影响空气过滤器过滤效率的因素有:空气阻力、风速、过滤面积、过滤材料、过滤材料、过滤风速。过滤效率是根据可穿透离子大小及过滤微尘数量来取区分的。大多数情况下,过滤效率的高低直接取决于以下几个因素:空气阻力、风速、过滤面积、过滤材料、过滤材料、过滤风速等有着莫大的关系。一、空气阻力 运动着的气流碰到滤材,使气流绕行,同时产生微小的阻力,无数过滤纤维是整个过滤装置在一定风速下产生一定的阻力和成为过滤装置的空气阻力。当过滤装置到达一定阻值时(终阻值),就要更换过滤装置,这样才能保证过滤效果。大多数情况下,终阻值设定为初祖值得2—4倍。过滤装置越脏,阻值越大,相应的同等风速下风量会越小。不要以为清洗过后,过滤阻力不再增高就认为过滤装置已恢复过滤机能,其实此时的过滤效率是零。所以,过滤器材是易耗品。 二、风速 在大多数情况下,风速越低,过滤效率越高。因为在低风速下,小尘埃的扩散作用明显。气流在滤材中滞留的时间就长一些,粉尘就有更多的机会撞击障碍物。一次过滤效果明显。对于效率高的滤材,风速减小一半,粉尘通过滤材的几率降低而效率会增加一倍。风速增加一倍,透过滤材的粉尘机率会增大一倍,效率会降低一个数量级(减少一倍)。在风速较低的时候,大颗粒在惯性运动时,与纤维碰撞的机率减小,但是在实际应用中这种影响并不明显,因为风速减小了,纤维对粉尘的反弹力也减小了,粉尘更容易粘附,...
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负压病房没有手术室要求那么高,必须全新风,全排风。但是,一般情况下,负压隔离病房,为了保证病房以外的医患安全,每一个病房采取独立的空调系统,为了保证压差梯度风机采用变频控制。(一)空调形式如果病房的风系统可采用部分循环风回风,那么回风口必须采用 “动态密封负压高效无泄漏排风装置”,同时必须配有高效过滤器,否则,将有相当的不安全性。一般情况下采用每一个病房为一个独立空调系统(为保证压差梯度风机采用变频控制)。公共治疗区设置独立空调系统,清洁区、潜在污染区、污物区应分别设置空调系统。 图 动态密封负压高效无泄漏排风装置(二)气流组织形式: 图 负压隔离病房气流流向图 1.病房气流组织气流组织应尽量排除死区、停滞区和避免送、排风短路。送、排风口的布置一般设在病床的端头墙面,应使洁净空气首先流过病房内医护人员可能停留的区域,然后流过传染源(主要指病人头部)进入排风口。这样,医护人员就会处在气流的上风口,不会处于传染源和排风口之间。送风口布置在房间的一侧,与病人相对,排风从病人头部下风侧排出。气流组织通常受到空气送风温差、送排风口准确位置、医疗器具和家具摆放位置以及卫生保健人员和病人活动情况的影响。排风口的底部应在房间地板上方不低于100mm高的位置。 2.公共治疗区的气流流向致病因子可能传播到隔离病区其它部分,因此,隔离区域应...
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生物实验过程中防止生物污染也是生物实验室安全的重要环节,生物安全柜的作用是可以有效地保护实验室人员安全以及实验室环境的安全。生物安全柜的分类和使用注意事项有哪些? 生物安全柜的分类生物安全柜主要分为I、II 和 III几大类,可提供不同级别的保护,防止危险或传染污染。对于所有类别的生物安全柜,空气在作为废气离开系统之前均需要经过 HEPA 过滤。I 级生物安全柜旨在保护实验人员和环境,而不是样品,因为负压装置用于将外部空气吸入工作区。尽管有多种生物安全柜有多种防护级别可供选择,但较常用的 生物安全柜 仍然是 II 类中的 A2 型 生物安全柜。II 类生物安全柜主要分为四种亚型(A1、A2、B1 和 B2),并具有保护样品的附加功能,因为空气供应在通过工作空间之前都经过 HEPA 过滤装置的过滤。II 类亚型根据机柜内的再循环空气量进行区分。III 级生物安全柜为生物安全 4 级密闭实验室的工作提供较大程度的保护。III 级生物安全柜实质是一个密封的手套箱,只可以通过一个可以去污的灌篮或者双门箱进入。 生物安全柜使用时的注意事项生物安全柜的作用和实验室通风柜的作用类似,生物安全柜中安全处理样本的实验操作过程中需要注意以下几点:1. 当使用皮下注射针头和注射器的时候,应仅限于从隔膜塞住的试管中取出液体或给动物接种。切勿将皮下注射针头从注射器中取出或重新...
