISO体系认证,并产生难以撼动的负面宣传。因此需要建立电子洁净室,以防止高精度的电子产品损坏。同时,电子制造商必须确保其制造空间的清洁,以...
近年,越来越多的食品厂开始考虑在内包装等工段区域建设洁净车间,建设洁净车间可有效减少生产出的产品受到微生物污染,有效提高产品品质和生产效益。1何为洁净车间洁净车间也叫无尘车间、洁净室、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性...
洁净室的设计计算洁净室的设计计算包括空调负荷计算,风量计算,洁净度校核计算等内容。空调负荷计算洁净室的空调负荷包括复季冷负荷与冬季热负荷。有人认为计算方法与一般空调负荷的计算方法相同。其实,洁净室的负荷计算与一般空调的负荷计算有许多区别。对于许多材料中推荐的负荷估算指标,不知道这些估算指标的详细来源,在工程实践中发现这些估算指标比实际负荷大很多。对于一些没有经验的设计人员,也许会受到估算指标的影响而不相信自己的计算数据,进而加大安全裕量,或者干脆套用估算指标,这是非常有害的。...