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检测是净化工程建设之后比较重要的一个项目,在检测净化工程各项指标过程中,有部分洁净度检测不合格,有的是厂房局部,也有整个工程。如果检测不合格,虽然甲乙双方通过整改、调试、清沽等。费劲千辛万苦达到了工程的要求,但是却浪费了大量的人力和物力,有些得不偿失了。其实,有些原因和缺陷在检测前是完全可以避免的。据赛特净化设备有限公司多年经验了解到,造成净化工程洁净度不合格的主要原因有:1.净化车间的设计不合理这种现象比较少见,主要是在一些小型的净化级别要求不太高的洁净室建造上。现在净化的竞争比较激烈,一些施工单位为了得到工程,在投标中给出了较低的报价。在净化工程的后期施工中,利用一些单位不太懂行的情况,偷工减料,使用功率较低的空调通风压缩机组,使送风功率与净化面积不匹配,导致洁净度不合格。2.用低档产品替代高档产品在洁净室高效过滤器的应用上,国家规定在洁净度10万级或高于10万级以上的空气净化处理,应采用初效、中效、高效过滤器的三级过滤。而笔者在验证过程中,曾发现某大型净化工程在l万级的净化级别上采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器,从而造成了洁净度不合格。最终更换了高效过滤器才符合了认证的要求。3.回风管道或回风口设计、调试不好在设计方面的原因,有时因空间所限未能采用“顶送侧回”或者回风口数量不够,在设计方面的原因排除后,回风口的调试也是重要的工工环节。如果调试不好,回风口阻力过大,回风量...
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按指定方向沿着建筑物缝隙的气流可以减少有害微粒的流通,如无较强干扰气流,0.5-1.0M/S的流速可控制较轻粉尘和生物粒子。通过确定相邻空间的压力及压差以控制气流方向。在确定压差的情况下,ISPE介绍了气流通过缝隙(如门缝)的简化计算方法。PV=(V/4005)2,V=Q/AVP=(Q/4005▪A) 2 式中:4005为换算因子;V为速度,英尺/分,VP为速度压力,此处设为房间压差,英寸水柱;A为开孔面积,英尺为2;Q为空间流量,英尺3/分。当孔口面积为1ft2、风量为890ft3/min时,在孔口两侧可形成0.05in水柱压差。结构缝隙会使室内渗漏风量大于计算风量,故ISPE建议再按每英尺2房间面积附加(0.05-0.5ft/min)风量,并通过渗漏测试进行调整。 原理二:根据洁净车间相对正压的值确定正压换气次数,依次计算正压渗漏风量。房间正压换气次数之间关系,可参照空调系统设计手册的推荐数值。因洁净车间结构、密封程度等都会影响渗漏风量,故此法用于估算,详细设计时应兼顾其他因素。 压差的测量与控制压差的测量可采用两种方式;不同房间之间;不同房间与同一个参照点之间。小型场所有限选择不同等级区域之间的压力,没有气锁室时为洁净室之间的压差;大型设施通常采用共用参照点法,尽量减少传感器数量,以减少复合误差。 气锁室的设计在洁净室出入口设气锁室,以...
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无尘车间工程项目在竣工完成之后,需要由相关人员对整个无尘车间的通风系统进行风量检测和风速检测。检测的目的是了解风量和风速的偏差有多大,以便于工作人员现场调节,要知道风速过大是会影响空气过滤器的使用寿命以及可能会将空气过滤器吹穿。风速过小又会直接影响车间内部空气的循环从而影响无尘车间空气的洁净度,下面是赛特净化设备有限公司整理并分享的风量和风速的检测方法,感兴趣的可以了解一下。 无尘车间风量和风速的检测方法如下: 1、风量与风速的检测务必最先开展,洁净空调机组的各项实际效果务必是在设计的风量风速条件下得到。 2、风量检测前务必查验风机运作是不是一切正常,系统中各构件安装是不是正确无误,有无障碍和问题,所有的阀门应固定不动在一定的开启位置上,且一定要实际测量被测风口和风管的规格尺寸。 3、检测室内数字微风速仪器的最小刻度或读值不可超过0.02m/s,通常可以用热球式风速仪,必须测得分速度时,应选用超声波三维风速计。 4、针对单向流无尘车间,可运用室截面平均风速和截面积乘积的方法明确送风量,垂直单向流无尘车间的测定截面取距室内地坪0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面,若有阻隔面,该测定截面应拉高至阻隔面以上0.25m;水平单向流无尘车间取距送风面0.5m的垂直于室内地坪的截面,截面上测点间隔不可超过1m,...
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洁净室厂房空调系统首先是空调系统,因此,一般空调系统的节能措施,如围护结构保温、系统变流量、排风热回收、选用高效制冷机、水泵风机设备等,都可以适用于洁净室厂房空调系统的节能设计和改造。同时,洁净室厂房空调系统有自己的特点,也就有自己的系统节能特点和方式。 1 洁净风量与空调风量分开 洁净室送风的功能,一是空调(空气进行温、湿处理,满足洁净室的温、湿度要求);二是净化(空气过滤满足洁净室的洁净度要求)。一般情况下净化风量大大超过空调风量。如果让空调送风同时起到空调和净化的作用,即空调风量和净化风量不分开,所有的回风都要经过空调箱集中处理。此非常大风量经过空气处理设备时,阻力会很大,风机耗能急剧增大。 同时,为了除湿,所有回风都要处理到露点状态,后为了不使室内温度过低,还需对送风进行再热。冷热抵消,造成不必要的浪费。而如果把空调和净化两部分风量分开处理,净化风量就只进行过滤处理,可大大缩短净化风量输送管道长度;而对于空调风量,由于风量变小,可以节省空气冷热处理,并且同时可以减小输送断面和输送耗能。 在常见的洁净空调送风方式中,集中送风方式、隧道式送风方式都没有很好地将空调风量与洁净风量分开。为了方便空调和净化功能的分离,可充分利用房间结构就近完成。利用房间夹层将大部分洁净风量直接送至顶层的高效过滤器处,而无需离开洁净室,从而降低了洁净风量的输送能...
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芯片有着很强动力和潜力,随着国内的半导体产业的发展,对芯片需求不断增多,从LED/半导体/线路板芯片制备到器件封装,对生产环境空气品质都有较高的要求,空气品质关系着成品率和产品品质。很多半导体工业都需要用到无洁净室。今天小编就来详细介绍一下半导体集成电路洁净室的原理还有标准是什么?以及日常维护事项,一起往下看吧!【洁净室】又称为【无尘室】,是将一定空间范围内之空气的微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除于外,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在一定需求范围内,而给予特别设计之房间。也就是说这个受控的房间内之微尘粒子相当稀少。根据国标GB50073—2013,洁净室的空气洁净度等级为1~9级。在具体实践中,常参考美国标准FS 209E,其中的空气洁净度等级有1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级等,如表1-1所示。洁净室应该具备哪些要素?基本上洁净室应该要具备以下的功能:1、能去除空气中漂浮之微尘粒子。2、能防止微尘粒子之产生。3、能控制温度及湿度。这是因为密闭的环境需要温度及湿度控制以符合人体舒适度,另一方面温度及湿度也可以控制微生物的生长。其次,湿度过大也会影响到电子产品的品质。4、能调节压力。这是为了要控制无尘室内为正压或负压。5、能调节温度。6、能防止静电。这是一定要的,电子产品怕静电了,尤其是还未封装的晶圆...
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1微电子厂房洁净是暖通空调设计原因及方法分析1. 1 气流组织方式垂直单向流为洁净室内气流流型,风机过滤单元机组在高效过滤器的作用下可以对空气进行预处理,确保空气达标后再送入室内。微电子厂洁净厂房和生产工艺并不全都适合风机过滤单元机组送风模式,但是此种送风模式因其具备一定的优势被越来越多的微电子厂房洁净室所使用。因为风机过滤单元机组送风模式下洁净室内压力远远高于静压箱内压力,尘粒从静压箱向室内渗透的情况较为少见。但是其他送风模式下则需要采取更为复杂的方法,如接触填料密封等方法来确保洁净室顶棚的密封性,因此达不到负压密封的要求。这是导致越来越多的微电子厂洁净室采用风机过滤单元机组送风模式的主要原因。此外,微电子厂洁净室工艺的更新速度和调整速度均较快,工作人员可以对风机过滤单元机组进行增减,在控制其数量的基础上确保洁净室洁净度满足生产工艺的需求。由此可见,风机过滤单元机组送风模式灵活性较高,与其他送风模式相比更具优势。但是风机过滤单元机组送风模式也有一定的不足,该送风模式下设备需要在吊顶上安装,因此会产生较大的噪音和振动,期间设备安装成本较高,这也是微电子厂洁净室暖通空调设计需要考虑的问题。1. 2 空调负荷计算估算是洁净室内冷负荷计算的主要方式,其中估算指标包括生产工艺、操作人员数量以及围护结构等。估算出来的洁净室主生产区和光刻区冷负荷指标分别为 450...
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1、洁净车间必须维持住一定的相对正压,不同等级的洁净车间之间的压强不小于5Pa;洁净车间与非洁净车间之间的压强以不小于10Pa,以防止低级洁净车间空气逆流到高级洁净车间;2、温度宜保持18~26℃按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 当然,这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。而无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照 明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等 性能之特性。...
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